漢置臨朐縣。因縣城東臨朐山而得名。一說朐為水名，其城側臨朐川為名。

舊志載，黃帝曾登封沂山，帝堯之子丹朱曾封于丹水。夏為季荝氏封地。商為逄伯陵封地。西周為缾（駢）邑，為紀國所轄。春秋，今縣境置缾邑、東陽邑；戰國為朐邑，齊國所轄，為齊相管仲封地。秦，境內無縣治，今縣境大部屬臨淄郡，南部屬瑯琊郡。西漢設有臨朐、朱虛、挍3縣和缾、臨原2個侯國；東漢，今縣境有臨朐、朱虛2縣。三國魏晉，境內仍設臨朐、朱虛2縣，初臨朐屬徐州東莞郡、朱虛屬青州城陽郡，后同屬東莞郡；南北朝時期，境內設昌國、朱虛、般陽、西安、安平5縣。隋朝將各縣統一為臨朐縣。唐、宋屬青州，元朝屬益都路，明、清屬青州府。民國初，屬膠東道，1925年改屬淄青道，1927年直屬山東省。1949年屬昌濰專區，1967年昌濰專區改稱昌濰地區，1981年更名濰坊地區，1983年改稱濰坊市，臨朐順次屬之。（本段摘自“臨朐縣情網”）

1992年10月6日，將石家河鄉的南辛莊村、二泉村、曾家溝村、中山村、耿家溝村和白塔鄉的夏家山村劃歸辛寨鎮管轄。

1993年6月24日，臨朐縣調整部分鄉鎮行政區劃，即：撤銷楊善鄉，設立楊善鎮；撤銷營子鄉，設立營子鎮；撤銷龍崗鄉，設立龍崗鎮；撤銷箕子山鄉，設立呂匣鎮，以原箕子山鄉和寺頭鎮的孫家莊、呂匣店子、丁家北坡、青崖、西呂匣、東呂匣、雙龍、河東、東峪、鳳凰坪、趙家北坡、東福泉、中福泉、西福泉、上洋河、下洋河、東蓼子、西蓼子等18個行政村為呂匣鎮的行政區域，鎮人民政府駐呂匣村；撤銷盤陽鄉和七賢鄉，以原盤陽鄉和七賢鄉的雙溝、大山、梨花埠、曹家官莊、瞿家圈、貓林溝、臥龍官莊、北南流等8個行政村，辛寨鎮的河北、朱家莊、謝家營、吉寺埠、熊家莊、房家莊子、孔家莊、蒲家莊、王梨花莊、殷家莊、新張莊、西半中、紅廟子、東半中、小山莊等15個行政村設立臥龍鎮，鎮人民政府駐臥龍官莊村；以原七賢鄉的其余行政區域設立七賢鎮，鎮人民政府駐初家莊村；撤銷蒲溝鄉和大關鄉，設立大關鎮，以原蒲溝鄉和大關鄉的行政區域為大關鎮的行政區域，鎮人民政府駐大關村；撤銷　林鄉，將其行政區域并入上林鎮；撤銷米山鄉，將其行政區域并入冶源鎮；撤銷石佛鄉，將其行政區域并入寺頭鎮；撤銷辛山鄉，將其行政區域并入柳山鎮。

1995年7月25日，省政府批準將臨朐縣白塔鄉的張家樓、東前韓、東后韓、東前河野、東后河野5個行政村和東窩鋪、東白塔2個自然村劃歸昌樂縣高崖鎮管轄。至此，臨朐縣面積1835平方千米，人口約88.4萬人。轄16鎮7鄉：臨朐鎮、五井鎮、楊善鎮、冶源鎮、寺頭鎮、呂匣鎮、九山鎮、七賢鎮、辛寨鎮、臥龍鎮、蔣峪鎮、大關鎮、柳山鎮、營子鎮、龍崗鎮、上林鎮、紙坊鄉、嵩山鄉、石家河鄉、白沙鄉、沂山鄉、楊家河鄉、白塔鄉。縣政府駐臨朐鎮。

1996年6月28日，撤銷臨朐縣白塔鄉，設立昌樂縣白塔鎮，將原白塔鄉所屬的劉家溝、西寺后、東寺后、窩鋪、白塔、史家溝、北段、山坡西溝、克家洼、臥牛石官莊、魏家溝、后河野、西前韓、南高家莊、山坡、西后韓、董家莊、栗行、建新、前河野、洛村、趙莊、孫家溝、北洋河、南洋河、大溝、閆家河、黃冢坡等28個村和臨朐縣大關鎮的池子村劃歸白塔鎮管轄，鎮人民政府駐原白塔鄉人民政府駐地；將原白塔鄉所屬的龐家河、西雙山河、東雙山河、李家溝、王家溝、大高家莊等6個村劃歸臨朐縣辛寨鎮管轄，鄔家官莊劃歸臨朐縣柳山鎮管轄，上述區劃調整后，昌樂縣白塔鎮，臨朐縣辛寨鎮、柳山鎮的行政區域界線以濰政請字[1996]50號、51號文所附的1：5萬地形圖上標繪的邊界線為準（魯政字[1996]121號）。

1996年9月25日，將楊善鎮寨子崮、付家峪兩個行政村（包括桃花自然村）劃歸紙坊鄉管轄。上述行政區劃變更后，楊善鎮與紙坊鄉的行政區域界線以濰政請字[1995]78號文所附的1：5萬地形圖上標繪的界線為準（魯政函民字[1996]45號）。1998年10月19日，撤銷紙坊鄉，設立紙坊鎮（魯政函民字[1998]27號）。至此，臨朐縣轄17個鎮、5個鄉。

2000年第五次人口普查，臨朐縣常住總人口869470人，其中：臨朐鎮127684人，紙坊鎮22874人，五井鎮51220人，楊善鎮46092人，冶源鎮58477人，寺頭鎮24194人，呂匣鎮21994人，九山鎮21724人，七賢鎮43927人，辛寨鎮52508人，臥龍鎮43612人，蔣峪鎮48495人，大關鎮38324人，營子鎮57634人，龍崗鎮34742人，柳山鎮41445人，上林鎮35507人，嵩山鄉20928人，石家河鄉28377人，沂山鄉14147人，揚家河鄉21453人，白沙鄉14112人。

2002年末，全縣總面積1833平方千米。總人口86.2萬人，其中非農業人口10.7萬人。轄16個鎮、1個鄉：臨朐鎮、紙坊鎮、五井鎮、楊善鎮、冶源鎮、寺頭鎮、九山鎮、辛寨鎮、七賢鎮、蔣峪鎮、大關鎮、柳山鎮、臥龍鎮、營子鎮、上林鎮、龍崗鎮、石家河鄉。共有966個行政村。

2003年末，全縣總面積1833平方千米，總人口85.6萬人，其中非農業人口10.7萬人。轄17個鄉（鎮），966個行政村。

2004年，撤銷臨朐鎮，以臨朐鎮的行政區域設立城關街道辦事處；設立東城街道辦事處，將東城區的20個村和營子鎮11個村，共31個村，劃歸東城街道辦事處管轄。3月16日，臨朐縣召開城區撤鎮設街辦工作動員會。調整后，臨朐縣轄2個街道、15個鎮、1個鄉：城關街道、東城街道、五井鎮、楊善鎮、冶源鎮、寺頭鎮、九山鎮、七賢鎮、辛寨鎮、臥龍鎮、蔣峪鎮、大關鎮、營子鎮、龍崗鎮、柳山鎮、上林鎮、紙坊鎮、石家河鄉。

2007年，臨朐縣將16個鄉鎮、2個街道調整為8個鎮、2個街道：紙坊鎮并入城關街道，楊善鎮并入冶源鎮，石家河鄉并入寺頭鎮，臥龍鎮并入辛寨鎮，營子鎮、七賢鎮并入東城街道，龍崗鎮并入上林叫龍崗鎮，蔣峪鎮并入大關鎮并更名為沂山鎮。至此，全縣轄2個街道、8個鎮：城關街道、東城街道、五井鎮、冶源鎮、寺頭鎮、九山鎮、辛寨鎮、龍崗鎮、柳山鎮、沂山鎮。

2010年第六次人口普查，臨朐縣常住總人口834314人，其中：城關街道190207人，東城街道109439人，五井鎮60260人，冶源鎮97936人，寺頭鎮56289人，九山鎮44420人，辛寨鎮100168人，龍崗鎮63195人，柳山鎮33992人，沂山鎮78408人。

2013年，沂山鎮更名為蔣峪鎮，龍巖鎮更名為山旺鎮（魯政函民字[2013]54號）。調整后，全縣轄2個街道、8個鎮：城關街道、東城街道、五井鎮、冶源鎮、寺頭鎮、九山鎮、辛寨鎮、蔣峪鎮、山旺鎮、柳山鎮。