隨著空氣潔凈度要求的提高,凈化工程施工工藝對溫濕度的要求也越來越高,達到定的溫濕度等。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。凈化車間施工圖紙的準確性和完善性是十分重要的。河北光電車間凈化工程施工
凈化車間施工原則:凈化風管接縫易漏風、積塵,也不便于清掃。加工中盡可能減少拼縫,不允許橫向拼接縫。風管加固框只能高在風管外部,絕不能高在內部。凈化空調系統風壓高,要求密封性好,漏風少。可選擇雙咬口方式或常用的單咬口、立咬口、轉角咬口、聯合咬口等,風管咬接口均應涂密封膠或貼密封膠帶。此外,風管法蘭翻邊處易出現開裂、孔洞,也要涂密封膠,防止漏風。一般被人忽視的法蘭鉚釘處也易漏風,也要涂密封膠,并且只能用鍍鋅鉚釘或有色金屬鉚釘,不能使用空心鉚釘。河北光電車間凈化工程施工凈化車間施工材料的表面具有一定的耐化學性。
高效過濾器的安裝:凈化車間安裝高效過濾器之前,應徹底做好清潔工作,凈化送、回風系統連接試運行24小時后,再次清潔潔凈室后,立即安裝高效過濾器。潔凈送、回風系統風管的施工:風管內表面必須平整光滑,風管安裝之后、保溫之前應進行漏風檢查。風管與部件支、吊架的預埋件、射釘或膨脹螺栓的位置應正確,牢固可靠,埋入部分應去除油污,并不得涂漆。設置倉儲間:所有材料和設備說明書和合格證均應妥善保管,以便竣工驗收后將資料完整的移交給用戶。設備和材料到達凈化車間施工現場時,應嚴格檢查,各種過程器開箱檢查后應重新封存。做好凈化車間的密封工作:潔凈車間的氣流要有序流動,按照設計者的意圖流動,不該漏的地方不能漏。
凈化車間施工的過程中注意事項:1、首先確認凈化車間施工工程的設計圖紙和要求,形成合理的方案。各個部門之間要相互溝通,研究作業過程中必須注意的事項。2、檢查凈化車間施工過程中所有要用的材料,設備是否達到所需要的標準,檢查合格后方可使用。3、凈化車間施工過程中注意施工進度及質量,施工檢查記錄表和施工驗收記錄應及時填寫,文件與工程要同步。4、凈化車間施工過程要有先后順序,可以同時施工但是要注意彼此之間的關系,不能有什么材料就先施工那部分。凈化工程施工要點:滿足生產工藝對建筑設計的要求,實現性能的制造空間與設施。
凈化車間工程施工方案:圍護結構:生產車間分為上、下兩層,下層為生產車間,吊頂高度3.0m。上層為管路、線路和小型設備安裝工程層。該區域對室內的密閉性、保溫性及表層光潔度需求高。圍護材料為:墻面選用加厚型鋼龍骨、兩面夾心彩鋼板(總厚度50mm),已砌筑外墻內面選用加厚型鋼龍骨、兩面夾心彩鋼板圍護。墻面高度與吊頂上表層平,端口封平。上層各室內相通,有利于安裝施工。墻面安裝大規模視窗。天花吊頂選用加厚型鋼龍骨、兩面夾心彩鋼板,為可上人吊頂,每平米可載重活負載不小于50KG。吊頂下為檢測實驗室,吊頂上為管路和小型設備安裝工程層。吊桿均選用直徑10吊桿,凡吊桿長度超過1.5m的都需要設計反方向支承。凈化車間木材的含水率不超過16%,否則容易干燥,變形,松散等。河北光電車間凈化工程施工
耐久性:凈化車間要有符合環境、凈化車間內部的清洗溶液及振動、設備、空氣過濾系統的耐久材料。河北光電車間凈化工程施工
凈化工程施工時要注意什么?材料選擇:在材料選擇方面,不僅要保證材料的綠色環保,而且要保證材料的清潔,因為它是一項清潔工程,所以顯得尤為重要。此外,還應注意不易氧化和不易剝落的材料的選擇。通風管道的制造:在凈化工程建設中,應特別注意空氣控制工作。參與生產風管的人員必須穿專業服裝,以確保清潔無塵。盡量在封閉的環境下操作。對室內環境有嚴格的要求。基本保證是無塵無污染。物料搬運:為了保證工程按時完成,材料的運輸過程也非常重要。如果保護不當,材料會受到損壞,導致后期施工不能快速投入使用,影響施工進度。因此,在物料搬運過程中,必須注意防塵防潮。河北光電車間凈化工程施工
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