飛秒激光加工應用于金屬掩模板加工：新加坡南洋科技大學VenkatakrishnanK等人利用飛秒激光直寫方法制作了以金屬薄膜為吸收層、石英為基底的金屬掩模板，并將前入射與后入射兩種方案做了比較，發現采用前入射的方法能夠得到更小的特征尺寸和好的邊緣質量。并且利用飛秒激光超衍射極限加工有效地修補了金屬鎘掩模板的缺陷，修復的線寬達到小雨100nm的精度。目前構建的飛秒激光修正光掩模板工具已在IBM的伯林頓、福蒙特州的掩模制作設備中運行。這對微電子技術的發展將具有重要意義。飛秒激光新技術應用主要應用行業包括：合金微鑄造、精確孔徑和電極結構加工、航空難材料加工、醫療等領域。上海自動化飛秒激光MLCC輪刀

激光打孔工藝可分為長脈沖（ms級）和短脈沖（ns、ps、fs級）激光工藝，注意脈沖寬度是個時間單位，不是長度單位，其中ps皮秒激光和fs飛秒激光也被行業內叫做超快激光。兩種工藝相比各有優缺點，同樣是氣化材料加工小孔，前者因為其單個脈沖照射時間更長，能提供更多能量快速去除材料，相當于大刀闊斧效率高；后者能量細小峰值功率高，可瞬間氣化微量材料，素有冷加工的美譽，相當于小刀精啄，幾乎沒有重熔層，表面質量更好，專業一點講就是超快激光由于脈沖持續時間遠小于材料中受激電子通過轉移、轉化等形式的能量釋放時間，只需考慮電子吸收入射光子的激發和儲能過程，加上高達TW（10^12W）級的峰值功率，能量在只有幾個納米厚度內迅速聚集，瞬間產生的超高電子溫度值遠超材料汽化溫度，材料直接從固態轉為氣態，在表面形成高密度、超熱、高壓的等離子體狀態，實現非熱熔性加工。上海自動化飛秒激光MLCC輪刀我們一直使用激光切割鉆石，用于生產鉆石唱片針。我們還使用激光加工藍寶石、紅寶石和陶瓷上的細孔。

飛秒激光刻蝕具有以下優點：1、精度高：飛秒激光能夠實現非常精細的加工，因此可以創造出高度精密的模具。2、不產生熱損傷：由于激光脈沖極短，能量密度高，加工過程中很少產生熱影響區，減少了模具表面的熱損傷。3、避免微裂紋：相比傳統加工方法，飛秒激光刻蝕可以減少或避免在模具表面形成微裂紋，提高了模具的使用壽命和耐久性。4、可加工各種材料：飛秒激光刻蝕技術適用于各種材料，包括金屬、塑料、陶瓷等，因此具有很大的適用范圍。靈活性：激光加工具有很高的靈活性，可以實現各種復雜形狀和微細結構的加工。飛秒激光在模具上進行激光刻蝕是一種高精度、低熱影響、適用性廣的先進加工技術，可以實現對模具表面的精細加工，為制造高精度零部件提供了重要的加工手段。

飛秒激光技術在航空發動機制造上的應用：長久以來，我國發動機制造技術始終是制約航空航天事業發展的瓶頸，產品的質量不過關來自兩方面：一是材料技術；二是材料加工技術。飛秒激光鉆孔恰恰解決了這個難題！在航空航天領域，燃氣渦輪是發動機的三大關鍵部件之一，其性能直接決定了發動機的好壞。然而航空發動機的渦輪葉片工作溫度至少為1400攝氏度，因此必須對高溫部件，尤其是葉片必須使用精確的冷卻技術。葉片冷卻一般通過大量不同直徑的氣膜孔來實現，孔徑約為100~700微米，且空間分布復雜，多為斜孔，角度為15°到90°不等，為了提高冷卻效率，開孔形狀往往成扇形或者矩形，這給加工帶來極大的難度。目前主流的方法是高速電火花，但工具電極制造極為困難，加工好的部件易磨損，加工速度慢，排除孔內的加工屑比較困難，不易散熱，根本不適合大批量生產。此外，現代發動機葉片表面通常要覆蓋一層熱障涂層、一般是陶瓷材料，采用傳統電火花無法加工，是未來先進發動機制造的關鍵技術。隨著未來發動機葉片材料逐漸走向非金屬化，電火花加工更不靠譜，而飛秒激光加工具有材料適應廣、定位精度高、無機械變形、無直接接觸等各種優點，非常適合加工微型孔。飛秒激光切割可針對柔性PI、PET扥材料切割、刻蝕。

與傳統的切割方法相比，飛秒激光切割機具有以下優勢：1.精度高：飛秒激光切割技術能夠實現微米級切割精度，滿足高精度電子設備的制造要求。2.速度快：飛秒激光切割技術的切割速度比傳統方法快得多，能夠提高生產效率。3.無接觸：飛秒激光切割技術無需物理接觸，避免了對材料的損傷和變形。4.無熱影響區：飛秒激光切割技術產生的熱量極少，不會對材料造成熱影響區，保證了產品的質量。5.環保：飛秒激光切割技術不需要使用化學試劑或產生有害物質，符合環保要求。飛秒激光是指時域脈沖寬度在飛秒（10-15秒）量級的激光，在時間分辨率上屬于超快激光（ultra-fast laser）。上海自動化飛秒激光MLCC輪刀

與一般的MCT鉆孔不同，飛秒激光加工具有熱處理后易于加工孔的優點。上海自動化飛秒激光MLCC輪刀

飛秒激光鉆孔技術還可被運用于核聚變上，核聚變中的點火靶球具有充氣微孔，只有微孔的數量多、精度高才能保證聚變反應的控制精度，而飛秒激光加工技術恰好能滿足這一要求。近年來飛秒激光鉆孔技術還被運用到透明材料內部的三維微孔加工中，這種制造技術將有利于制造飛機、坦克、艦艇上使用的光電傳感器設備。加工方法一般是通過液體輔助，在透明材料表面直接燒蝕成孔，讓液體將碎屑去除，這樣的方法可以達到更高的鉆孔深度。飛秒激光技術的發展能更好地推動我國對核能領域的進一步探索。上海自動化飛秒激光MLCC輪刀