干式真空泵的應(yīng)用范圍比較廣,主要有以下幾個(gè)方面:1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求;4)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,以防止油污染。5)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機(jī)溶劑造成污染,適合用干式真空泵;干式真空泵,就選浚和(上海)儀器有限公司,歡迎客戶來電!廣東體積小干式真空泵售后
干式真空泵與油泵的性能比較項(xiàng)目NeoDrySeries干式真空泵油泵特征○?不使用液體密封泵腔,可以得到干凈的真空。△?使用油密封得不到干凈的真空。?排氣時(shí)會(huì)在排氣口產(chǎn)生油霧。?根據(jù)使用情況,密封用油中會(huì)混入水蒸氣·溶劑使油質(zhì)變差影響性能。?泵的周圍會(huì)因油霧污染環(huán)境。維護(hù)性○?基本上免維護(hù)△?因油劣化產(chǎn)生定期油的更換維護(hù)很煩雜。(根據(jù)使用情況,需要頻繁更換)維護(hù)成本○?潔凈排氣時(shí)維護(hù)周期可為3年一次。長期運(yùn)行可降低維護(hù)成本。?更換部件很少,O/H費(fèi)用便宜。?抽 氣部分無物理接觸,無因磨損更換部件。△?油需定期更換產(chǎn)生費(fèi)用。(使用氟油的情況費(fèi)用較高)?需要更換葉片及閥門。(因葉片為接觸式)初始投資成本△?與油泵相比相對較高。○?與干泵相比較便宜。配套設(shè)備費(fèi)用○?不需要油霧凝氣閥△?需要油霧凝氣閥。?需要油盤。安徽無水干式真空泵供應(yīng)商干式真空泵,就選浚和(上海)儀器有限公司,用戶的信賴之選,歡迎您的來電哦!
0.5電源電壓:3相AC200-220V,380-480V外型尺寸WHL[mm]:460×960×900二、配置清單:序號描述數(shù)量備注1S DE20M12TX主機(jī)一臺(tái)1標(biāo)配2電源線1標(biāo)配3冷卻水管路接頭1標(biāo)配4操作手柄1標(biāo)配5產(chǎn)品合格證1標(biāo)配6消音器(原廠件,選配)未包含7入口過濾器(選配,非原廠件)未包含設(shè)備原產(chǎn)地:日本日本KASHIYAMA真空泵特性:1、設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),旋葉與旋葉、旋葉與腔壁之間沒有任何摩擦,保證設(shè)備長期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷卻水,從而節(jié)省空間。3、采用氣鎮(zhèn)(GasBallast)結(jié)構(gòu),可以排出所吸取的水蒸氣。4、若只抽取空氣與氮?dú)獾那闆r下,只需三年維護(hù)一次,延長了設(shè)備的使用壽命,降低真空泵的使用成本。
近期很多朋友咨詢反饋?zhàn)约荷a(chǎn)中的液環(huán)式真空泵由于夏天溫度高,真空度上不去,葉輪也由于腐蝕和氣蝕經(jīng)常換,用的無油螺桿泵、爪泵轉(zhuǎn)子經(jīng)常被卡死盤不動(dòng)車,而且由于腐蝕真空度上不去,排氣口還有噴油現(xiàn)象。種種現(xiàn)象維修雖然花不了多少錢,但是影響生產(chǎn),一個(gè)班組的人都 等著泵修好,下面的人瞪著眼看著,上面領(lǐng)導(dǎo)臉色又不好,很是尷尬難受!因此我們這一輯內(nèi)容就來為大家介紹干式真空泵,干式真空泵主要在半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)得到應(yīng)用于發(fā)展。國外的干泵市場正處于蒸蒸日上的階段,如日本,半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵,而歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵,提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。干式真空泵,就選浚和(上海)儀器有限公司,讓您滿意,歡迎新老客戶來電!
干式無油真空泵。工作泵腔無油無水,既不會(huì)對真空室產(chǎn)生污染,更不會(huì)污染抽取介質(zhì)。且配套少,也可直排大氣。雖然短期的購置投入成本超過傳統(tǒng)真空泵,但后期的使用維護(hù)成本,干式無油真空泵卻要遠(yuǎn)遠(yuǎn)低出,而且時(shí)間越久,后期成本差異就愈加明顯。干式無油螺桿真空泵是一種干式作業(yè)、無觸摸、等螺距的螺桿型真空泵。兩螺桿經(jīng)過精密動(dòng)平衡處理,由軸承支撐,設(shè)備在泵殼中,螺桿與螺桿之間有一定空隙,泵作業(yè)作業(yè)平穩(wěn),相互無沖,作業(yè)腔無介質(zhì)。因此,干式無油螺桿真空泵能抽除含有許多可凝性氣體及粉塵的氣體,是環(huán)境友好型、節(jié)能型真空泵。它比油封式機(jī)械真空泵、液環(huán)式真空泵、往復(fù)式真空泵等型號真空泵適用性更強(qiáng)。浚和(上海)儀器有限公司為您提供干式真空泵。廣東體積小干式真空泵售后
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通過對內(nèi)表面溫度的控制以滿足新的ATEX防爆條例的要求。由于能夠維持小的內(nèi)部溫度,從而能控制泵送氣體的冷凝和由于腐蝕可能造成的損壞效應(yīng);輕松的輸送腐蝕性介質(zhì),安全的輸送易燃易爆氣體。1)清潔環(huán)保;2)真空度高;3)防腐設(shè)計(jì)(**技術(shù));4)可抽 除可凝性氣體及少量粉塵氣體(**技術(shù));5)特殊軸封設(shè)計(jì),杜絕被抽介質(zhì)與潤滑系統(tǒng)互相污染;6)防過載設(shè)計(jì);7)運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn);8)高標(biāo)準(zhǔn)配置;9)附件配置齊全10)高質(zhì)量健全的零配件供應(yīng)。廣東體積小干式真空泵售后