C1-007厭氧高溫氣氛爐（YAMATO）●用途：電子元器件高溫處理工藝。●用途：光刻工藝后段，光刻膠固化。●MAX工作溫度360℃和600℃、氧濃度20ppm以下。●程序運轉功能，有自動/手動兩種操作模式?！窨焖偕郎亍⒔禍?，降溫時可采用空冷、空冷加水冷兩種方式?！衽渲昧俗詣娱T鎖、數(shù)字式壓力表、數(shù)字式流量計等?！裨诎踩矫?，配置了自動過升防止、過升防止器、氮氣壓力異●常、氮氣流量異常、過電流漏電保護斷路器等安全裝置。室溫+30～360℃規(guī)格參數(shù)：溫度范圍室溫：+30～360℃溫度分布精度：±4.0℃（at360℃）溫度上升時間：60min（室溫→360℃）溫度下降時間：90min（360℃→50℃）氧濃度：20ppm以下氧濃度下降時間：約45分鐘運轉功能：定值運轉、程序運轉裝備：氮氣導入裝置、水冷裝置、差壓計等內(nèi)尺寸：W600×D600×H600mm電源：3相AC380V室溫+50～600℃規(guī)格參數(shù)：溫度范圍室溫：室溫+50～600℃溫度分布精度：±8.0℃（at600℃）溫度上升時間：90min（室溫→600℃）溫度下降時間：120min（600℃→50℃）氧濃度：20ppm以下氧濃度下降時間：約45分鐘運轉功能：定值運轉、程序運轉裝備：氮氣導入裝置、水冷裝置、差壓計等內(nèi)尺寸：W600×D600×H600mm電源：3相AC380V浚和(上海)儀器有限公司為您提供高溫無氧烘箱，歡迎您的來電哦！上海高溫無氧烘箱DNN430C

DNN660C厭氧高溫氣氛爐 相關參數(shù)及規(guī)格（YAMATO）

1、方式：氮氣置換+ 強制送風循環(huán)

2、性能：

     ①使用溫度范圍：室溫+50～600℃

     ②溫度調(diào)節(jié)精度：±1.0℃（at600℃）

     ③溫度分布精度：±8.0℃（at600℃）

     ④MAX溫度到達時間：約110分鐘

     ⑤氧濃度：20ppm 以下

     ⑥氧濃度到達時間：≤ 25分（250L/min 氮氣）

3、構成：

      ①內(nèi)裝：不銹鋼板

      ②外裝：冷軋鋼板，表面耐藥品性涂裝

      ③斷熱材：硅酸鋁棉

      ④加熱方式：不銹鋼加熱管

      ⑤加熱功率：主加熱器14.2KW

      ⑥N2預熱：1KW

      ⑦冷卻機構：不銹鋼冷卻水換熱器

4、控制器：

      ①溫度控制方式：PID控制

      ②溫度控制器：液晶觸摸屏+PLC

      ③運行功能：手動定值運行、自動程序運行

      ④程序模式：程序運行9個，每個程序可設置9步（可擴展）

      ⑤附加功能：操作員等級認證

      ⑥加熱器回路控制：SSR驅動

      ⑦傳感器：K型熱電偶（溫度控制及過升防止器）

5、安全裝置：門檢測開關、過升防止器、氧濃度異常、N2 預熱溫度過升、水壓低檢測、N2 壓力低檢測、冷卻水流量檢測、N2 流量檢測、風機過載檢測、過電流漏電保護開關等 上海高溫無氧烘箱DNN430C浚和(上海)儀器有限公司致力于提供高溫無氧烘箱，期待您的光臨！

氣氛爐的爐結構與一般熱處理爐的爐結構基本相似

      氣氛爐的爐結構與一般熱處理爐的爐結構基本相似，其設計和計算方法相似。 但是，由于要將受控氣氛引入爐內(nèi)，除了相應的附加裝置如氣氛發(fā)生裝置，管道系統(tǒng)和滴灌系統(tǒng)外，還應滿足爐子結構的某些特殊要求。

      1.密封性好。 爐殼主要由連續(xù)焊縫組成，活動可拆卸件由石棉繩和水玻璃制成，密封用螺釘壓緊：爐體密封部分采用密封填料，壓緊法蘭，油封密封。 和水冷套; 材料端的前端和后腔配有兩個爐門，它們交替地打開和關閉，以防止空氣直接進入爐子; 在門和爐門上按壓砂封槽和滾輪，傾斜塊，螺栓，爐門傾斜3°。  7°重力壓縮密封，或使用防火簾密封等; 定期檢查管道系統(tǒng)是否泄漏。

      2.大氣均勻流動。 合理選擇進風口和排氣口的位置，充電時留有間隙，并考慮氣流。 用于化學熱處理的可控氣氛爐通常配備有風扇以迫使大氣流動。

      3.合適的加熱元件。為了防止爐內(nèi)氣氛作用于加熱元件和炭黑沉積引起的短路現(xiàn)象，可控氣氛爐的加熱元件通常采用板狀抗?jié)B碳電熱元件（低壓和大電流電源）或輻射管加熱元件，隔離氣氛。

      4.設置前后腔室，淬火槽用爐體密封。 在前室和后室進料和排出后，泵送真空并重新填充保護氣體，減少了大氣消耗。

      5.配有安全防爆裝置。

烘箱安裝要求及檢查調(diào)整

1、安置地點要求：

①地面須水平

②通風須良好，落塵量較少

③不要放置在潮濕地方

④不要暴露在易燃或腐蝕性氣體下（特殊烤箱除外）

⑤盡可能使可燃物遠離

⑥環(huán)境溫度匆過高

2、安置間隔要求：

①理想操作環(huán)境機身各方距墻60公分以上

②理想操作環(huán)境機身與機身間隔60公分以上

3、電源安裝要求：

①請依電器銘板上所訂之電源規(guī)格接電

②電壓變動率必須在額定值±5%內(nèi)

③為避免電擊意外發(fā)生，機臺本身必須接地（依電工法規(guī)第三種接地法實施對地電阻100Ω以下）

④不可將有漏電斷路器烤箱與無此裝置烤箱共用接線線路

4、水平調(diào)整：

①機臺定位后，須調(diào)整水平

5、電源接線：

機臺定位完成后，可由機臺后方電源電纜線，并依接線端子板上之標示規(guī)格完成電源接線之工作

6、送風馬達調(diào)整 浚和(上海)儀器有限公司致力于提供高溫無氧烘箱，有需要可以聯(lián)系我司哦！

三分鐘掌握氣氛爐的注意事項1、除了做實驗外，不要停留在高溫爐管區(qū)。2、實驗工作完畢時，若無人繼續(xù)使用，請關特殊氣體，保留N2運動，爐管保持在standby溫度，并查看是否有其它電源該關而沒有關，如燈光、煮酸用的小電爐或其它，請隨手關掉。3、處理氫氟酸時 ，請戴手套，如不小心碰到氫氟酸時，請立刻沖水，用葡萄酸鈣加2%水，揉擦傷處15’。4、石英玻璃制品請小心使用，以免破裂，引起嚴重割傷。5、避免吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。6、 鉀不可與酸類混置，因兩者可產(chǎn)生劇毒之 鉀氣體。7、一旦發(fā)現(xiàn)有妨礙安全之事物時，請立即通知有關人員。8、操作氣氛爐的時候，請節(jié)約純水用量。9、破晶片、濾紙、棉花棒等，請匆掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板漬水。10、長短推桿之前端，在還沒使用到時，請朝上以免污染。11、晶片進出爐口時，請匆碰觸爐管口，以免污染爐管?？：?上海)儀器有限公司高溫無氧烘箱服務值得放心。上海高溫無氧烘箱DNN430C

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氣氛爐產(chǎn)生故障的注意及應急方法

      編制使用維護操作規(guī)程，建立運行記錄和修理檔案，統(tǒng)計運行累積工作時間，加強日常維護，掌握設備技術狀態(tài)變化趨勢，及早發(fā)現(xiàn)故障損壞苗頭，避免屬于事故搶修性質(zhì)的熱修，并根據(jù)電爐子負荷和工作狀況，提前有針對性地準備修理用料，編制修理工藝。如合金元件的使用壽命長短與工作溫度、爐內(nèi)介質(zhì)、元件質(zhì)量及操作情況等許多因素有關，其波動壽命6000～10000h。

  氣氛爐一般在春秋季節(jié)泄漏故障較多，長期閑置時泄漏故障易發(fā)生。我廠采取每月一次測壓升率(在常溫下，關閉所有真空閥，停止真空系統(tǒng)運轉，1Omin后讀一個數(shù)，1h后再讀一個數(shù)，兩數(shù)之差是壓升率的數(shù)值)，掌握設備泄漏變化趨勢，如真空設備連續(xù)停機一個禮拜，要空運轉一次。

  在氣氛爐系統(tǒng)檢漏時，除用泥糊堵外，也可用醫(yī)用針管吸乙醚射至漏點處，觀察真空表讀數(shù)有無變化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，進行檢漏。擴散泵有積炭可用化學酸洗的方法清洗。

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