光刻膠的去除在IC制造工藝流程中占非常重要的地位，其成本約占IC制造工藝的20-30%，光刻膠去膠效果太弱影響生產效率，去膠效果太強容易造成基底損傷，影響整個產品的成品率。傳統主流去膠方法采用濕法去膠，成本低效率高，但隨著技術不斷選代更新，越來越多IC制造商開始采用干法式去膠，干法式去膠工藝不同于傳統的濕法式去膠工藝，它不需要浸泡化學溶劑，也不用烘干，去膠過程更容易控制，避免過多算上基底，提高產品成品率。干法式去膠又被稱為等離子去膠，其原理同等離子清洗類似，主要通過氧原子核和光刻膠在等離子體環境中發生反應來去除光刻膠，由于光刻膠的基本成分是碳氫有機物，在射頻或微波作用下，氧氣電離成氧原子并與光刻膠發生化學反應，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，再通過泵被真空抽走，完成光刻膠的去除。等離子物理去膠過程:主要是物理作用對清洗物件進行轟擊達到去膠的目的，主要的氣體為氧氣、氬氣等，通過射頻產生氧離子，轟擊清洗物件，以獲得表面光滑的較大化，并且結果是親水性增大。等離子表面處理機常用的氣體為:空氣、氧氣、氬氣、氬氫混合氣體、CF4等。重慶plasma等離子清洗機生產企業

Plasma封裝等離子清洗機，顧名思義，其主要在于利用等離子體（Plasma）這一高能態物質對材料表面進行深度清潔與改性。在真空環境下，通過高頻電場激發工藝氣體，使其電離形成等離子體。這些等離子體中的高能粒子、自由基等活性物質，能夠迅速與材料表面的污染物發生反應，將其分解為揮發性物質并被真空泵抽走，從而實現表面的深度清潔。同時，等離子體還能與材料表面分子發生化學反應，引入新的官能團，實現表面改性。相比傳統清洗方法，Plasma封裝等離子清洗機具有無需化學溶劑、無廢水排放、環保節能、處理速度快、效果明顯等優勢。山西國產等離子清洗機廠商通過等離子表面活化，可以提高玻璃基板表面親水性，有效優化表面附著力，提升電池的穩定性和品質。

等離子體是物質的一種存在狀態，通常物質以固態、液態、氣態3種狀態存在，但在一些特殊的情況下可以以第四中狀態存在，如太陽表面的物質和地球大氣中電離層中的物質。這類物質所處的狀態稱為等離子體狀態，又稱為物質的第四態。等離子體中存在下列物質：處于高速運動狀態的電子;處于jihuo狀態的中性原子、分子、原子團(自由基);離子化的原子、分子；分子解離反應過程中生成的紫外線;未反應的分子、原子等，但物質在總體上仍保持電中性狀態。

真空等離子處理是如何進行?要進行等離子處理產品,首先我們產生等離子體。首先，單一氣體或者混合氣體被引入密封的低壓真空等離子體室。隨后這些氣體被兩個電極板之間產生的射頻（RF）jihuo，這些氣體中被jihuo的離子加速,開始震動。這種振動“用力擦洗”需要清洗材料表面的污染物。在處理過程中,等離子體中被jihuo的分子和原子會發出紫外光，從而產生等離子體輝光。溫度控制系統常用于控制刻蝕速率。60-90攝氏度溫度之間刻蝕，是室溫刻蝕速度的四倍。對溫度敏感的部件或組件,等離子體蝕刻溫度可以控制在15攝氏度。我們所有的溫度控制系統已經預編程并集成到等離子體系統的軟件中間。設置保存每個等離子處理的程序能輕松復制處理過程。可以通過向等離子體室中引入不同氣體，改變處理過程。常用的氣體包括O2、N2,Ar,H2和CF4。世界各地的大多數實驗室，基本上都使用這五種氣體單獨或者混合使用，進行等離子體處理。等離子體處理過程通常需要大約兩到十分鐘。當等離子體處理過程完成時,真空泵去除等離子室中的污染物，室里面的材料是清潔,消過毒的,可以進行粘接或下一步程序。等離子表面處理技術可以活化材料表面，提高材料的附著力，使電鍍、噴涂、印刷、點膠等工藝，效果更加優異。

等離子清洗機(plasmacleaner)是高科技的一款表面處理設備，通過等離子體來達到表面處理的作用；獲得清洗、活化、刻蝕、涂層等多方向的應用，解決各種行業的表面處理難題。1、等離子清洗機原理密閉的反應腔體（真空室、真空腔體）被真空泵不斷抽氣，從1個標準大氣壓下降到設定的壓力值并維持真空度；通入氬、氫、氮氣等工藝氣體，啟動等離子發生器，讓反應腔體內電極之間產生高壓交變電場，使得自由電子能量加速，去激發工藝氣體分子形成等離子體，具有高反應活性或高能量的等離子體，會與有機污染物及微顆粒污染物反應、碰撞形成各種揮發性物質，這些揮發性物質伴隨工藝氣流由真空泵抽取出去，從而達到被處理對象表面清潔、活化等目的。等離子清洗機采用干法清洗，無需使用大量水資源，避免了傳統水洗方式對環境的污染。云南小型等離子清洗機

使用大腔體真空等離子可高效、均勻進行表面活化處理，提高潤濕性，從而提高粘接強度。重慶plasma等離子清洗機生產企業

在半導體微芯片封裝中，微波等離子體清洗和活化技術被應用于提高封裝模料的附著力。這包括“頂部”和“倒裝芯片底部填充”過程。高活性微波等離子體利用氧自由基的化學功率來修飾各種基底表面：焊料掩模材料、模具鈍化層、焊盤以及引線框架表面。這樣就消除了模具分層問題，并且通過使用聚乙烯醇的等離子體，不存在靜電放電或其他潛在有害副作用的風險。封裝器件（如集成電路（ic）和印刷電路板（pcb））的去封裝暴露了封裝的內部組件。通過解封裝打開設備，可以檢查模具、互連和其他通常在故障分析期間檢查的特征。器件失效分析通常依賴于聚合物封裝材料的選擇性腐蝕，而不損害金屬絲和器件層的完整性。這是通過使用微波等離子體清潔去除封裝材料實現的。等離子體的刻蝕性能是高選擇性的，不受等離子體刻蝕工藝的影響。重慶plasma等離子清洗機生產企業