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商機詳情 -

浙江高溫無氧烘箱固化半導體晶圓

來源: 發布時間:2022年07月05日

DNN660C厭氧高溫氣氛爐 相關參數及規格(YAMATO)


規格:

內尺寸(寬×深×高mm):660×500×660

外形尺寸(寬×深×高mm):1450×1060×1960

內容積:216L

棚板層數/層間距:19層/30mm

排氣口:40KF法蘭

氮氣入口:Rc1/2

冷卻水入口:Rc3/4

熱水出口:Rc3/4,2個

電源(50/60Hz)額定電流:3相AC380V 27A

重量:約1000kg



選購品:棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈(待機/ 運行/ 故障)、以太網通信功能



----------------------------------- 高溫無氧烘箱,就選浚和(上海)儀器有限公司,用戶的信賴之選。浙江高溫無氧烘箱固化半導體晶圓

氣氛爐經工藝試驗保養工作



      設備于材料試驗、合成、燒結等,在日常使用后用戶也應注意到設備的保養工作,保養時我們應該定期檢查的項目有:  

      1、使用時不得超過額定功率,爐溫不得超過*高使用溫度。禁止將潮濕工件裝入爐膛內,含有過高水份的被加熱工件應預先烘干。  

      2、保持爐膛清潔,對爐內的金屬氧化物,爐渣和雜質等應及時清潔。裝卸工件時應謹慎,以防碰壞硅鉬棒。  

      3、硅鉬棒堿、堿金屬、硅酸及硼化合物在高溫下對它能起腐蝕作用,水蒸氣對它有強烈的氧化影響,氫及含有大量氫的氣體在高溫時會分解硅鉬棒,使用時必須嚴加注意、  

      4、車間須配備1/2管以水源后力達0.2MPa.  

      5、接通充氣口充入CO2及其它保護氣體,當氣氛爐壓力表指示在0.02~0.04MPa時,停止充氣。  

      6、通過調查流量和控制出水口溫度在40℃。  

      7、當爐溫升高,應隨時注意,壓力長,間斷打開放氣閥門,使爐膽內的壓力在0.1MPa以下,這時膽的油煙等雜質可隨之排出。  

      8、實行光亮退火,在升溫時打開放氣閥,隨后充入保護氣體,流量由小變大,當爐內壓力為正壓時,即關閉全部閥門,此工藝應經工藝試驗,由熟練工人掌握。 浙江高溫無氧烘箱固化半導體晶圓浚和(上海)儀器有限公司致力于提供高溫無氧烘箱,有想法的可以來電咨詢!

氣氛爐的爐結構與一般熱處理爐的爐結構基本相似


      氣氛爐的爐結構與一般熱處理爐的爐結構基本相似,其設計和計算方法相似。 但是,由于要將受控氣氛引入爐內,除了相應的附加裝置如氣氛發生裝置,管道系統和滴灌系統外,還應滿足爐子結構的某些特殊要求。


      1.密封性好。 爐殼主要由連續焊縫組成,活動可拆卸件由石棉繩和水玻璃制成,密封用螺釘壓緊:爐體密封部分采用密封填料,壓緊法蘭,油封密封。 和水冷套; 材料端的前端和后腔配有兩個爐門,它們交替地打開和關閉,以防止空氣直接進入爐子; 在門和爐門上按壓砂封槽和滾輪,傾斜塊,螺栓,爐門傾斜3°。  7°重力壓縮密封,或使用防火簾密封等; 定期檢查管道系統是否泄漏。


      2.大氣均勻流動。 合理選擇進風口和排氣口的位置,充電時留有間隙,并考慮氣流。 用于化學熱處理的可控氣氛爐通常配備有風扇以迫使大氣流動。


      3.合適的加熱元件。為了防止爐內氣氛作用于加熱元件和炭黑沉積引起的短路現象,可控氣氛爐的加熱元件通常采用板狀抗滲碳電熱元件(低壓和大電流電源)或輻射管加熱元件,隔離氣氛。


      4.設置前后腔室,淬火槽用爐體密封。 在前室和后室進料和排出后,泵送真空并重新填充保護氣體,減少了大氣消耗。


      5.配有安全防爆裝置。



DTN450C潔凈厭氧高溫氣氛爐 相關參數及規格(YAMATO)


規格:

①內尺寸(寬×深×高mm):450×450×450

②外形尺寸(寬×深×高mm):1240×1010×1750

③內容積:91L

④棚板層數/層間距:12層/30mm

⑤排氣口:40KF法蘭

⑥氮氣入口:Rc1/2

⑦冷卻水入口:Rc3/4

⑧熱水出口:Rc3/4,2個

⑨電源(50/60Hz)額定電流:3相AC380V 20A

⑩重量:約900kg



選購品:棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈(待機/ 運行/ 故障)、以太網通信功能



---------------- 浚和(上海)儀器有限公司為您提供高溫無氧烘箱,有想法的不要錯過哦!

DNN460C厭氧高溫氣氛爐 相關參數及規格(YAMATO)


1、方式:氮氣置換+ 強制送風循環

2、性能:

①使用溫度范圍:室溫+50~600℃

②溫度調節精度:±1.0℃(at600℃)

③溫度分布精度:±8.0℃(at600℃)

④MAX溫度到達時間:約110分鐘

⑤氧濃度:20ppm 以下

⑥氧濃度到達時間:≤ 20分(250L/min 氮氣)

3、構成:

①內裝:不銹鋼板

②外裝:冷軋鋼板,表面耐藥品性涂裝

③斷熱材:硅酸鋁棉

④加熱方式:不銹鋼加熱管

⑤加熱功率:主加熱器9.5KW

⑥N2預熱:1KW

⑦冷卻機構:不銹鋼冷卻水換熱器

4、控制器:

①溫度控制方式:PID控制

②溫度控制器:液晶觸摸屏+PLC

③運行功能:手動定值運行、自動程序運行

④程序模式:程序運行9個,每個程序可設置9步(可擴展)

⑤附加功能:操作員等級認證

⑥加熱器回路控制:SSR驅動

⑦傳感器:K型熱電偶(溫度控制及過升防止器)

5、安全裝置:門檢測開關、過升防止器、氧濃度異常、N2 預熱溫度過升、水壓低檢測、N2 壓力低檢測、冷卻水流量檢測、N2 流量檢測、風機過載檢測、過電流漏電保護開關等 浚和(上海)儀器有限公司致力于提供高溫無氧烘箱,有需求可以來電咨詢!浙江高溫無氧烘箱固化半導體晶圓

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DTN450C潔凈厭氧高溫氣氛爐相關參數及規格(YAMATO)

1、方式:氮氣置換+強制送風循環

2、性能:

①使用溫度范圍:室溫+50~500℃

②溫度調節精度:±1.0℃(at500℃)

③溫度分布精度:±8.0℃(at500℃)

④MAX溫度到達時間:約110分鐘

⑤氧濃度:20ppm以下

⑥氧濃度到達時間:≤20分(250L/min氮氣)

⑦潔凈度:溫度恒定時100級

3、構成:

①內裝:不銹鋼板

②外裝:冷軋鋼板,表面耐藥品性涂裝

③斷熱材:硅酸鋁棉

④加熱方式:不銹鋼加熱管

⑤加熱功率:主加熱器9.5KW

⑥N2預熱:1KW

⑦冷卻機構:不銹鋼冷卻水換熱器

⑧HEPA過濾器:集塵效率:0.3um粒子99.97%以上

4、控制器:

①溫度控制方式:PID控制

②溫度控制器:液晶觸摸屏+PLC

③運行功能:手動定值運行、自動程序運行

④程序模式:程序運行9個,每個程序可設置9步(可擴展)

⑤附加功能:操作員等級認證

⑥加熱器回路控制:SSR驅動

⑦傳感器:K型熱電偶(溫度控制及過升防止器)

5、安全裝置:門檢測開關、過升防止器、氧濃度異常、N2預熱溫度過升、水壓低檢測、N2壓力低檢測、冷卻水流量檢測、N2流量檢測、風機過載檢測、過電流漏電保護開關等 浙江高溫無氧烘箱固化半導體晶圓

浚和(上海)儀器有限公司是一家供應國內外先進儀器和設備的專業供應商和服務商,致力于為客戶提供專業的定制化解決方案。多年來,持續為醫藥、化工、高校、科研單位、檢測院等多個行業提供先進的產品和專業的服務。

浚和在不斷引進國內外先進儀器設備的同時,結合行業和市場需求,加強和客戶之間的溝通,并與國際上多家**儀器設備制造商保持著長期穩定的合作關系,不定期地與合作商進行技術交流,努力加強自身技術力量。公司配備了數名有著多年行業經驗的技術人員,依靠雄厚的技術實力、科學合理的配置方案、專業的安裝調試和周到的售后服務,得到了廣大用戶的支持與信賴。

公司主要經營產品包括:等離子清洗機、真空泵、噴霧干燥器、數字PCR、高壓滅菌鍋、培養箱、切片機、水分測定儀、激光粒度儀、光譜儀、溫濕度記錄儀等,目前主要合作品牌有:日本雅馬拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、廣州永諾 、日本KEM等。同時,公司還提供專業的技術服務,如設備的維護、驗證等。

浚和儀器將始終以行業特點為立足點,以客戶需求為導向,不斷地提高自身專業技術能力,不停地完善客戶服務質量,在發展中保持創新的精神,力求與客戶共同進步,為行業的發展作出不懈的努力。

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