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真空泵的工作原理

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023年06月23日

水環(huán)真空泵在泵體中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪按圖中順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)時(shí),水被葉輪拋向四周,由于離心力的作用水形成了一個(gè)決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的下部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切,水環(huán)的上部?jī)?nèi)表面剛好與葉片頂端接觸(實(shí)際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度)。此時(shí)葉輪輪轂與水環(huán)內(nèi)界面之間形成一個(gè)月牙形空間,而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個(gè)小腔。如果以葉輪的下部0°為起點(diǎn),那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時(shí)小腔的容積由小變大,且與端面上的吸氣口相通,此時(shí)氣體被吸入,當(dāng)吸氣終了時(shí)小腔則與吸氣口隔絕;當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí),小腔由大變小,使氣體被壓縮;當(dāng)小腔與排氣口相通時(shí),氣體便被排出泵外。真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。真空泵的工作原理

真空泵的工作原理,真空泵

有些國(guó)家和地區(qū)的電源頻率為60Hz,更要確保羅茨真空泵在提高轉(zhuǎn)速的情況下長(zhǎng)期運(yùn)行的可靠性。目前,國(guó)內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨真空泵進(jìn)展很快,技術(shù)上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器,其中一部分被冷卻的氣體通過(guò)管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子,從而使壓縮熱得平衡,所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求,這種泵可以串聯(lián)使用,一般前面加一臺(tái)氣冷式直排大氣羅茨泵,所達(dá)到的極限真空要比前級(jí)泵高一個(gè)數(shù)量級(jí)。真空泵的工作原理干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能,在歐美目前已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體等行業(yè)選擇真空獲得設(shè)備。

真空泵的工作原理,真空泵

真空泵的轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙,不用潤(rùn)滑,摩擦損失小,可降低驅(qū)動(dòng)功率,從而可實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速;泵腔內(nèi)無(wú)需用油密封和潤(rùn)滑,可減少油蒸氣對(duì)真空系統(tǒng)的污染;泵腔內(nèi)無(wú)壓縮,無(wú)排氣閥。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊,對(duì)被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;壓縮比較低,對(duì)氫氣抽氣效果差;轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面,加工和檢查比較困難。結(jié)構(gòu),泵總體結(jié)構(gòu)型式。真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。立式結(jié)構(gòu)的進(jìn)、排氣口水平設(shè)置,裝配和連接管路都比較方便。

羅茨真空泵轉(zhuǎn)子由0°轉(zhuǎn)到180°的抽氣,在0°位置時(shí),下轉(zhuǎn)子從泵入口封入v0體積的氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)到45°位置時(shí),該腔與排氣口相通。由于排氣側(cè)壓強(qiáng)較高,引起一部分氣體返沖過(guò)來(lái)。當(dāng)轉(zhuǎn)到90°位置時(shí),下轉(zhuǎn)子封入的氣體,連同返沖的氣體一起排向泵外。這時(shí),上轉(zhuǎn)子也從泵入口封入v0體積的氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)到135°時(shí),上轉(zhuǎn)子封入的氣體與排氣口相通,重復(fù)上述過(guò)程。180°位置和0°位置是一樣的。轉(zhuǎn)子主軸旋轉(zhuǎn)一周共排出四個(gè)v0體積的氣體。真空干燥箱對(duì)于所烘的物料是有要求的,其一是不能含有大量的水,其二是不能含有有機(jī)化合物。

真空泵的工作原理,真空泵

通常總是不加區(qū)分地把微型泵中的氣體采樣泵和微型真空泵簡(jiǎn)單統(tǒng)稱為微型真空泵,但從技術(shù)角度二者是有區(qū)別的,選型時(shí)更要特別注意。簡(jiǎn)而言之,氣體采樣泵只能帶小負(fù)載(即:泵抽氣端阻力不能太大),但價(jià)格便宜;嚴(yán)格意義上的微型真空泵可以帶大負(fù)載(抽氣端允許大阻力,甚至完全堵塞),但價(jià)格稍貴。氣體采樣泵有:PM系列(具體型號(hào)如:PM950.2、PM850.5、PM8001、PM7002、PM6503);微型真空泵有:VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列、FM系列、FAA系列、PCF系列,這些系列下的所有規(guī)格都是真正的微型真空泵,如VM7002、VAA6005、PC3025等。往復(fù)真空泵的主要部件有氣缸及在其中做往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)的活塞。真空泵的工作原理

真空泵必須具有前級(jí)泵配合,方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速。真空泵的工作原理

往復(fù)真空泵的主要部件有氣缸及在其中做往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)的活塞,活塞的驅(qū)動(dòng)是用曲柄連桿機(jī)構(gòu)來(lái)完成的。除上述主要部件外還有排氣閥和吸氣閥等重要部件,以及機(jī)座、曲軸箱、動(dòng)密封和靜密封等輔助部件。運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),在電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)下,通過(guò)曲柄連桿機(jī)構(gòu)的作用,使氣缸內(nèi)的活塞做往復(fù)運(yùn)動(dòng)。當(dāng)活塞在氣缸內(nèi)從左端向右端運(yùn)動(dòng)時(shí),由于氣缸的左腔體積不斷增大,氣缸內(nèi)氣體的密度減小,而形成抽氣過(guò)程,此時(shí)被抽容器中的氣體經(jīng)過(guò)吸氣閥5進(jìn)入泵體左腔。當(dāng)活塞達(dá)到右位置時(shí),氣缸左腔內(nèi)就完全充滿了氣體。真空泵的工作原理

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