歐美半導(dǎo)體行業(yè)45％以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國(guó)外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無(wú)油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速?gòu)?0m3/h～500m3/h。據(jù)統(tǒng)計(jì)，目前國(guó)產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1％，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國(guó)外進(jìn)口，其價(jià)格十分昂貴。所以，我國(guó)應(yīng)大力研究開(kāi)發(fā)干泵，使干泵成為我國(guó)真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。液環(huán)式真空泵是帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)。往復(fù)式真空泵訂做價(jià)格

真空泵的工作壓力應(yīng)該滿足工藝工作壓力要求，選型時(shí)真空度要高于真空設(shè)備真空度的半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。(如：真空工藝要求100pa(壓力)的真空度，選用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求壓強(qiáng)高于3300Pa，則優(yōu)先選擇水環(huán)式真空泵作為真空裝置，如果壓強(qiáng)要求低于3300Pa，則不能選擇水環(huán)式真空泵，選擇旋片式真空泵或更高真空級(jí)別的真空泵作為真空獲得裝置。真空泵要求抽氣速率(也就是要求真空泵在其工作壓力下，排出氣體、液體，固體的能力)，一般單位：m3/h，L/S，m3/min。具體計(jì)算方法可以參考下面公式自行計(jì)算選型。當(dāng)然，真空泵的選型是一個(gè)綜合過(guò)程，涉及到相關(guān)經(jīng)驗(yàn)等因素。往復(fù)式真空泵訂做價(jià)格水環(huán)真空泵開(kāi)始用作自吸水泵，而后逐漸用于石油、化工、機(jī)械、礦山、輕工、醫(yī)藥及食品等許多工業(yè)部門。

微型真空泵被作為動(dòng)力裝置，普遍用于氣體采樣、氣體循環(huán)、真空吸附、加速過(guò)濾、汽車真空助力等等場(chǎng)合，在醫(yī)療、衛(wèi)生、科研、環(huán)保等領(lǐng)域得到了普遍的應(yīng)用。輸入壓縮空氣，如果只是用微型氣泵輸出壓縮空氣。簡(jiǎn)單地說(shuō)，就是只用它來(lái)打氣、充氣，泵的抽氣口基本不用。這種情況比較簡(jiǎn)單，按輸出壓力從大到小依次可選：PCF5015N、FAA8006、FAA6003、FAA4002、FM2002、FM1001。當(dāng)然還要參考流量指標(biāo)等相關(guān)技術(shù)參數(shù)。如果是用微型泵抽氣，情況稍微復(fù)雜些。判斷微型泵抽氣端工況，用于抽氣的微型泵分為兩類：氣體采樣泵和微型真空泵。

往復(fù)真空泵的主要部件有氣缸及在其中做往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)的活塞，活塞的驅(qū)動(dòng)是用曲柄連桿機(jī)構(gòu)來(lái)完成的。除上述主要部件外還有排氣閥和吸氣閥等重要部件，以及機(jī)座、曲軸箱、動(dòng)密封和靜密封等輔助部件。運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，在電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)下，通過(guò)曲柄連桿機(jī)構(gòu)的作用，使氣缸內(nèi)的活塞做往復(fù)運(yùn)動(dòng)。當(dāng)活塞在氣缸內(nèi)從左端向右端運(yùn)動(dòng)時(shí)，由于氣缸的左腔體積不斷增大，氣缸內(nèi)氣體的密度減小，而形成抽氣過(guò)程，此時(shí)被抽容器中的氣體經(jīng)過(guò)吸氣閥5進(jìn)入泵體左腔。當(dāng)活塞達(dá)到右位置時(shí)，氣缸左腔內(nèi)就完全充滿了氣體。真空泵的維護(hù)檢查油的位置。經(jīng)常檢查油質(zhì)情況，發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應(yīng)及時(shí)更換新油。

在真空泵中，相對(duì)壓強(qiáng)即所測(cè)內(nèi)部壓強(qiáng)比“大氣壓”低多少壓強(qiáng)，表示出系統(tǒng)壓強(qiáng)實(shí)際數(shù)值低于大氣壓強(qiáng)的數(shù)值。由于容器內(nèi)部空氣被抽，因此，內(nèi)部的壓強(qiáng)始終低于容器外部壓強(qiáng)。所以當(dāng)用相對(duì)壓強(qiáng)或者表壓強(qiáng)表示的時(shí)候，數(shù)值前面必須帶負(fù)號(hào)，表示容器內(nèi)部壓強(qiáng)比外部壓強(qiáng)低。極限壓強(qiáng)，壓強(qiáng)即所測(cè)內(nèi)部壓強(qiáng)比”理論真空(理論真空壓強(qiáng)值為0Pa)”高多少壓強(qiáng)。它所比較的對(duì)象為理論狀態(tài)的真空壓強(qiáng)值。由于工藝所限，我們無(wú)論如何都不能將內(nèi)部壓強(qiáng)抽到真空0Pa這個(gè)數(shù)值，因此，真空泵所抽的真空值比理論真空值要高。所以當(dāng)用真空表示時(shí)，數(shù)值前面無(wú)負(fù)號(hào)。當(dāng)真空泵中的葉輪順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)時(shí)，由于離心力的作用，形成了一個(gè)決定于泵腔形狀的封閉圓環(huán)。往復(fù)式真空泵訂做價(jià)格

通?？偸遣患訁^(qū)分地把微型泵中的氣體采樣泵和微型真空泵簡(jiǎn)單統(tǒng)稱為微型真空泵。往復(fù)式真空泵訂做價(jià)格

由于水環(huán)真空泵中氣體壓縮是等溫的，故可抽除易燃、易爆的氣體，此外還可抽除含塵、含水的氣體，因此，水環(huán)泵應(yīng)用日益增多。在泵體中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪按圖中指示的方向順時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí)，水被葉輪拋向四周，由于離心力的作用，水形成了一個(gè)決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的上部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切，水環(huán)的下部?jī)?nèi)表面剛好與葉片頂端接觸（實(shí)際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度）。此時(shí)葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個(gè)月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成葉片數(shù)目相等的若干個(gè)小腔。往復(fù)式真空泵訂做價(jià)格