可有效穩(wěn)定所述固定板423的豎直放置位置。同時,值得指出的時,所述豎直平板421上所述側(cè)支撐件44的固定方式也可采用板加槽的方式,具體的,所述豎直平板421上設(shè)置有若干豎槽,所述豎槽單側(cè)豎直有若干定槽,對應(yīng)所述定槽設(shè)置有帶有固定塊的安裝板,所述安裝板對應(yīng)所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有至少2個所述固定塊,所述安裝板遠離所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有所述側(cè)支撐件44,通過將所述固定塊分別設(shè)置于所述定槽內(nèi),從而實現(xiàn)所述側(cè)支撐件44在所述豎直平板421上的固定。通過所述豎直平板421和所述側(cè)板422上的所述側(cè)支撐件44的設(shè)置,從而實現(xiàn)對所述玻璃加工治具4上玻璃的側(cè)邊位置固定,同時,通過所述側(cè)板422上所述調(diào)節(jié)槽的設(shè)置,可實現(xiàn)所述側(cè)板422上所述側(cè)支撐件44的位置調(diào)節(jié),從而使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃,并可根據(jù)具體玻璃尺寸同時放置不同尺寸的玻璃進行減薄處理。實施例五一般的,對于實施例四中的所述玻璃加工治具4結(jié)構(gòu),可通過調(diào)節(jié)所述底支撐件43位置使所述底支撐件43適用于不同尺寸的玻璃。如圖7、圖8所示,圖7為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)正視圖;圖8為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖;所述底支撐件43包括支撐條431、第二支撐條432、連接部433和接觸部434。質(zhì)量比較好的減薄用清洗劑的公司找誰?南通顯示面板用減薄用清洗劑配方技術(shù)
即兩所述側(cè)板422之間設(shè)置有一排所述固定板423,從而形成對應(yīng)設(shè)置有所述側(cè)支撐件44的所述豎直平板421,在各所述放置部內(nèi)放置有一排玻璃,可實現(xiàn)所述放置部結(jié)構(gòu)的小型化,便于在同一所述玻璃加工治具4上設(shè)置若干所述放置部以使各所述放置部對應(yīng)不同尺寸的玻璃。圖4為所述調(diào)節(jié)槽的另一種實施方式,所述調(diào)節(jié)槽包括若干所述水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的所述豎直槽425,所述固定槽426設(shè)置于所述水平槽424的下邊緣;兩所述豎直平板421均設(shè)置有所述側(cè)支撐件44,同一所述水平槽424可設(shè)置兩個所述固定卡塊427,即兩所述側(cè)板422之間設(shè)置有兩排所述固定板423,兩所述固定板423分別對應(yīng)兩所述豎直平板421,使在同一所述放置部內(nèi)分割處兩個放置空間,從而在各所述放置部內(nèi)可放置兩排玻璃,便于節(jié)省所述玻璃加工治具4上的有限空間,可大尺寸玻璃和小尺寸玻璃配合設(shè)置于同一所述放置部內(nèi)。較佳的,兩相鄰所述水平槽424之間還設(shè)置有至少兩個定位槽428,所述固定板423兩端設(shè)置有定位孔429,當(dāng)所述固定卡塊427設(shè)置于所述固定槽426內(nèi)時,所述定位槽428和所述定位孔429位置對應(yīng);通過將螺釘穿過所述固定槽426螺紋固定在所述定位孔429中,保證所述固定卡塊427在所述固定槽426內(nèi)。南通顯示面板用減薄用清洗劑配方技術(shù)選擇專業(yè)減薄用清洗劑,為您的產(chǎn)品質(zhì)量保駕護航。
磁轉(zhuǎn)子12放置在待加工部件20的待加工表面上,用于通過旋轉(zhuǎn)對待加工部件20的待加工表面進行機械研磨,對待加工表面進行減薄。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn),因此,可以降低拋光減薄過程中對待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力,降低待加工部件20如inp基晶圓的機械加工損傷。可選地,本發(fā)明實施例中通過光刻膠鍵合固定待加工部件20和托盤10。當(dāng)然,本發(fā)明并不限于此,在其他實施例中,待加工部件20和托盤10還可以采用其他膠體進行鍵合固定。基于此,如圖2所示,本發(fā)明實施例中的拋光減薄裝置還包括熱板14,該熱板14設(shè)置在托盤10底部,用于對托盤10進行加熱,以使待加工部件20與托盤10鍵合固定。具體地,將待加工部件20背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠21,如az4620光刻膠,然后在托盤10表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠21,如az4620光刻膠,之后,將托盤10光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板14上,將待加工部件20光刻膠面和托盤10光刻膠面貼合,在2×10-2mabr真空下,施加1bar壓強于待加工部件20上進行鍵合,鍵合時間20min。本發(fā)明實施例中,采用噴頭11向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,來對待加工部件20的待加工表面進行拋光。需要說明的是。
所述控制器進行第二次減薄厚度確認操作;具體的,通過設(shè)置于所述第三沖洗區(qū)2的第二輔助厚度測量儀進行厚度檢測,從而實現(xiàn)所述減薄厚度確認操作,當(dāng)所述減薄厚度未達到目標(biāo)厚度時,所述玻璃加工治具4可再次進入所述蝕刻區(qū)3內(nèi)進行減薄處理。所述主厚度測量儀32設(shè)置在其中對玻璃施加減薄處理的所述蝕刻區(qū)3中并且實時測量玻璃厚度,使得玻璃可更準(zhǔn)確地具有目標(biāo)厚度;所述輔助厚度測量儀設(shè)置在所述沖洗區(qū)2中,并且再次測量經(jīng)歷過減薄處理的玻璃的厚度,因此可以檢查設(shè)置在所述蝕刻區(qū)3中的所述主厚度測量儀32是否無法正確工作,并且使減薄玻璃的缺陷率降至;且所述輔助厚度測量儀可提前測量待經(jīng)歷減薄處理的玻璃的厚度,因此可以檢查設(shè)置在蝕刻區(qū)3中的主厚度測量儀32是否無法正確工作;所述第二輔助厚度測量儀設(shè)置在所述第三沖洗區(qū)2,從而在減薄后清洗終完成后,再次進行厚度檢測,從而檢測預(yù)從所述玻璃減薄生產(chǎn)線運出的玻璃是否符合標(biāo)準(zhǔn),并進一步降低減薄玻璃的缺陷率。以上所述為本發(fā)明的較佳實施例,對本發(fā)明而言是說明性的,而非限制性的。本專業(yè)技術(shù)人員理解,在本發(fā)明權(quán)利要求所限定的精神和范圍內(nèi)可對其進行許多改變,修改,甚至等效,但都將落入本發(fā)明的保護范圍內(nèi)。去除多余涂層,減薄用清洗劑是您不可或缺的好幫手。
圖1為本發(fā)明實施例提供的一種拋光減薄裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為本發(fā)明實施例提供的一種托盤和待加工部件的鍵合固定方式示意圖;圖3為本發(fā)明實施例提供的一種磁轉(zhuǎn)子的結(jié)構(gòu)示意圖;圖4為本發(fā)明實施例提供一種磁轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方式的示意圖;圖5為本發(fā)明實施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖。具體實施方式以上是本發(fā)明的思想,為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂,下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖,對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例是本發(fā)明一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發(fā)明保護的范圍。本發(fā)明實施例提供了一種拋光減薄裝置,用于對inp基晶圓等部件進行拋光減薄,如圖1所示,包括托盤10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12,當(dāng)然,本發(fā)明實施例中的拋光減薄裝置還包括反應(yīng)室13等,托盤10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12等在反應(yīng)室13內(nèi)進行拋光和減薄反應(yīng)。其中,托盤10,可選為石英托盤,用于固定待加工部件20,待加工部件20包括inp基晶圓。噴頭11用于向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,以對待加工表面進行拋光。減薄用清洗劑的的參考價格大概是多少?南通顯示面板用減薄用清洗劑配方技術(shù)
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且所述限位塊438和所述第二限位塊439均可在所述限位孔437內(nèi)移動,通過所述連接部433的限位效果,避免所述支撐條431和所述第二支撐條432在磁力作用下產(chǎn)生脫離,從而使所述支撐條431和所述第二支撐條432在磁力和所述連接部433的限位力作用下保持平衡。一般的,所述位塊438和所述第二限位塊439均設(shè)置為圓柱型,從而便于所述限位塊438和所述第二限位塊439在所述限位孔437內(nèi)的移動。當(dāng)放置于所述底支撐件43上的玻璃受到?jīng)_擊或振動時,所述支撐條431可相對于所述第二支撐條432作水平方向的偏移移動,或所述限位塊438和所述第二限位塊439均在所述限位孔437內(nèi)移動,使所述支撐條431可相對于所述第二支撐條432作豎直方向的移動,從而可實現(xiàn)對各個方向上沖擊力或振動的吸收緩沖效果,提高玻璃的安全性。較佳的,所述限位塊438和所述第二限位塊439可設(shè)置為螺釘,所述限位孔437寬度配合所述螺釘?shù)穆菁y直徑設(shè)置,在所述支撐條431和所述第二支撐條432上設(shè)置螺紋孔,通過將所述限位塊438和所述第二限位塊439與所述螺紋孔螺紋連接,從而實現(xiàn)所述限位塊438和所述第二限位塊439在所述支撐條431和所述第二支撐條432上的固定。通過將所述限位塊438和所述第二限位塊439設(shè)置為螺釘。南通顯示面板用減薄用清洗劑配方技術(shù)