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上海國產(chǎn)減薄用清洗劑報(bào)價(jià)

來源: 發(fā)布時(shí)間:2024年04月02日

    并控制磁轉(zhuǎn)子12和噴頭11每間隔20s旋轉(zhuǎn)10s,也就是說,控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)10s,控制磁轉(zhuǎn)子停止旋轉(zhuǎn)后,控制噴頭噴涂拋光液10s,停止噴涂拋光液10s后,控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)10s,以此類推。本發(fā)明實(shí)施例中,控制部件在脈沖工作模式下,實(shí)現(xiàn)減薄和拋光兩種工藝交替作用,使得減薄和拋光一體化完成,整個(gè)過程穩(wěn)定,速度快,控制性好,重復(fù)度高,無粉塵污染,襯底減薄終厚度達(dá)到20μm,拋光面ra<2nm。還需要說明的是,本發(fā)明實(shí)施例中,在減薄的過程中,可以不斷更換磁轉(zhuǎn)子12,如磁轉(zhuǎn)子12工作1小時(shí)后,將磁轉(zhuǎn)子12更換為新的磁轉(zhuǎn)子,以使磁轉(zhuǎn)子與待加工表面貼合緊密,避免了傳統(tǒng)減薄工藝中由于轉(zhuǎn)子形變誤差造成的加工精度失真。此外,本發(fā)明實(shí)施例中,在完成拋光和減薄后,可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對待加工部件20進(jìn)行清洗,用di水沖洗干凈,40℃的氮?dú)獯蹈伞V螅瑢⑶逑春蟮拇庸げ考?0和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min,使得待加工部件20和托盤10自動分離,取出待加工部件20后清洗干凈即可。本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種拋光減薄方法,如圖5所示,包括:s101:將待加工部件固定在托盤上,待加工部件包括inp基晶圓;可選地。選擇專業(yè)減薄用清洗劑,為您的產(chǎn)品質(zhì)量保駕護(hù)航。上海國產(chǎn)減薄用清洗劑報(bào)價(jià)

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    故所述控制器在從所述輔助厚度測量儀接收的玻璃厚度超出目標(biāo)厚度的公差范圍時(shí),可再次控制所述玻璃加工治具4回到所述蝕刻區(qū)3,并且控制玻璃在所述蝕刻區(qū)3中再次經(jīng)歷減薄處理,以將玻璃處理為目標(biāo)厚度。同時(shí)通過所述輔助厚度測量儀提前測量待經(jīng)歷減薄處理的玻璃厚度,可與所述主厚度測量儀32檢測的初始厚度作對比,可判斷所述主厚度測量儀32是否失靈,從而在后期根據(jù)所述輔助厚度測量儀的檢測數(shù)據(jù)判斷是否需再次進(jìn)入所述腔室31。具體的,當(dāng)所述輔助厚度測量儀檢測厚度與所述主厚度測量儀32檢測的初始檢測厚度不在公差范圍之內(nèi),可判斷所述主厚度測量儀32失靈;在當(dāng)后期減薄后所述輔助厚度測量儀的檢測厚度不符合目標(biāo)厚度時(shí),可判斷所述主厚度測量儀32非暫時(shí)失靈,所述控制器警報(bào)提醒并不再將所述玻璃加工治具4回撤至所述腔室31內(nèi),而將所述玻璃加工治具4從所述刻蝕區(qū)撤出,并等待所述主厚度測量儀32的維修完成。實(shí)施例七采用本發(fā)明所述玻璃減薄生產(chǎn)線的具體工藝流程為:s1,將豎直容納玻璃的所述玻璃加工治具4放置在所述轉(zhuǎn)換區(qū)1內(nèi),經(jīng)所述沖洗區(qū)2減薄前清洗后轉(zhuǎn)移至所述蝕刻區(qū)3,所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區(qū)3中經(jīng)歷減薄處理;具體的,在所述蝕刻區(qū)3中進(jìn)行減薄處理期間。

    所述支撐條431和所述第二支撐條432一一平行對應(yīng)設(shè)置,所述連接部433活動連接所述支撐條431和所述第二支撐條432,所述支撐條431固定設(shè)置于所述底座41上,所述接觸部434均勻設(shè)置在所述第二支撐條432上。同時(shí)可通過設(shè)置所述支撐條431的高度或所述支撐條431的固定位置從而調(diào)節(jié)所述底支撐件43的高度,如通過將上述支撐條431的兩端固定在兩所述豎直平板421上。較佳的,所述支撐條431和所述第二支撐條432上設(shè)置有磁性組,所述支撐條431和所述第二支撐條432在所述磁性組提供的磁性斥力作用下具有調(diào)節(jié)間隙。所述磁性組包括磁性件435和第二磁性件436,所述磁性件435和所述第二磁性件436分別設(shè)置于所述支撐條431和所述第二支撐條432上,且所述磁性件435和所述第二磁性件436之間具有磁性斥力,從而使所述第二支撐條432懸浮于所述支撐條431的上方。所述連接部433設(shè)置有限位孔437,所述限位孔437設(shè)置為腰型孔,所述支撐條431的水平兩側(cè)均設(shè)置有若干限位塊438,所述第二支撐條432的水平兩側(cè)均設(shè)置有若干第二限位塊439,所述限位塊438和所述第二限位塊439一一對應(yīng)設(shè)置,對應(yīng)設(shè)置的所述限位塊438和所述第二限位塊439均設(shè)置在同一所述連接部433的所述限位孔437內(nèi)。選擇減薄用清洗劑,輕松應(yīng)對各種涂層問題,提升工作效率。

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