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江蘇哪家蝕刻液蝕刻液配方技術

來源: 發(fā)布時間:2025年03月31日

    過濾器的出液管自動上行離開儲存罐,將裝滿的儲存罐從鋁蝕刻液生產(chǎn)車間移動至自動灌裝車間中,將灌裝頭的快速接頭插入儲存罐的出液口中便可將儲存罐內(nèi)的鋁蝕刻液分裝。本實用新型除上述技術方案外,還包括以下技術特征:進一步的是,所述地磅的頂部平臺中設置有兩條卡塊,所述卡塊與平臺之間形成一插槽;所述氣動夾緊機構包括氣缸和壓緊塊,所述壓緊塊位于所述插槽中,所述氣缸的伸縮桿與所述壓緊塊固連。進一步的是,所述拖車的頂部設置有一圈圍設在所述儲存罐外部的護欄。進一步的是,所述拖車的頂部設置有一集液盒,所述儲存罐安裝在所述集液盒中。進一步的是,所述拖車的頂部于所述儲存罐的旁側設置有集液腔室。與現(xiàn)有技術相比,本實用新型的有益效果是:1.將原有的大型儲存罐更換成數(shù)個小型儲存罐,并采用液壓升降式拖車帶著儲存罐在鋁蝕刻液生產(chǎn)車間與自動灌裝車間之中周轉,如此便可為鋁蝕刻液生產(chǎn)設備配備全自動灌裝線,即提高了單瓶灌裝精度和效率,又降低了企業(yè)的人力成本投入;2.將原有的大型儲存罐更換成數(shù)個小型儲存罐,在儲存罐內(nèi)在進液時,其它儲存罐可以進行定量灌裝,提高了鋁蝕刻液的生產(chǎn)效率。附圖說明為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案。蝕刻液公司的聯(lián)系方式。江蘇哪家蝕刻液蝕刻液配方技術

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    本發(fā)明涉及銅蝕刻液技術領域,具體涉及一種酸性銅蝕刻液的生產(chǎn)工藝。背景技術:高精細芯片和顯示集成電路主要采用銅制程,其光刻工藝中形成銅膜層結構所需用的銅刻蝕液中主要的為過氧化氫系銅刻蝕液。過氧化氫系銅蝕刻液較其他銅刻蝕液體系(如三氯化鐵體系,過硫酸銨體系)具有不引人其他金屬離子在銅層表面或線路體系中,產(chǎn)物親和、友好、環(huán)境污染少,刻蝕效率高且使用壽命較長的特點。大部分過氧化氫系銅刻蝕液包括參與氧化的過氧化氫組分、參與溶解的無機酸/有機酸組分,以及部分銅緩蝕劑等各類添加三個部分。由于銅蝕刻液中各物質(zhì)的反應為放熱反應,體系中又含有過氧化氫在制備銅蝕刻液的生產(chǎn)過程中需要保證生產(chǎn)安全。技術實現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的在于,克服現(xiàn)有技術中存在的缺陷,提供一種銅蝕刻液大規(guī)模量產(chǎn)的生產(chǎn)工藝,該生產(chǎn)工藝溫控嚴格,生產(chǎn)過程中安全性高。為實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明的技術方案是設計一種酸性銅蝕刻液的生產(chǎn)工藝,所述工藝包括以下步驟:第一步:將純水進行低溫處理,使純水溫度≤10℃在純水罐中備用;第二步:配制和準備原料,將亞氨基二乙酸、氫氟酸和乙醇酸分別投入對應的原料罐中,經(jīng)過過濾器循環(huán)過濾,備用。合肥BOE蝕刻液蝕刻液報價性價比高的蝕刻液哪里可以買到;

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    該擋液板結構10包括有一***擋板11、一與該***擋板11接合的第二擋板12,以及一與該第二擋板12接合的第三擋板13,其主要特征在于:該第二擋板12具有復數(shù)個貫穿該第二擋板12且錯位設置的宣泄孔121。該***擋板11與該第二擋板12呈正交設置,且該第二擋板12與該第三擋板13呈正交設置,以使該***擋板11、該第二擋板12與該第三擋板13圍設成一凹槽的態(tài)樣,在一實施例中,該***擋板11、該第二擋板12與該第三擋板13可以為一體成形,其中該第二擋板12的長度h介于10cm至15cm之間,而該等開設于該第二擋板12上的宣泄孔121可呈千鳥排列或矩陣排列等其中的一種排列的態(tài)樣,且該宣泄孔121可為直通孔或斜錐孔等其中的一種態(tài)樣或兩者的混合;在本實用新型其一較佳實施例中,開設于該第二擋板12上的宣泄孔121呈千鳥排列的直通孔態(tài)樣,且位于同一列的宣泄孔121之間具有相同的距離(例如:圖3中所示的w),其中該宣泄孔121的一孔徑a0比較好小于3mm,以使該宣泄孔121的孔洞內(nèi)產(chǎn)生毛細現(xiàn)象,若該第二擋板12的該上表面123有水滴出現(xiàn)時,則該水滴不至于經(jīng)由該宣泄孔121落至下表面,但仍舊可以提供空氣宣泄的管道,以借由該宣泄孔121平衡該第二擋板12上、下二端部的壓力。此外,請一并參閱圖4圖5所示。

    內(nèi)部頂部兩側的震蕩彈簧件14,震蕩彈簧件14頂端的運轉電機組13,運轉電機組13頂端的控制面板15,內(nèi)部中間部位的致密防腐桿16和致密防腐桿16內(nèi)部內(nèi)側的攪動孔17共同組合而成,由于鹽酸硝酸具有較強的腐蝕性,常規(guī)的攪拌裝置容易被腐蝕,影響蝕刻液的質(zhì)量,用防腐蝕的聚四氟乙烯攪拌漿進行攪拌,成本過高,且混合的效果不好,通過設置高效攪拌裝置2,該裝置通過運轉電機組13驅(qū)動旋轉搖勻轉盤12,使旋轉搖勻轉盤12帶動高效攪拌裝置2進行旋轉搖勻,同時設置的震蕩彈簧件14可通過驅(qū)動對高效攪拌裝置2進行震蕩搖勻,高效攪拌裝置2內(nèi)部的蝕刻液通過內(nèi)置的致密防腐桿16,致密防腐桿16內(nèi)部的攪動孔17能夠使蝕刻液不斷細化均勻化,從而很好的防止了蝕刻液的腐蝕,且成本低廉,攪拌均勻效果較好。推薦的,注入量精確調(diào)配裝置是由鹽酸裝罐7內(nèi)部一側的嵌入引流口22,嵌入引流口22一端的負壓引流器21,負壓引流器21一端的注入量控制容器18,注入量控制容器18內(nèi)部內(nèi)側的注入量觀察刻度線19和注入量控制容器18一側的限流銷20共同組合而成,現(xiàn)有的制備裝置無法對相關原料的注入量進行精確控制,無法很好的保證蝕刻液制備的純度,通過設置注入量精確調(diào)配裝置。剝離液有水性和溶劑型等不同的區(qū)分。

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影響ITO堿性氯化銅蝕刻液蝕刻速率的因素:1、Cu2+離子濃度的影響:Cu2+是氧化劑,所以Cu2+的濃度是影響蝕刻速率的主要因素。研究銅濃度與蝕刻速率的關系表明:在0~82g/L時,蝕刻時間長;在82~120g/L時,蝕刻速率較低,且溶液控制困難;在135~165g/L時,蝕刻速率高且溶液穩(wěn)定;在165~225g/L時,溶液不穩(wěn)定,趨向于產(chǎn)生沉淀。2、氯化銨含量的影響:通過蝕刻再生的化學反應可以看出:[Cu(NH3)2]+的再生需要有過量的NH3和NH4Cl存在,如果溶液中缺乏NH4Cl,大量的[Cu(NH3)2]+得不到再生,蝕刻速率就會降低,以致失去蝕刻能力。所以,氯化銨的含量對蝕刻速率影響很大。隨著蝕刻的進行,要不斷補加氯化銨。如何挑選一款適合自己公司的蝕刻液?安慶鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液聯(lián)系方式

蝕刻液蝕刻后如何判斷好壞 ?江蘇哪家蝕刻液蝕刻液配方技術

    本實用新型有關于一種擋液板結構與以之制備的蝕刻設備,尤其是指一種適用于濕式蝕刻機的擋液排液功能且增加其透氣性以降低產(chǎn)品損耗的擋液板結構與以之制備的蝕刻設備。背景技術:請參閱圖1所示,為傳統(tǒng)擋液板結構的整體設置示意圖,其中一實心pvc板態(tài)樣的擋液板結構a設置于一濕式蝕刻機(圖式未標示)內(nèi),主要用以阻擋一蝕刻藥液(圖式未標示)對設置于該擋液板結構a下方的基板(圖式未標示)的噴濺而造成蝕刻不均勻的現(xiàn)象,并且在濕式蝕刻的制程步驟中,該基板設置于二風刀b之間,當該基板設置于一輸送裝置(圖式未標示)而由該擋液板結構a的左方接受蝕刻藥液蝕刻后移動至風刀b之間,該等風刀b再噴出一氣體c到該基板的表面以將該基板表面殘留的蝕刻藥液吹除;然而,當在該等風刀b進行吹氣的狀態(tài)下,容易在該擋液板結構a下方形成微小的真空空間而形成渦流并造成真空吸板的問題;因此,如何有效借由創(chuàng)新的硬體設計,確實達到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板導致的基板刮傷或破片風險,仍是濕式蝕刻機等相關產(chǎn)業(yè)開發(fā)業(yè)者與相關研究人員需持續(xù)努力克服與解決的課題。江蘇哪家蝕刻液蝕刻液配方技術

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