16.4.22臭氧濃度的檢驗應符合下列規定：在風系統內或室內安有可產生臭氧的裝置時，除裝置本身產生的臭氧應符合現行的相關產品標準規定外，還應在系統和該裝置正常運轉條件下，檢測室內臭氧濃度。應按附錄E檢驗，結果應符合設計要求。當設計無明確要求時，應符合現行國家標準《室內空氣質量標準》GB/T18883不大于0.16mg/m3的規定。16.4.23二氧化碳濃度的檢測應符合下列規定：當對新風效果作細致確認時，可在風系統正常運行、室內處于動態條件下，于每一班次結束之前檢測室內二氧化碳濃度，按附錄E檢驗，結果應符合設計要求。當設計無明確要求時，應符合現行國家標準《空內空氣質量標準》GB/T18883不大于0.10％的規定。16.4.24當需要測定分子態污染物濃度時，可按附錄H的方法或按建設方與檢驗方商定的方法檢測，結果應符合設計要求或雙方商定的標準。由HEPA或ULPA與風機組合在一起,構成自身可提供動力的末端空氣凈化的裝置。上海半導體凈化車間無塵室檢測分析

5.2.1潔凈廠房的工藝布置應按產品生產工藝流程、潔凈室的氣流流型、工藝設備的安裝和維修、物料運輸等要求確定。在單向流潔凈室內進行生產工藝設備、操作程序、人員流動路線和物料傳輸布置時,應采取避免發生氣流干擾和交叉污染的措施。5.2.2工藝布局應避免人流和物流之間的混雜和交叉,宜分別設置人員人口、物料入口和設備出入口,并應在各自的人口處設置相應的凈化設施。5.2.3在滿足生產工藝和微振控制、噪聲控制等要求的前提下，空氣潔凈度嚴格的潔凈室(區)宜靠近空調機房布置;空氣潔凈度等級相同的工序或工作室宜集中布置。北京潔凈工作臺無塵室檢測誠信推薦設施已經建成，生產設備已經安裝，并按業主及供應商同意的狀態運行，但無生產人員。

11.3.6安裝空調設備四周的設備層地面應作防水處理，并應平整、無麻面、不起塵。該處地面應設擋水線，不應設排水溝。擋水線范圍之內設地漏，地漏水封高度應符合設備技術文件要求。當無明確要求時，不應小于70mm。冷凝水出水管應有閥門，無冷凝水排出季節閥門應關閉，并應有提示標志。11.3.7當空調設備內表冷器設在負壓段時，地面應設不小于冷凝水出水水封段高度的水泥底座，底座高度不宜低于200mm。11.3.8空調設備內加濕器的安裝應設**支吊架，不得在空調機組壁板上開設固定支架用的安裝孔。加濕器噴管與機組壁板間應做好絕熱、密封處理。

12.1.1潔凈廠房的用電負荷等級和供電要求，應根據電子產品生產工藝及設備要求和現行國家標準《供配電系統設計規范》GB50052的有關規定確定。12.1.2潔凈廠房低壓配電電壓等級應符合生產工藝設備用電要求。帶電導體系統的型式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統接地型式宜采用TN-S或TN-C-S系統。12.1.3電子產品生產用主要工藝設備，應由變壓器或低壓饋電線路供電。對電源連續性有特殊要求的生產設備、動力設備，宜設置不間斷電源或備用發電裝置等。在潔凈室(區)內宜設置的檢修電源。12.1.4潔凈廠房的凈化空調系統（含制冷機），應由變電所專線供電。無塵室為半導體行業提供了可靠的工作環境，推動了計算機、通信、物聯網等領域的飛速發展。

無塵室凈化關鍵功效取決于的操縱商品(如硅集成ic等)所觸碰之空氣的潔凈度等級日及溫度濕度，使商品能在一個優良之自然環境室內空間中生產制造、生產制造，此室內空間大家稱作潔凈凈化室。無塵室架構一般可分成三種：不銹鋼板鋁方通、噴漆鐵鋁方通及其鋁合金型材，頂端及能用不銹鋼板、噴漆冷塑鋼扣板、抗靜電網格圖簾及亞克力有機玻璃板等原材料。周邊一般全是選用抗靜電網格圖簾或者有機玻璃板，排風部用均選用FFU的清潔排風模塊。潔凈廠房中主要以垂直構件分隔構成的井式管廊,用于安裝輔助設備和公用動力設施以及管線等。上海溫濕度無塵室檢測服務

潔凈廠房中以水平構件分隔構成的空間,用于安裝輔助設備和公用動力設施以及管線等。上海半導體凈化車間無塵室檢測分析

11.5.1工藝設備的安裝不應影響潔凈室參數和服務功能。11.5.2工藝設備安裝時，現場的凈化空調系統應已連續運行24h以上；現場除正常照明外，應配備三相380V、單相220V和低壓行燈電源。11.5.3任何用于大設備的提升、牽引或定位的**設備在進人潔凈室安裝現場前，應徹底清潔，并應檢查有無脫屑、剝落的表面或不宜進入潔凈環境的材料。11.5.4設備安裝時應妥善保護墻壁與地面，設備的軟膠輪應予包裹，避免在地面拖磨。開洞作業不應劃傷或污染所在表面。設備安裝位置穿越不同潔凈級別區域時，穿越處縫隙應用柔性材料填充、密封，并應裝飾處理。上海半導體凈化車間無塵室檢測分析