D.3.2靜壓差測(cè)試，應(yīng)符合下列規(guī)定：1靜壓差的測(cè)定應(yīng)在所有的門(mén)關(guān)閉時(shí)進(jìn)行。2儀器宜采用各種型式的微壓計(jì)，儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個(gè)潔凈室（區(qū))時(shí)，應(yīng)從極里面的房間與相鄰房間的壓差測(cè)試開(kāi)始，并應(yīng)按順序向外進(jìn)行檢測(cè)。D.3.3已安裝的空氣過(guò)濾器泄漏測(cè)試，應(yīng)符合下列規(guī)定：1儀器應(yīng)使用采樣量大于11/mn的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器。2應(yīng)在過(guò)濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0.1pm(0.5um)粒子，粒子濃度應(yīng)大于3.5×10'P/m3的大氣塵或其他氣溶膠；在過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)應(yīng)用粒子計(jì)數(shù)器的等動(dòng)力采樣頭放在距離被檢過(guò)濾器表面20～30mm處，并應(yīng)以5～20mm/s速度移動(dòng)。應(yīng)檢測(cè)包括過(guò)濾器的整個(gè)面和過(guò)濾器周邊、過(guò)濾器框架及其密封處的掃描。潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、高新技術(shù)密切聯(lián)系在一起。壓差潔凈室檢測(cè)范圍

7.3.1潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)可分為集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)和分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。凈化空調(diào)系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級(jí)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)確定。潔凈室（區(qū)）面積較小或只有局部要求凈化時(shí)，宜采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。7.3.2潔凈廠房的潔凈室(區(qū)）送風(fēng)方式可分為集中送風(fēng)、隧道送風(fēng)、風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組送風(fēng)等。應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū)）使用功能和降低能量消耗的要求，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較，采用運(yùn)行經(jīng)濟(jì)、節(jié)約能源的送風(fēng)方式。7.3.3凈化空調(diào)系統(tǒng)新風(fēng)的室外吸入口位置，應(yīng)遠(yuǎn)離本建筑或其他建筑物排放有害物質(zhì)或可燃物的排氣口。7.3.4多套凈化空調(diào)系統(tǒng)同時(shí)運(yùn)行或較大型電子工業(yè)潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)，應(yīng)集中處理。浙江醫(yī)療凈化車(chē)間潔凈室檢測(cè)分析潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)金屬管道設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50316的有關(guān)規(guī)定。

5.1.1隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代、產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展十分迅速，以集成電路為**的微電子產(chǎn)品尤為***，集成電路產(chǎn)品基本上是2~3年或更短的時(shí)間就會(huì)提升一代產(chǎn)品；以TFT-LCD為**的顯示器件正在取代彩色顯像管的顯示器件生產(chǎn)；微型計(jì)算機(jī)的迅速發(fā)展，使各種元器件生產(chǎn)發(fā)展十分迅速。因此，電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)、建造必須適應(yīng)這種快速發(fā)展的需要，從潔凈廠房的規(guī)劃開(kāi)始，對(duì)于電子工廠、潔凈廠房的工藝設(shè)計(jì)、工藝布局應(yīng)充分考慮電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性，以滿(mǎn)足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)的需求。

B.1自?xún)魴z測(cè)是測(cè)定潔凈室設(shè)施***空氣懸浮粒子的能力。潔凈室污染潔凈度的恢復(fù)性能是設(shè)施**重要的能力之一。自?xún)魴z測(cè)*對(duì)非單向流系統(tǒng)重要并推薦采用，因?yàn)樽詢(xún)粜阅芘c受控區(qū)內(nèi)循環(huán)空氣比例（換氣次數(shù))、送風(fēng)與出風(fēng)的幾何位置、熱條件和空氣分布特性因素相關(guān)，而單向流系統(tǒng)中，污染被受控氣流置換，自?xún)魰r(shí)間只受位置和距離的影響。自?xún)魴z測(cè)應(yīng)在設(shè)施處于空態(tài)或靜態(tài)時(shí)進(jìn)行。潔凈度ISO8級(jí)和ISO9級(jí)的潔凈室（區(qū)）不推薦自?xún)魴z測(cè)。檢測(cè)若使用人工氣溶膠，應(yīng)防止氣溶膠對(duì)設(shè)施的殘留污染。B.2自?xún)粜阅艿脑u(píng)估方法有100：1自?xún)魰r(shí)間或潔凈度恢復(fù)率。100：1自?xún)魰r(shí)間的定義：粒子濃度降低到0.01倍初始濃度所需時(shí)間。100：1自?xún)魰r(shí)間檢測(cè)是優(yōu)先方法。潔凈恢復(fù)率的定義：粒子濃度隨時(shí)間的變化速率。該方法可以使用粒子濃度衰減曲線(xiàn)進(jìn)行描述(縱座標(biāo)表示濃度，為對(duì)數(shù)刻度；橫座標(biāo)表示濃度，為線(xiàn)性刻度)。在潔凈室設(shè)計(jì)時(shí)生產(chǎn)工藝對(duì)環(huán)境參數(shù)的要求應(yīng)該實(shí)事求是。

7.4.2風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級(jí)和送風(fēng)量選用；2應(yīng)按潔凈室(區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對(duì)氣流流型的要求布置，3終阻力時(shí)的疊加噪聲及振動(dòng)應(yīng)滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定；4送風(fēng)量應(yīng)能調(diào)節(jié)；5應(yīng)便于安裝、維修及過(guò)濾器更換。滿(mǎn)布或布置率較高時(shí)，外殼強(qiáng)度應(yīng)滿(mǎn)足檢修要求。7.4.3層流罩的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：1潔凈室(區(qū))內(nèi)等于或嚴(yán)于5級(jí)的局部?jī)艋瘏^(qū)域宜采用層流罩；2層流罩的形式和進(jìn)風(fēng)方式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝或設(shè)備需要選用；3終阻力時(shí)的疊加噪聲及振動(dòng)應(yīng)滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定；4安裝方式不應(yīng)影響生產(chǎn)操作。潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。壓差潔凈室檢測(cè)范圍

潔凈室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型，以在局部區(qū)域（單向流部分）實(shí)現(xiàn)高級(jí)別的潔凈室。壓差潔凈室檢測(cè)范圍

10.2.3氣體純化裝置的設(shè)置，應(yīng)符合下列要求：1氣體純化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)氣體純度、容許雜質(zhì)含量要求選擇；2氣體純化裝置宜設(shè)置在氣體純化間（站）內(nèi)。當(dāng)潔凈廠房設(shè)有氣體入口室時(shí)，氣體純化間宜與氣體入口室合建；3各類(lèi)氣體純化裝置宜設(shè)置在同一氣體純化間（站）內(nèi)。若有特殊要求時(shí)，也可根據(jù)具體要求分別設(shè)置在各自的氣體純化間內(nèi)；4氣體終端純化裝置宜設(shè)置在鄰近用氣點(diǎn)處。10.2.4進(jìn)入潔凈廠房的氣體管道控制閥門(mén)、氣體過(guò)濾器、調(diào)壓裝置、壓力表、流量計(jì)、在線(xiàn)分析儀等，宜集中設(shè)置在氣體入口室。壓差潔凈室檢測(cè)范圍