4.1.1潔凈廠房位置的選擇，應根據下列要求經技術經濟比較后確定：1應布置在大氣含塵和有害氣體或化學污染物濃度較低、自然環境較好的區域；2應遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發大量粉塵和有害氣體或化學污染物的工廠、貯倉、堆場等有嚴重空氣污染、振動或噪聲干擾或強電磁場的區域。不能遠離嚴重空氣污染源時，則應位于全年**小頻率風向下風側；3在廠區內應布置在環境清潔、污染物少、人流和物流不穿越或少穿越的地段。..非單向流潔凈室中都有渦流存在，不適宜用于高潔凈度的潔凈室中，宜用于6~9級的潔凈室中。江蘇電子廠房環境潔凈室檢測規范性強

B.1自凈檢測是測定潔凈室設施***空氣懸浮粒子的能力。潔凈室污染潔凈度的恢復性能是設施**重要的能力之一。自凈檢測*對非單向流系統重要并推薦采用，因為自凈性能與受控區內循環空氣比例（換氣次數)、送風與出風的幾何位置、熱條件和空氣分布特性因素相關，而單向流系統中，污染被受控氣流置換，自凈時間只受位置和距離的影響。自凈檢測應在設施處于空態或靜態時進行。潔凈度ISO8級和ISO9級的潔凈室（區）不推薦自凈檢測。檢測若使用人工氣溶膠，應防止氣溶膠對設施的殘留污染。B.2自凈性能的評估方法有100：1自凈時間或潔凈度恢復率。100：1自凈時間的定義：粒子濃度降低到0.01倍初始濃度所需時間。100：1自凈時間檢測是優先方法。潔凈恢復率的定義：粒子濃度隨時間的變化速率。該方法可以使用粒子濃度衰減曲線進行描述(縱座標表示濃度，為對數刻度；橫座標表示濃度，為線性刻度)。國內潔凈室檢測在滿足生產工藝的條件下，管道系統應盡量短。

6.1.5設有上技術夾層、下技術夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構造，應滿足產品生產工藝、自動化運輸和公用動力設施安裝和維修的要求。6.1.6設有技術夾層、技術夾道的潔凈廠房，技術夾層、技術夾道的建筑設計應滿足各種風管和各種動力管線安裝和維修的要求。穿越樓層的豎向管線需暗敷時，宜設置技術豎井。技術豎井的形式、尺寸和構造應滿足風管、管線的安裝、檢修和防火要求。6.1.7對兼有一般生產區和潔凈室（區)的綜合性廠房，廠房的平面布局和構造處理，宜避免人流、物流運輸及防火方面對潔凈生產環境帶來不利影響。

空氣過濾器的處理風量應小于或等于額定風量；3中效(高中效)空氣過濾器宜集中設置在空調箱的正壓段；4高效(亞高效)空氣過濾器宜設置在凈化空調系統的末端；超高效空氣過濾器應設置在凈化空調系統的末端；5同一凈化空調系統內末端安裝的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的阻力、效率應相近；6同一凈化空調系統內末端安裝的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的使用風量與額定風量之比值宜相近；7對化學污染物有控制要求的潔凈室(區)，在凈化空調系統中應根據環境條件設置化學過濾器或其他去除裝置；8高效(亞高效、超高效)空氣過濾器應采用不燃或難燃材料制作。7.4.2風機過濾器機組的設置應符合下列要求：1應根據空氣潔凈度等級和送風量選用；2應按潔凈室（區)內生產工藝對氣流流型的要求布置，3終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產工藝和本規范的規定；4送風量應能調節；5應便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時，外殼強度應滿足檢修要求。對較大型的潔凈廠房的凈化空調系統的新風宜集中進行空氣凈化處理。

7.2.1潔凈廠房內的生產工藝一般為超精細加工或要求無菌無塵，對給水系統要求較為嚴格，如大規模集成電路的超純水、醫藥工業的無菌水等。而且有的水系統的造價高、管理要求嚴格，因此應根據不同的要求設置系統(如純水的不同水質要求，冷卻水的不同水溫、水質要求等），以便重點保證要求嚴格的系統，也利于管理和節省運轉費用。目前設在潔凈廠房中的生產工藝大多為技術發展迅速的工業，如大規模集成電路、生物制藥等。這些生產部門產品升級換代快，生產工藝變化多。因此，在管道設計中應留有充分的余量。潔凈室是指空氣潔凈度達到規定級別的可供人活動的空間。照度潔凈室檢測認真負責

設置在同一潔凈室內的高效（亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效率應相近。江蘇電子廠房環境潔凈室檢測規范性強

1管道連接應采用焊接，熱鍍鋅鋼管應采用螺紋連接。2不銹鋼管應采用氬弧焊，以對接焊或承接焊連接；高純氣體管道宜采用內壁***痕的對接焊。8.3.2管道與設備的連接應符合設備的連接要求。當采用軟管連接時宜采用金屬軟管。8.3.3管道與管道、管道與閥門連接的密封材料應符合下列規定：1螺紋或法蘭連接處的密封材料應根據輸送物料性質、設計工況選擇，宜采用聚四氟乙烯等。2高純氣體管道與閥門連接的密封材料應按生產工藝和氣體特性的要求確定，宜采用金屬墊或雙卡套。8.3.4潔凈室(區)內的工業管道應根據管子表面溫度和環境溫度、濕度確定保溫形式和構造。冷管道保溫后的外表面溫度不應低于環境的**溫度。保溫層外表面應采用不產生塵粒、微生物的材料，并應平整、光潔，宜采用金屬外殼保護。江蘇電子廠房環境潔凈室檢測規范性強