12.4.1潔凈廠房的自動控制系統宜采用集散式網絡結構，并應具有穩定、可靠、節能、開放和可擴展性。12.4.2潔凈廠房應對凈化空調、供熱、供冷、純水和氣體供應等系統進行自動監控。12.4.3潔凈室（區）內外的壓差監測，宜采用壓差變送器通過控制系統調節潔凈室（區)的送風量或回風量。12.4.4凈化空調系統采用電加熱器時，電加熱器與風機應聯鎖控制，并應設置無風、超溫斷電保護；當采用電加濕器時，應設置無水、無風斷電保護。12.4.5在滿足生產工藝要求的前提下，宜對風機、水泵等動力設備采取變頻調速等節能控制措施。空氣過濾器安裝方式應嚴密、簡便、可靠，易于檢漏和更換。上海半導體凈化車間潔凈室檢測服務至上

5.1.3主體結構要具備同建筑處理及其室內裝備和裝修水平相適應的等級水平。若室內裝備與裝修水平高，而主體結構為臨時的，就會形成嚴重的浪費。本條規定著重于使潔凈廠房在耐久性、裝修與裝備水平、耐火能力等幾個方面相互協調，使投資長期發揮作用。此外，溫度或沉陷不但可能影響安全，而且還會破壞建筑裝修的完整性及圍護結構的氣密性，故須對主體結構采取相應措施。5.1.5對兼有一般生產和潔凈生產的綜合性廠房，在考慮其平面布局和構造處理時，應合理組織人流、物流運輸及消防疏散線路，避免一般生產對潔凈生產帶來不利的影響。當防火方面與潔凈生產要求有***時，應采取措施，在確保消防疏散的前提下，減少對潔凈生產的不利影響。北京醫療凈化車間潔凈室檢測在潔凈室設計時生產工藝對環境參數的要求應該實事求是。

4.1.1潔凈廠房位置的選擇，應根據下列要求經技術經濟比較后確定：1應布置在大氣含塵和有害氣體或化學污染物濃度較低、自然環境較好的區域；2應遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發大量粉塵和有害氣體或化學污染物的工廠、貯倉、堆場等有嚴重空氣污染、振動或噪聲干擾或強電磁場的區域。不能遠離嚴重空氣污染源時，則應位于全年**小頻率風向下風側；3在廠區內應布置在環境清潔、污染物少、人流和物流不穿越或少穿越的地段。..

15.3.2有微振動控制要求的潔凈室（區)，其建筑結構的微振動控制設計，應符合下列規定：1建筑物基礎宜置于動力性能良好的地基土上，且基礎應有足夠剛度；2應設置**的建筑結構微振動控制體系，并應與廠房主體結構分隔；3主體結構應根據微振動控制的要求，適當加大梁、柱、墻、基礎等截面尺寸。15.3.3有強烈振動的設備和管道，宜采取主動隔振措施，并應符合下列要求.1宜采用隔振臺(座）；2應選用剛度適當的隔振器，3通往潔凈室(區)的管道，宜采取隔振支(吊)架、柔性連接等隔振措施。非連續運行的潔凈室，可根據生產工藝要求設置值班送風。

9.2.5潔凈廠房的正常照明因電源故障而熄滅，不能進行必要的操作處置可能導致生產流程混亂，加工處理的貴重零部件損壞；或由于不能進行必要的操作處置而可能引起火災、和中毒等事故，本條規定應設置備用照明，以防止上述事故和情況發生。備用照明應滿足所需要的場所或部位進行各項活動和工作所需的最低照度值。一般場所備用照明的照度不應低于正常照明照度標準的1/10。消防控制室、應急發電機室、配電室及電話機房等房間的主要工作面上，備用照明的照度不宜低于正常照明的照度值。為減少燈具重復設置，節省投資，并對提高潔凈室的潔凈度有利，備用照明宜作為正常照明的一部分。潔凈室要達到潔凈等級，必須有綜合措施。浙江溫濕度潔凈室檢測第三方檢測機構

潔凈室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型，以在局部區域（單向流部分）實現高級別的潔凈室。上海半導體凈化車間潔凈室檢測服務至上

6.1.5設有上技術夾層、下技術夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構造，應滿足產品生產工藝、自動化運輸和公用動力設施安裝和維修的要求。6.1.6設有技術夾層、技術夾道的潔凈廠房，技術夾層、技術夾道的建筑設計應滿足各種風管和各種動力管線安裝和維修的要求。穿越樓層的豎向管線需暗敷時，宜設置技術豎井。技術豎井的形式、尺寸和構造應滿足風管、管線的安裝、檢修和防火要求。6.1.7對兼有一般生產區和潔凈室（區)的綜合性廠房，廠房的平面布局和構造處理，宜避免人流、物流運輸及防火方面對潔凈生產環境帶來不利影響。上海半導體凈化車間潔凈室檢測服務至上