5.5.2當設備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))時，宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室（區(qū))內(nèi)的設備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當所選設備超過潔凈室噪聲容許值時，應采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區(qū))應設置對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工器具進行凈化處理的設施。5.5.5潔凈室（區(qū)）內(nèi)，電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中各種零、部件存放和傳送，宜采用容器。用于存放和傳送的**容器，應符合下列規(guī)定：1制作材料應光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發(fā)污染物、防靜電，并在空氣中不應被氧化；2應密封性能好；3當存放物有嚴格的潔凈度要求時，宜充填高純度或干燥氮氣；4構(gòu)造、外形應滿足生產(chǎn)工藝要求，并應方便操作和運送。管道系統(tǒng)應設必需的吹除口、放凈口和取樣口。半導體凈化車間潔凈室檢測周期

7.4.5干表冷器的設置應符合下列要求：1安裝位置、外形尺寸應根據(jù)潔凈廠房的平面和空間布置確定；2迎面風速、結(jié)構(gòu)形式應根據(jù)潔凈室（區(qū))冷負荷、風機過濾器機組所提供的機外余壓確定；3冷凍水進水溫度，宜高于潔凈室（區(qū))內(nèi)空氣的**溫度；4應設置排水設施。7.4.6凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣處理機組的選用和布置，應符合下列要求：1應有良好的氣密性，漏風率不得大于1%；2整體結(jié)構(gòu)應有足夠的強度和剛度，內(nèi)表面應平整、光滑，外表面不應結(jié)露；3布置應整齊，并應便于運行和維修；當多套空氣處理機組為同一潔凈室（區(qū))服務時，宜選用相同規(guī)格的空氣處理機組；送風機宜采取變頻調(diào)速措施。送風機可按凈化空調(diào)系統(tǒng)的總風量和總阻力值進行選擇。計算系統(tǒng)總阻力時，中效(高中效）、高效(亞高效、超高效）空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的1.5～2.0倍取值；5應設置排水裝置。北京風速潔凈室檢測分析單向流潔凈室靠送風氣流“活塞”般的擠壓作用，迅速把室內(nèi)污染排出。

1凈鞋的目的在于保護人員凈化用室入口處不致受到嚴重污染。國內(nèi)多數(shù)潔凈廠房人員入口處設有擦鞋、水洗凈鞋、粘鞋墊、換鞋、套鞋等凈鞋措施。為了保護人員凈化用室的清潔，**徹底的辦法是在更衣前將外出鞋脫去，換上清潔鞋或鞋**有潔凈廠房工作人員都執(zhí)行更衣前換鞋的制度，其中不少潔凈廠房對換鞋方式作了周密考慮，換鞋設施的布置考慮了外出鞋與清潔鞋接觸的地面要有明確的區(qū)分，避免了清潔鞋被外出鞋污染，如跨越鞋柜式換鞋，清潔平臺上換鞋等都有很好的效果。

D.3.10自凈時間檢測，應符合下列規(guī)定：1自凈時間的檢測，宜用于非單向流潔凈室。2自凈時間的檢測，宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準，并宜以粒子計數(shù)器進行檢測，同時應符合下列要求.1）以大氣塵為基準時，則必須將潔凈室停止運行相當時間，在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時，測出潔凈室內(nèi)靠近回風口處的含塵濃度(N。)。然后開機，定時讀數(shù)(一般可設置每間隔6s讀數(shù)一次)，直到回風口處的含塵濃度回復到原來的穩(wěn)定狀態(tài)，記錄下所需的時間（t）。2)以人工塵源為基準時，應將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心，發(fā)煙1～2min后停止，等待1min，測出潔凈室內(nèi)靠近回風口處的含塵濃度（N。）。然后開機，方法同上。3由初始濃度(No)、室內(nèi)達到穩(wěn)定的濃度（N）、實際換氣次數(shù)(n)，可得到計算自凈時間(to），與實測自凈時間(t)進行對比，如果t≤12to,為合格。4自凈時間檢測方法除上述方法外，還有微粒濃度變化率評估法等。自凈時間檢測方法應洽商確定。中效或高中效空氣過濾器宜集中設置在空調(diào)箱的正壓段。

6.3.4潔凈廠房技術(shù)夾層的墻壁和頂棚應滿足使用功能要求，且表面應平整、光滑。位于地下的技術(shù)層或技術(shù)夾層應采取防水或防潮、防霉措施。6.3.5當潔凈廠房設置外窗時，應采用雙層固定窗，并應有良好的氣密性，同時應采取防結(jié)露措施。6.3.6潔凈室（區(qū)）門窗、墻壁、頂棚、地面、樓面的設計應符合下列要求：1應滿足使用功能的要求，構(gòu)造和施工縫隙應采取密閉措施；2頂棚以上的技術(shù)層或技術(shù)夾層宜設檢修通道，3潔凈室(區(qū))不宜設窗臺；4當?shù)孛娌捎没顒拥匕鍟r，活動地板材質(zhì)和支撐方式應根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇。6.3.7用于電子產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈室(區(qū)）的墻板和頂棚，宜采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造。充分利用回風量；選擇低阻力高效率的空調(diào)和凈化設備和可變風量的風機等入手。半導體凈化車間潔凈室檢測周期

潔凈室（區(qū))與周圍的空間必須維持一定的壓差，并應按工藝要求決定維持正壓差或負壓差。半導體凈化車間潔凈室檢測周期

8.2.1潔凈廠房內(nèi)的給水系統(tǒng)應根據(jù)各種用途(包括工藝冷卻水)對水質(zhì)、水溫、水壓、水量的要求確定，宜按生產(chǎn)、生活、消防分別設置的給水系統(tǒng)。8.2.2當設有危險化學品儲存和分配室時，應根據(jù)化學品的物理化學性能和人身安全的要求，設置緊急淋浴器和洗眼器，其給水管道應環(huán)形敷設布置。8.2.3給水管道的管材及附件的選擇，應符合下列要求：1給水系統(tǒng)的管材和附件的選用，應滿足生產(chǎn)工藝和系統(tǒng)工作參數(shù)的要求；2埋地管道應耐腐蝕，并應具有承受相應地面荷載的能力；3生產(chǎn)設備循環(huán)冷卻水給水和回水管道，應按生產(chǎn)工藝和水質(zhì)要求，采用不銹鋼管、鋼塑管、塑料管等，不宜采用焊接鋼管；4閥門及附件應采用與管材相同的材質(zhì)。半導體凈化車間潔凈室檢測周期