C.1.1檢測目的檢測的目的是確認(rèn)過濾系統(tǒng)安裝正確，使用過程中無滲漏發(fā)生，不要將已裝過濾器系統(tǒng)的檢漏與過濾器出廠時的效率檢測混為一談，過濾器出廠前應(yīng)經(jīng)過檢漏雨測試。此項(xiàng)檢測用于驗(yàn)證過濾系統(tǒng)不存在影響設(shè)施潔凈狀況的滲漏；確認(rèn)過濾系統(tǒng)下風(fēng)向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設(shè)計(jì)潔凈度。C.1.2檢測過程檢測中，在過濾器的上風(fēng)向注入氣溶膠，在下風(fēng)向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描，或在風(fēng)管中的過濾器下風(fēng)向采樣。檢漏包括濾材、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內(nèi)的整個過濾系統(tǒng)。已裝過濾系統(tǒng)的檢漏只在“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進(jìn)行，且該項(xiàng)檢測是在新建潔凈室調(diào)試時，或現(xiàn)有設(shè)施需要再檢測時，或更換了末端過濾器之后進(jìn)行。潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、高新技術(shù)密切聯(lián)系在一起。江蘇半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測評估

7.3.1潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)可分為集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)和分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。凈化空調(diào)系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)確定。潔凈室（區(qū)）面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。7.3.2潔凈廠房的潔凈室(區(qū)）送風(fēng)方式可分為集中送風(fēng)、隧道送風(fēng)、風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組送風(fēng)等。應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū)）使用功能和降低能量消耗的要求，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較，采用運(yùn)行經(jīng)濟(jì)、節(jié)約能源的送風(fēng)方式。7.3.3凈化空調(diào)系統(tǒng)新風(fēng)的室外吸入口位置，應(yīng)遠(yuǎn)離本建筑或其他建筑物排放有害物質(zhì)或可燃物的排氣口。7.3.4多套凈化空調(diào)系統(tǒng)同時運(yùn)行或較大型電子工業(yè)潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)，應(yīng)集中處理。江蘇半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測評估應(yīng)按輸送介質(zhì)的物化性質(zhì)，合理確定管內(nèi)物料流速和管徑。

6.3.1潔凈廠房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50222的有關(guān)規(guī)定。裝修材料的煙密度等級不應(yīng)大于50，材料的煙密度等級應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗(yàn)方法》GB/T8627的有關(guān)規(guī)定。6.3.2潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)滿足使用功能的要求，且表面應(yīng)平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于清潔，并應(yīng)減少凹凸面，2當(dāng)采用踢腳時，踢腳不宜突出墻面。

1近年來，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設(shè)計(jì)中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風(fēng)靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng)，實(shí)際上，潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的；而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動地板等以下是作為回風(fēng)靜壓箱的下技術(shù)夾層，在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動力設(shè)備、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動力管線等，潔凈生產(chǎn)層的回風(fēng)通過活動地板、多孔板回至下技術(shù)夾層，實(shí)際上，下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的，所以可以認(rèn)為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術(shù)夾層，潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。對較大型的潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)宜集中進(jìn)行空氣凈化處理。

（1）潔凈廠房是現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)發(fā)展的產(chǎn)物。隨著科學(xué)技術(shù)的日新月異，新技術(shù)、新工藝、新產(chǎn)品不斷出現(xiàn)，產(chǎn)品精密度的日益提高，對無塵提出了越來越高的要求。目前，潔凈廠房已廣泛應(yīng)用于電子、生物制藥、宇航、精密儀器制造等重要部門。(2）潔凈廠房的空氣潔凈度對有凈化要求的產(chǎn)品質(zhì)量有很大影響。因此，必須保持凈化空調(diào)系統(tǒng)的正常運(yùn)行。據(jù)了解，在規(guī)定的空氣潔凈度下生產(chǎn)的產(chǎn)品合格率可提高約10%~30%。一旦停電，室內(nèi)空氣會很快污染，影響產(chǎn)品質(zhì)量。（3）潔凈廠房是個相對的密閉體，由于停電造成送風(fēng)中斷，室內(nèi)的新鮮空氣得不到補(bǔ)充，有害氣體不能排出，對工作人員的健康是不利的。空氣過濾器安裝方式應(yīng)嚴(yán)密、簡便、可靠，易于檢漏和更換。北京潔凈室檢測報(bào)告

在生產(chǎn)工藝平面區(qū)劃時盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起。江蘇半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測評估

隨著生產(chǎn)工藝對純水水質(zhì)的不斷提高，甚至到了理論純水的程度，尤其是集成電路的發(fā)展不但對水中電解質(zhì)的含量要求極其嚴(yán)格，而且對細(xì)菌、微粒、有機(jī)物及溶解氧等都有極其嚴(yán)格的要求；醫(yī)藥工業(yè)中要求供應(yīng)的注射用水，對水中含菌量、熱源均有嚴(yán)格要求。除了嚴(yán)格的純水制造過程外，純水輸送管道的管材選擇和管網(wǎng)設(shè)計(jì)是保證使用點(diǎn)水質(zhì)的關(guān)鍵。實(shí)踐證明，采用循環(huán)供水方式是行之有效的。主要是基于保證輸水管道內(nèi)的流速和盡量減少不循環(huán)段的死水區(qū)，以減少純水在管道內(nèi)的停留時間，減少管道材料微量溶出物(即使目前質(zhì)量比較好的管道也會有微量物質(zhì)溶出)對超純水水質(zhì)的影響，同時，基于流水不腐的道理，高的流速也可以防止細(xì)菌微生物的滋生。江蘇半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測評估