無(wú)塵車間工程是指按照客戶的要求,提供對(duì)微粒、有害空氣、細(xì)菌等污染物的有效控制,溫度、濕度、噪聲、照度、潔凈度、室內(nèi)壓差、氣流速度與氣流分布、振動(dòng)、靜電等各項(xiàng)指標(biāo)均滿足安全生產(chǎn)需求的潔凈受控空間。無(wú)塵車間的主要作用在于為產(chǎn)品生產(chǎn)(如硅芯片等)和服務(wù)提供所需環(huán)境的潔凈程度,以及溫濕度、微震動(dòng)、噪聲、照度等各項(xiàng)指標(biāo),使相關(guān)產(chǎn)品和服務(wù)能夠在一個(gè)滿足要求的、受控的、良好的環(huán)境空間中進(jìn)行生產(chǎn)和操作,從而達(dá)到提高產(chǎn)品生產(chǎn)的良品率,改善和提升相關(guān)服務(wù)質(zhì)量的目標(biāo)。設(shè)施已經(jīng)建成,生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝,并按業(yè)主及供應(yīng)商同意的狀態(tài)運(yùn)行,但無(wú)生產(chǎn)人員。浙江生物安全柜無(wú)塵室檢測(cè)服務(wù)
16.4.22臭氧濃度的檢驗(yàn)應(yīng)符合下列規(guī)定:在風(fēng)系統(tǒng)內(nèi)或室內(nèi)安有可產(chǎn)生臭氧的裝置時(shí),除裝置本身產(chǎn)生的臭氧應(yīng)符合現(xiàn)行的相關(guān)產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定外,還應(yīng)在系統(tǒng)和該裝置正常運(yùn)轉(zhuǎn)條件下,檢測(cè)室內(nèi)臭氧濃度。應(yīng)按附錄E檢驗(yàn),結(jié)果應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求。當(dāng)設(shè)計(jì)無(wú)明確要求時(shí),應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《室內(nèi)空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》GB/T18883不大于0.16mg/m3的規(guī)定。16.4.23二氧化碳濃度的檢測(cè)應(yīng)符合下列規(guī)定:當(dāng)對(duì)新風(fēng)效果作細(xì)致確認(rèn)時(shí),可在風(fēng)系統(tǒng)正常運(yùn)行、室內(nèi)處于動(dòng)態(tài)條件下,于每一班次結(jié)束之前檢測(cè)室內(nèi)二氧化碳濃度,按附錄E檢驗(yàn),結(jié)果應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求。當(dāng)設(shè)計(jì)無(wú)明確要求時(shí),應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《空內(nèi)空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》GB/T18883不大于0.10%的規(guī)定。16.4.24當(dāng)需要測(cè)定分子態(tài)污染物濃度時(shí),可按附錄H的方法或按建設(shè)方與檢驗(yàn)方商定的方法檢測(cè),結(jié)果應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求或雙方商定的標(biāo)準(zhǔn)。上海無(wú)塵室檢測(cè)方法設(shè)施以規(guī)定的狀態(tài)運(yùn)行,有規(guī)定的人員在場(chǎng),并在商定的狀況下進(jìn)行工作。
E.1.1風(fēng)量風(fēng)速檢測(cè)必須首先進(jìn)行,凈化空調(diào)各項(xiàng)效果必須是在設(shè)計(jì)的風(fēng)量風(fēng)速條件下獲得。E.1.2風(fēng)量檢測(cè)前必須檢查風(fēng)機(jī)運(yùn)行是否正常,系統(tǒng)中各部件安裝是否正確,有無(wú)障礙,所有閥門(mén)應(yīng)固定在一定的開(kāi)啟位置上,且必須實(shí)際測(cè)量被測(cè)風(fēng)口、風(fēng)管尺寸。E.1.3測(cè)定室內(nèi)微風(fēng)速儀器的小刻度或讀數(shù)不應(yīng)大于0.02m/s,一般可用熱球式風(fēng)速儀,需要測(cè)出分速度時(shí),應(yīng)采用超聲波三維風(fēng)速計(jì)。E.1.4對(duì)于單向流潔凈室,可采用室截面平均風(fēng)速和截面積乘積的方法確定送風(fēng)量,垂直單向流潔凈室的測(cè)定截面取距地面0.8m的無(wú)阻隔面(孔板、格柵除外)的水平截面,如有阻隔面,該測(cè)定截面應(yīng)抬高至阻隔面之上 0.25m;水平單向流潔凈室取距送風(fēng)面 0.5m 的垂直于地面的截面,截面上測(cè)點(diǎn)間距不應(yīng)大于1m,一般取 0.3m。測(cè)點(diǎn)數(shù)應(yīng)不少于 20 個(gè),均勻布置。E.1.5對(duì)于非單向流潔凈室,內(nèi)安裝過(guò)濾器的風(fēng)口可采用套管法、風(fēng)量罩法或風(fēng)管法測(cè)定風(fēng)量,為測(cè)定回風(fēng)口或新風(fēng)口風(fēng)量,也可用風(fēng)口法。
E.2.1靜壓差的測(cè)定應(yīng)在所有房間的門(mén)關(guān)閉時(shí)進(jìn)行,有排風(fēng)時(shí),應(yīng)在比較大排風(fēng)量條件下進(jìn)行,并宜從平面上極里面的房間依次向外測(cè)定相鄰相通房間的壓差,直至測(cè)出潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、室外環(huán)境(或向室外開(kāi)口的房間)之間的壓差。E.2.2對(duì)于潔凈度5級(jí)或優(yōu)于5級(jí)的單向流潔凈室,還應(yīng)測(cè)定在門(mén)開(kāi)啟狀態(tài)下,離門(mén)口0.6m處的室內(nèi)側(cè)工作面高度的粒子數(shù)。E.2.3有不可關(guān)閉的開(kāi)口與鄰室相通的潔凈室,還應(yīng)測(cè)定開(kāi)口處的流速和流向。E.2.1靜壓差的測(cè)定應(yīng)在所有房間的門(mén)關(guān)閉時(shí)進(jìn)行,有排風(fēng)時(shí),應(yīng)在比較大排風(fēng)量條件下進(jìn)行,并宜從平面上極里面的房間依次向外測(cè)定相鄰相通房間的壓差,直至測(cè)出潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、室外環(huán)境(或向室外開(kāi)口的房間)之間的壓差。E.2.2對(duì)于潔凈度5級(jí)或優(yōu)于5級(jí)的單向流潔凈室,還應(yīng)測(cè)定在門(mén)開(kāi)啟狀態(tài)下,離門(mén)口0.6m處的室內(nèi)側(cè)工作面高度的粒子數(shù)。E.2.3有不可關(guān)閉的開(kāi)口與鄰室相通的潔凈室,還應(yīng)測(cè)定開(kāi)口處的流速和流向。指潔凈室(區(qū))在生產(chǎn)操作全部結(jié)束,生產(chǎn)操作人員撤離現(xiàn)場(chǎng)并經(jīng)過(guò)20 min自凈后。
10.1.1潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣,其氣體品質(zhì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求。10.1.2常用氣體的供氣方式和供氣系統(tǒng),應(yīng)根據(jù)氣體用量、氣體品質(zhì)和當(dāng)?shù)氐墓鉅顩r等因素,經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定。10.1.3潔凈廠房常用氣體、特種氣體的制備、儲(chǔ)存、分配系統(tǒng),除應(yīng)符合本規(guī)范外,還應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016、《氫氣站設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50177和《氧氣站設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50030等的有關(guān)規(guī)定。10.1.4潔凈廠房?jī)?nèi)的氣體管道的干管,應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。當(dāng)與水、電管線共架時(shí),比空氣重的氣體管道宜設(shè)在水、電管線下部,比空氣輕的氣體管道宜設(shè)在水、電管線上部。潔凈室(區(qū))已處于正常生產(chǎn)狀態(tài),設(shè)備在指定的方式下進(jìn)行,并且有人員按照規(guī)范操作。浙江生物安全柜無(wú)塵室檢測(cè)誠(chéng)信推薦
由給定的粒子尺寸測(cè)定儀響應(yīng)當(dāng)量于被測(cè)粒子等效的球體直徑。浙江生物安全柜無(wú)塵室檢測(cè)服務(wù)
應(yīng)檢查產(chǎn)品合格證、出廠檢驗(yàn)報(bào)告,其中應(yīng)有效率、阻力和掃描檢漏的實(shí)測(cè)數(shù)據(jù),不得以過(guò)濾器所屬類別定義數(shù)據(jù)代替。2應(yīng)進(jìn)行外觀檢查,內(nèi)容應(yīng)包括有無(wú)損壞;各種尺寸是否符合設(shè)計(jì)要求;框架有無(wú)毛刺和銹斑(金屬框);帶風(fēng)機(jī)的風(fēng)機(jī)安裝是否可靠,轉(zhuǎn)動(dòng)是否正常;帶裝飾網(wǎng)或阻漏層的,裝飾網(wǎng)或阻漏層是否完好、繃緊。應(yīng)檢查產(chǎn)品合格證、出廠檢驗(yàn)報(bào)告,其中應(yīng)有效率、阻力和掃描檢漏的實(shí)測(cè)數(shù)據(jù),不得以過(guò)濾器所屬類別定義數(shù)據(jù)代替。2應(yīng)進(jìn)行外觀檢查,內(nèi)容應(yīng)包括有無(wú)損壞;各種尺寸是否符合設(shè)計(jì)要求;框架有無(wú)毛刺和銹斑(金屬框);帶風(fēng)機(jī)的風(fēng)機(jī)安裝是否可靠,轉(zhuǎn)動(dòng)是否正常;帶裝飾網(wǎng)或阻漏層的,裝飾網(wǎng)或阻漏層是否完好、繃緊。浙江生物安全柜無(wú)塵室檢測(cè)服務(wù)
浙江過(guò)濾器無(wú)塵室檢測(cè)方法
上海實(shí)驗(yàn)室環(huán)境無(wú)塵室檢測(cè)誠(chéng)信推薦
江蘇生物安全柜無(wú)塵室檢測(cè)技術(shù)好
潔凈傳遞窗無(wú)塵室檢測(cè)范圍
實(shí)驗(yàn)室無(wú)塵室檢測(cè)
上海潔凈室無(wú)塵室檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)
安徽過(guò)濾器無(wú)塵室檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)
江蘇風(fēng)速無(wú)塵室檢測(cè)價(jià)格
江蘇實(shí)驗(yàn)室無(wú)塵室檢測(cè)評(píng)估
壓差無(wú)塵室檢測(cè)服務(wù)商