1凈鞋的目的在于保護人員凈化用室入口處不致受到嚴重污染。國內多數潔凈廠房人員入口處設有擦鞋、水洗凈鞋、粘鞋墊、換鞋、套鞋等凈鞋措施。為了保護人員凈化用室的清潔，**徹底的辦法是在更衣前將外出鞋脫去，換上清潔鞋或鞋**有潔凈廠房工作人員都執行更衣前換鞋的制度，其中不少潔凈廠房對換鞋方式作了周密考慮，換鞋設施的布置考慮了外出鞋與清潔鞋接觸的地面要有明確的區分，避免了清潔鞋被外出鞋污染，如跨越鞋柜式換鞋，清潔平臺上換鞋等都有很好的效果。潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風量。江蘇潔凈室檢測頻率

1近年來，在大規模集成電路生產(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產用潔凈廠房的建造、設計中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產層吊頂格柵以上的上技術夾層常常作為送風靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產層送風，實際上，潔凈生產層與上技術夾層是相通的；而潔凈生產層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動地板等以下是作為回風靜壓箱的下技術夾層，在下技術夾層常常還設置一些公用動力設備、輔助生產設備和公用動力管線等，潔凈生產層的回風通過活動地板、多孔板回至下技術夾層，實際上，下技術夾層與潔凈生產層是相通的，所以可以認為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術夾層，潔凈生產層和吊頂以上的上技術夾層。江蘇口罩生產車間環境潔凈室檢測頻率應按輸送介質的物化性質，合理確定管內物料流速和管徑。

4.1.2潔凈廠房內當布置有精密設備和精密儀器儀表，若它們有防微振要求時，為解決防微振問題，在廠址選擇或已建工廠內的潔凈廠房場地選擇過程中，需要對周圍振源的振動影響作出評價，以確定該廠址或場地是否適宜建設。周圍振源對精密設備、精密儀器儀表的振動影響，是若干單個振源振動的疊加結果。這種疊加，目前還沒有系統的參考數據及實用的計算方法。因此，應立足于實測。過去有的工廠，由于建廠前沒有對周圍各類振源的振動影響進行實測，建成后發現對精密設備、精密儀器儀表影響很大，有的甚至難以工作，給生產、試驗帶來很大困難，這說明實測振源振動影響是非常必要的。

9.5.4潔凈室內可能產生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施，其中有和火災危險場所的設備、管道應符合現行國家標準《和火災危險環境電力裝置設計規范》GB50058的有關規定。9.5.5防靜電接地系統應分別按不同要求設置接地連接端子。在一個房間內應設置等電位的接地網格或閉合的接地銅排環。在防靜電接地系統各個連接部位之間電阻值應小于0.1Ω2。9.5.6潔凈廠房內不同功能的接地系統的設計均應遵循等電位聯結的原則，其中直流接地系統不能與交流接地系統混接。直流工作接地的接地干線應單獨絕緣敷設，并應使用絕緣屏蔽電纜。9.5.7接地系統采用綜合接地方式時接地電阻值應小于或等于1Ω；選擇分散接地方式時，各種功能接地系統的接地體必須遠離防雷接地系統的接地體，兩者應保持20m以上的間距。潔凈廠房的防雷接地系統設計應符合現行國家標準《建筑物防雷設計規范》GB 50057的有關規定。送風、回風和排風系統的啟閉宜聯鎖。

1管道連接應采用焊接，熱鍍鋅鋼管應采用螺紋連接。2不銹鋼管應采用氬弧焊，以對接焊或承接焊連接；高純氣體管道宜采用內壁***痕的對接焊。8.3.2管道與設備的連接應符合設備的連接要求。當采用軟管連接時宜采用金屬軟管。8.3.3管道與管道、管道與閥門連接的密封材料應符合下列規定：1螺紋或法蘭連接處的密封材料應根據輸送物料性質、設計工況選擇，宜采用聚四氟乙烯等。2高純氣體管道與閥門連接的密封材料應按生產工藝和氣體特性的要求確定，宜采用金屬墊或雙卡套。8.3.4潔凈室(區)內的工業管道應根據管子表面溫度和環境溫度、濕度確定保溫形式和構造。冷管道保溫后的外表面溫度不應低于環境的**溫度。保溫層外表面應采用不產生塵粒、微生物的材料，并應平整、光潔，宜采用金屬外殼保護。潔凈室(區)內工業管道不應穿越無關的房間。北京生物安全柜潔凈室檢測值得推薦

斷截面上風速一致，有垂直單向潔凈室，準垂直單向流，水平單向流潔凈室等。江蘇潔凈室檢測頻率

D.3.7噪聲檢測，應符合下列規定：1潔凈室（區）內的噪聲檢測應采用帶倍頻程分析的聲級計。2潔凈室(區)內的噪聲檢測點應根據電子產品生產工藝要求確定。噪聲檢測點宜距地面1.1～1.5m,距墻應大于3m；檢測點的布置宜按潔凈室(區)面積均分，宜每100m2設一檢測點。D.3.8照度測試，應符合下列規定：1潔凈室(區）內照度檢測宜采用便攜式自動記錄照度計。2照度檢測應在室內溫度穩定、光源光輸出穩定后進行。潔凈室（區)照度檢測不應包括生產設備等的局部照明和備用照明。3照度檢測點應設在工作高度，宜距地面0.85m，應每25m2設一個測點。江蘇潔凈室檢測頻率