12.2.1排煙管道的安裝試驗應符合本規范第5章的有關規定。12.2.2排煙管道的隔熱層應采用厚度不小于40mm的不燃絕熱材料。12.2.3磚、混凝土風道的制作應保證管道的氣密性，灰縫應飽滿，內表面水泥砂漿面層應平整。12.2.4送風口、排煙口的固定應可靠，表面應平整、無變形、調節靈活。排煙口距可燃物或可燃構件的距離不應小于1.5m。排煙口安裝時不應影響防倒灌設施正常發揮作用。排煙口應安裝板式排煙口，不應漏風。12.2.5排煙風機的安裝應符合下列規定：1當**排煙風機設在混凝土或鋼架基礎上時可不設減振裝置；若需設置減振裝置，則不應使用橡膠減振裝置。2排煙風機宜安裝在該系統比較高排煙口之上，并宜安在機房內，機房與相鄰部位隔墻應符合防火要求。設施已經建成，生產設備已經安裝，并按業主及供應商同意的狀態運行，但無生產人員。北京排風柜無塵室檢測第三方檢測機構

無塵室凈化車間管理規范1、進入潔凈室的管理，包括對潔凈室工作人員進入，物料進入，各類設備的搬入以及相關的設備，管線的維護管理，應做到不得將微粒，微生物帶人潔凈室2、操作管理技術，對潔凈室內人員用潔凈工作的制作，穿著和其清洗，操作人員的移動和動作，室內設備及裝修材料的選擇和清掃，滅菌等，盡可能減少，防止潔凈室內塵粒，微生物的產生，滯留，繁殖等3、嚴格各類設備，設施的維護管理，制定相應的操作規程，保證各類設備，設施按要求正常運轉，包括凈化系統，各類水，氣，電系統。安徽半導體凈化車間無塵室檢測流程高濕度實際上減小了潔凈室表面的靜電荷積累──這是人們希望的結果。

10.1.1潔凈廠房內應根據生產的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣，其氣體品質應滿足生產工藝要求。10.1.2常用氣體的供氣方式和供氣系統，應根據氣體用量、氣體品質和當地的供氣狀況等因素，經技術經濟比較后確定。10.1.3潔凈廠房常用氣體、特種氣體的制備、儲存、分配系統，除應符合本規范外，還應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB50016、《氫氣站設計規范》GB50177和《氧氣站設計規范》GB50030等的有關規定。10.1.4潔凈廠房內的氣體管道的干管，應敷設在技術夾層或技術夾道內。當與水、電管線共架時，比空氣重的氣體管道宜設在水、電管線下部，比空氣輕的氣體管道宜設在水、電管線上部。

11.3.6安裝空調設備四周的設備層地面應作防水處理，并應平整、無麻面、不起塵。該處地面應設擋水線，不應設排水溝。擋水線范圍之內設地漏，地漏水封高度應符合設備技術文件要求。當無明確要求時，不應小于70mm。冷凝水出水管應有閥門，無冷凝水排出季節閥門應關閉，并應有提示標志。11.3.7當空調設備內表冷器設在負壓段時，地面應設不小于冷凝水出水水封段高度的水泥底座，底座高度不宜低于200mm。11.3.8空調設備內加濕器的安裝應設**支吊架，不得在空調機組壁板上開設固定支架用的安裝孔。加濕器噴管與機組壁板間應做好絕熱、密封處理。無塵室通常用于制藥、電子、半導體等行業。

12.1.1潔凈廠房的用電負荷等級和供電要求，應根據電子產品生產工藝及設備要求和現行國家標準《供配電系統設計規范》GB50052的有關規定確定。12.1.2潔凈廠房低壓配電電壓等級應符合生產工藝設備用電要求。帶電導體系統的型式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統接地型式宜采用TN-S或TN-C-S系統。12.1.3電子產品生產用主要工藝設備，應由變壓器或低壓饋電線路供電。對電源連續性有特殊要求的生產設備、動力設備，宜設置不間斷電源或備用發電裝置等。在潔凈室(區)內宜設置的檢修電源。12.1.4潔凈廠房的凈化空調系統（含制冷機），應由變電所專線供電。塵室通常采用高效的HEPA（高效顆粒空氣）過濾器或ULPA（超高效顆粒空氣）過濾器，可有效過濾微小的灰塵。上海微生物無塵室檢測范圍

空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。北京排風柜無塵室檢測第三方檢測機構

11.5.1工藝設備的安裝不應影響潔凈室參數和服務功能。11.5.2工藝設備安裝時，現場的凈化空調系統應已連續運行24h以上；現場除正常照明外，應配備三相380V、單相220V和低壓行燈電源。11.5.3任何用于大設備的提升、牽引或定位的**設備在進人潔凈室安裝現場前，應徹底清潔，并應檢查有無脫屑、剝落的表面或不宜進入潔凈環境的材料。11.5.4設備安裝時應妥善保護墻壁與地面，設備的軟膠輪應予包裹，避免在地面拖磨。開洞作業不應劃傷或污染所在表面。設備安裝位置穿越不同潔凈級別區域時，穿越處縫隙應用柔性材料填充、密封，并應裝飾處理。北京排風柜無塵室檢測第三方檢測機構