9.1.1電子產品生產用純水系統的選擇，應根據原水水質和產品生產工藝對水質的要求，并結合系統規模、材料及設備供應等情況，經技術經濟比較確定。9.1.2純水的輸送干管應敷設在技術夾層或技術夾道內；潔凈室（區)內的純水支管宜暗裝。9.1.3穿越潔凈室（區）墻壁、樓板、頂棚的純水管道應設套管，套管與管道之間應采取密封措施。9.1.4潔凈室(區)內純水管道的保溫材料，不得產生污染物，外表面應平整、光滑、易于清潔。。。。。。。。。以前常稱為亂流型潔凈室，室內的氣流并不都按單一方向流動。江蘇過濾器潔凈室檢測第三方檢測機構

15.3.2有微振動控制要求的潔凈室（區)，其建筑結構的微振動控制設計，應符合下列規定：1建筑物基礎宜置于動力性能良好的地基土上，且基礎應有足夠剛度；2應設置**的建筑結構微振動控制體系，并應與廠房主體結構分隔；3主體結構應根據微振動控制的要求，適當加大梁、柱、墻、基礎等截面尺寸。15.3.3有強烈振動的設備和管道，宜采取主動隔振措施，并應符合下列要求.1宜采用隔振臺(座）；2應選用剛度適當的隔振器，3通往潔凈室(區)的管道，宜采取隔振支(吊)架、柔性連接等隔振措施。上海生物安全柜潔凈室檢測頻率潔凈室（區)與周圍的空間必須維持一定的壓差，并應按工藝要求決定維持正壓差或負壓差。

5.3.5潔凈廠房空氣吹淋室的設計，應符合下列要求：1在潔凈室(區)的入口處宜設空氣吹淋室。當不設空氣吹淋室時，應設氣閘室；2吹淋室應設在更換潔凈工作服后的相鄰部位；3單人空氣吹淋室，應按比較大班人數每30人設一臺。潔凈室(區)工作人員超過5人時，空氣吹淋室一側應設單向旁通門；4空氣吹淋室的進、出門不得同時開啟，應采取連鎖控制措施；5空氣潔凈度等級為5級或嚴于5級的垂直單向流潔凈室（區)，宜設氣閘室。5.3.6人員凈化用室和生活用室的空氣潔凈度等級，宜由外至內逐步潔凈，室內可送入經過高效空氣過濾的潔凈空氣。潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜低于相鄰潔凈室(區）的空氣潔凈度等級；當設有潔凈工作服洗滌室時，洗滌室的空氣潔凈度等級宜為8級。

6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應根據電子產品發展以及生產工藝改造和擴大生產規模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結構宜采用大空間及大跨度柱網，不應采用內墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設計應簡潔、明快，并應適應潔凈室(區)的布置要求。潔凈廠房圍護結構的材料選型應滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產塵、易清潔等要求。6.1.4潔凈廠房主體結構的耐久性應與電子產品生產線設備、生產環境控制設施協調，并應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區。6.1.5設有上技術夾層、下技術夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構造，應滿足產品生產工藝、自動化運輸和公用動力設施安裝和維修的要求。單向流潔凈室氣流的特征是流線平行，以單一方向流動。

1管道連接應采用焊接，熱鍍鋅鋼管應采用螺紋連接。2不銹鋼管應采用氬弧焊，以對接焊或承接焊連接；高純氣體管道宜采用內壁***痕的對接焊。8.3.2管道與設備的連接應符合設備的連接要求。當采用軟管連接時宜采用金屬軟管。8.3.3管道與管道、管道與閥門連接的密封材料應符合下列規定：1螺紋或法蘭連接處的密封材料應根據輸送物料性質、設計工況選擇，宜采用聚四氟乙烯等。2高純氣體管道與閥門連接的密封材料應按生產工藝和氣體特性的要求確定，宜采用金屬墊或雙卡套。8.3.4潔凈室(區)內的工業管道應根據管子表面溫度和環境溫度、濕度確定保溫形式和構造。冷管道保溫后的外表面溫度不應低于環境的**溫度。保溫層外表面應采用不產生塵粒、微生物的材料，并應平整、光潔，宜采用金屬外殼保護。為了達到規定的潔凈度級別，有效地控制微粒的污染。上海生物安全柜潔凈室檢測頻率

當產品要求潔凈度為100級時，選用層流流型；當產品要求潔凈度為1000~100000級時，選用亂流流型。江蘇過濾器潔凈室檢測第三方檢測機構

1近年來，在大規模集成電路生產(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產用潔凈廠房的建造、設計中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產層吊頂格柵以上的上技術夾層常常作為送風靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產層送風，實際上，潔凈生產層與上技術夾層是相通的；而潔凈生產層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動地板等以下是作為回風靜壓箱的下技術夾層，在下技術夾層常常還設置一些公用動力設備、輔助生產設備和公用動力管線等，潔凈生產層的回風通過活動地板、多孔板回至下技術夾層，實際上，下技術夾層與潔凈生產層是相通的，所以可以認為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術夾層，潔凈生產層和吊頂以上的上技術夾層。江蘇過濾器潔凈室檢測第三方檢測機構