4.2.1潔凈室可根據電子產品生產工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環境等,也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。4.2.2電子工業潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間,應包括活動地板以下的下技術夾層、潔凈生產層和吊頂以上的上技術夾層。4.2.3潔凈室型式的選擇應綜合生產工藝要求、節約能源、減少投資和降低運行費用等因素確定,各種空氣潔凈度等級的電子工業潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度凈度要求嚴格時,宜采用微環境等型式。工業管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應有焊縫。安徽消毒液凈化車間環境潔凈室檢測服務商
15.1.1潔凈廠房的微振控制設施的設計應分階段進行,應包括設計、施工和投產等各階段的微振動測試、廠房建筑結構微振控制設計、動力設備隔振設計和精密儀器設備隔振設計等。15.1.2設計有微振控制要求的潔凈廠房時,應符合下列規定:1總平面布置時,應核實相鄰廠房、建筑物或構筑物對精密設備、儀器的振動影響;2設有精密設備、儀器的潔凈廠房,其建筑基礎構造、結構選型、隔振縫的設置、潔凈室裝修等應按微振控制要求設計;3對設有精密設備、儀器的潔凈室(區)有振動影響的動力設備及其管道,應采取主動隔振措施;4潔凈室(區)內精密設備、儀器,經測試確認受到周圍振動影響時,應采取被動隔振措施。安徽潔凈傳遞窗潔凈室檢測流程正壓潔凈室聯鎖程序應先啟動送風機,再啟動回風機和排風機。
C.1.3已裝過濾系統其過濾器檢漏C.1.3.1**的檢測項目,對安裝的過濾器進行檢漏。C.1.3.2調試過程中承建商的檢測已獲得業主認可,在緊接著的潔凈度項目檢測過程中,可進行抽檢或免檢。C.1.3.3有條件時,宜將過濾系統安裝調試過程的檢漏與檢測項目中**的過濾系統檢漏合并;過濾系統檢漏費時、費人力,整個潔凈室建造過程中只給出一定的作業時間周期。C.1.4檢漏方法檢漏方法通常有“氣溶膠光度計法”和“離散粒子計數器(DPC)法”。氣溶膠光度計是測量空氣中懸浮粒子的質量濃度,而離散粒子計數器是測量空氣中懸浮粒子的數量和粒徑,2種方法獲得的結果不能進行直接比較。
5.5.2當設備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區)時,宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室(區)內的設備宜選用低噪聲產品。當所選設備超過潔凈室噪聲容許值時,應采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區)應設置對電子產品生產過程所使用的工器具進行凈化處理的設施。5.5.5潔凈室(區)內,電子產品生產過程中各種零、部件存放和傳送,宜采用容器。用于存放和傳送的**容器,應符合下列規定:1制作材料應光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發污染物、防靜電,并在空氣中不應被氧化;2應密封性能好;3當存放物有嚴格的潔凈度要求時,宜充填高純度或干燥氮氣;4構造、外形應滿足生產工藝要求,并應方便操作和運送。以前常稱為亂流型潔凈室,室內的氣流并不都按單一方向流動。
7.4.5干表冷器的設置應符合下列要求:1安裝位置、外形尺寸應根據潔凈廠房的平面和空間布置確定;2迎面風速、結構形式應根據潔凈室(區)冷負荷、風機過濾器機組所提供的機外余壓確定;3冷凍水進水溫度,宜高于潔凈室(區)內空氣的**溫度;4應設置排水設施。7.4.6凈化空調系統空氣處理機組的選用和布置,應符合下列要求:1應有良好的氣密性,漏風率不得大于1%;2整體結構應有足夠的強度和剛度,內表面應平整、光滑,外表面不應結露;3布置應整齊,并應便于運行和維修;當多套空氣處理機組為同一潔凈室(區)服務時,宜選用相同規格的空氣處理機組;送風機宜采取變頻調速措施。送風機可按凈化空調系統的總風量和總阻力值進行選擇。計算系統總阻力時,中效(高中效)、高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的1.5~2.0倍取值;5應設置排水裝置。空氣過濾器的處理風量應小于或等于額定風量。壓差潔凈室檢測服務至上
管道系統應設必需的吹除口、放凈口和取樣口。安徽消毒液凈化車間環境潔凈室檢測服務商
C.1.1檢測目的檢測的目的是確認過濾系統安裝正確,使用過程中無滲漏發生,不要將已裝過濾器系統的檢漏與過濾器出廠時的效率檢測混為一談,過濾器出廠前應經過檢漏雨測試。此項檢測用于驗證過濾系統不存在影響設施潔凈狀況的滲漏;確認過濾系統下風向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設計潔凈度。C.1.2檢測過程檢測中,在過濾器的上風向注入氣溶膠,在下風向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描,或在風管中的過濾器下風向采樣。檢漏包括濾材、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內的整個過濾系統。已裝過濾系統的檢漏只在“空態”或“靜態”下進行,且該項檢測是在新建潔凈室調試時,或現有設施需要再檢測時,或更換了末端過濾器之后進行。安徽消毒液凈化車間環境潔凈室檢測服務商