6.3.4潔凈廠房技術夾層的墻壁和頂棚應滿足使用功能要求,且表面應平整、光滑。位于地下的技術層或技術夾層應采取防水或防潮、防霉措施。6.3.5當潔凈廠房設置外窗時,應采用雙層固定窗,并應有良好的氣密性,同時應采取防結露措施。6.3.6潔凈室(區)門窗、墻壁、頂棚、地面、樓面的設計應符合下列要求:1應滿足使用功能的要求,構造和施工縫隙應采取密閉措施;2頂棚以上的技術層或技術夾層宜設檢修通道,3潔凈室(區)不宜設窗臺;4當地面采用活動地板時,活動地板材質和支撐方式應根據電子產品生產工藝要求選擇。6.3.7用于電子產品生產的潔凈室(區)的墻板和頂棚,宜采用輕質壁板構造。有足夠的風量,既為了稀釋空氣的含塵濃度,又保證有穩定的氣流流型。江蘇塵埃粒子潔凈室檢測周期
6.3.1潔凈廠房的建筑圍護結構和室內裝修,應選用氣密性良好,且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產品品質有影響物質的材料。裝修材料的燃燒性能應符合現行國家標準《建筑內部裝修設計防火規范》GB50222的有關規定。裝修材料的煙密度等級不應大于50,材料的煙密度等級應符合現行國家標準《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗方法》GB/T8627的有關規定。6.3.2潔凈室內墻壁和頂棚的裝修應符合下列要求:1應滿足使用功能的要求,且表面應平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于清潔,并應減少凹凸面,2當采用踢腳時,踢腳不宜突出墻面。照度潔凈室檢測值得推薦應避免出現不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。
近年來,國內外一些潔凈廠房中一級用電負荷因雷擊及電源瞬時變動而引起停電事故頻繁發生,造成了較大的經濟損失,其原因不是主電源斷電,而是控制電源失電造成保護系統失靈而造成事故。電氣照明在潔凈廠房設計中也很重要。從工藝性質來看,潔凈廠房內一般從事精密視覺工作,需要高照度高質量照明。為了獲得良好和穩定的照明條件,除了解決好照明形式、光源、照度等一系列問題外,極重要的是保證供電電源的可靠性和穩定性。........
D.3.2靜壓差測試,應符合下列規定:1靜壓差的測定應在所有的門關閉時進行。2儀器宜采用各種型式的微壓計,儀表靈敏度應小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個潔凈室(區)時,應從極里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始,并應按順序向外進行檢測。D.3.3已安裝的空氣過濾器泄漏測試,應符合下列規定:1儀器應使用采樣量大于11/mn的光學粒子計數器。2應在過濾器上風側引入大于等于0.1pm(0.5um)粒子,粒子濃度應大于3.5×10'P/m3的大氣塵或其他氣溶膠;在過濾器下風側應用粒子計數器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20~30mm處,并應以5~20mm/s速度移動。應檢測包括過濾器的整個面和過濾器周邊、過濾器框架及其密封處的掃描。設置在同一潔凈室內的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效率應相近。
D.3.5氣流流型的檢測,應符合下列規定:1氣流流型的檢測,宜采用氣流目測法。2氣流目測法有示蹤線法、示蹤劑注人法,并應用圖像處理技術記錄和處理。示蹤線法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應成為潔凈室(區)的一種污染源。3示蹤線法應為通過觀察放置在測試桿末端或氣流中細鋼絲格柵上的絲線或單根尼龍纖維等,直接目測得到氣流方向或因干擾引起的波動。4示蹤劑注入法,可采用純水噴霧或化學法生成的乙醇/正二醇等示蹤劑粒子的特性,在**度光源下進行觀察或做成圖像。5應采用圖像處理技術進***流目測,本法一般是與示蹤法結合,將在攝像機或膜上的粒子圖像等經技術處理得到氣流特性。6氣流目測的測點位置、儀器等,應根據潔凈室(區)的具體條件洽商確定。對較大型的潔凈廠房的凈化空調系統的新風宜集中進行空氣凈化處理。北京潔凈度潔凈室檢測報告
斷截面上風速一致,有垂直單向潔凈室,準垂直單向流,水平單向流潔凈室等。江蘇塵埃粒子潔凈室檢測周期
4.2.2因生產工藝的不同,潔凈廠房內常有多種氣體、液體供應管道,如氫、氧、氮、氬、壓縮空氣和純水、上水等管道,以及電氣管線、凈化空調系統的送回風管和局部排風管等,管線交叉復雜。因此,在進行管線綜合布置時,必須在平面和標高上密切配合,綜合考慮,才能做到安裝、調試、清掃、使用和維修的方便及整齊美觀。對國內已建成的潔凈廠房調研中,了解到為布置各種管道和高效過濾器等一般均設置了技術夾層或技術夾道,大多使用效果良好,但有的新建工程把技術夾層設計得過高是不經濟的。改建工程由于空間較小,管線布置比較緊湊,但如果布置合理,效果也是不錯的。因此,在進行管線綜合布置設計和確定技術夾層層高時,應進行技術經濟比較,做到技術上可靠,經濟上合理。江蘇塵埃粒子潔凈室檢測周期