12.1.1潔凈廠房的用電負荷等級和供電要求，應根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝及設備要求和現(xiàn)行國家標準《供配電系統(tǒng)設計規(guī)范》GB50052的有關(guān)規(guī)定確定。12.1.2潔凈廠房低壓配電電壓等級應符合生產(chǎn)工藝設備用電要求。帶電導體系統(tǒng)的型式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統(tǒng)接地型式宜采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng)。12.1.3電子產(chǎn)品生產(chǎn)用主要工藝設備，應由變壓器或低壓饋電線路供電。對電源連續(xù)性有特殊要求的生產(chǎn)設備、動力設備，宜設置不間斷電源或備用發(fā)電裝置等。在潔凈室(區(qū))內(nèi)宜設置的檢修電源。12.1.4潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)（含制冷機），應由變電所專線供電。無塵室的設計充分考慮了環(huán)境污染的來源。上海潔凈度無塵室檢測周期

3.1.1電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設計應根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)，同時還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數(shù)要求。3.1.2生產(chǎn)環(huán)境設計應根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求，對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程需用的包括化學品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質(zhì)的質(zhì)量進行控制。3.1.3潔凈室（區(qū))內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工具、器具和物料儲運裝置，其制作的材質(zhì)和清潔方式應按生產(chǎn)工藝要求選擇。3.1.1電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設計應根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)，同時還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數(shù)要求。3.1.2生產(chǎn)環(huán)境設計應根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求，對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程需用的包括化學品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質(zhì)的質(zhì)量進行控制。3.1.3潔凈室（區(qū))內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工具、器具和物料儲運裝置，其制作的材質(zhì)和清潔方式應按生產(chǎn)工藝要求選擇。浙江氣流無塵室檢測公司無塵室極主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度。

17.3.4在系統(tǒng)和設備的外觀檢查后應進行單機試運轉(zhuǎn)檢查，并應確認運轉(zhuǎn)正常。其中風機的試運行時間不少于2h，不得反轉(zhuǎn)，其滑動軸承最高溫度不得超過70℃。17.3.5安裝確認后應進行空態(tài)或靜態(tài)條件下的運行確認，應進行帶冷（熱）源的系統(tǒng)正常聯(lián)合試運轉(zhuǎn)，并不應少于8h。系統(tǒng)中各項設備部件和自動控制環(huán)節(jié)聯(lián)動運轉(zhuǎn)應協(xié)調(diào)，動作正確，無異常現(xiàn)象。17.3.4在系統(tǒng)和設備的外觀檢查后應進行單機試運轉(zhuǎn)檢查，并應確認運轉(zhuǎn)正常。其中風機的試運行時間不少于2h，不得反轉(zhuǎn)，其滑動軸承最高溫度不得超過70℃。17.3.5安裝確認后應進行空態(tài)或靜態(tài)條件下的運行確認，應進行帶冷（熱）源的系統(tǒng)正常聯(lián)合試運轉(zhuǎn)，并不應少于8h。系統(tǒng)中各項設備部件和自動控制環(huán)節(jié)聯(lián)動運轉(zhuǎn)應協(xié)調(diào)，動作正確，無異常現(xiàn)象。

5.2.1潔凈廠房的工藝布置應按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝流程、潔凈室的氣流流型、工藝設備的安裝和維修、物料運輸?shù)纫蟠_定。在單向流潔凈室內(nèi)進行生產(chǎn)工藝設備、操作程序、人員流動路線和物料傳輸布置時,應采取避免發(fā)生氣流干擾和交叉污染的措施。5.2.2工藝布局應避免人流和物流之間的混雜和交叉,宜分別設置人員人口、物料入口和設備出入口,并應在各自的人口處設置相應的凈化設施。5.2.3在滿足生產(chǎn)工藝和微振控制、噪聲控制等要求的前提下，空氣潔凈度嚴格的潔凈室(區(qū))宜靠近空調(diào)機房布置;空氣潔凈度等級相同的工序或工作室宜集中布置。塵室通常采用高效的HEPA（高效顆粒空氣）過濾器或ULPA（超高效顆粒空氣）過濾器，可有效過濾微小的灰塵。

12.4.2消防應急照明燈(以下簡稱照明燈）的安裝應符合下列規(guī)定：1當照明燈安裝在墻上時，照明燈光線不應正面迎向人員疏散方向。2照明燈不得安裝在地面上，或1m~2.2m之間的側(cè)面墻上。照明燈宜采用嵌入式安裝并與安裝面平齊，四周應密封。3疏散走道上安裝的照明燈應均勻布置，并保證其地面平均照度不低于5lx。12.4.3蓄光型疏散指示標志牌(以下簡稱標志牌）的安裝應符合下列規(guī)定：1標志牌安裝在疏散走道和主要疏散路線的地面或靠近地面的墻上時，其箭頭應指向**近的疏散出口或安全出口。2標志牌安裝在墻上時，其下邊緣距地面距離不應大于1m；安裝在地面上時，應采用粘貼、鑲嵌式工藝安裝，其安裝后應平整、牢固。隨著科技的迅猛發(fā)展，無塵室已成為現(xiàn)代工業(yè)、醫(yī)療、電子、航空航天等領(lǐng)域中不可或缺的關(guān)鍵環(huán)境控制手段。上海半導體凈化車間無塵室檢測評估

指潔凈室(區(qū))在生產(chǎn)操作全部結(jié)束,生產(chǎn)操作人員撤離現(xiàn)場并經(jīng)過20 min自凈后。上海潔凈度無塵室檢測周期

應檢查產(chǎn)品合格證、出廠檢驗報告，其中應有效率、阻力和掃描檢漏的實測數(shù)據(jù)，不得以過濾器所屬類別定義數(shù)據(jù)代替。2應進行外觀檢查，內(nèi)容應包括有無損壞;各種尺寸是否符合設計要求;框架有無毛刺和銹斑(金屬框);帶風機的風機安裝是否可靠，轉(zhuǎn)動是否正常;帶裝飾網(wǎng)或阻漏層的，裝飾網(wǎng)或阻漏層是否完好、繃緊。應檢查產(chǎn)品合格證、出廠檢驗報告，其中應有效率、阻力和掃描檢漏的實測數(shù)據(jù)，不得以過濾器所屬類別定義數(shù)據(jù)代替。2應進行外觀檢查，內(nèi)容應包括有無損壞;各種尺寸是否符合設計要求;框架有無毛刺和銹斑(金屬框);帶風機的風機安裝是否可靠，轉(zhuǎn)動是否正常;帶裝飾網(wǎng)或阻漏層的，裝飾網(wǎng)或阻漏層是否完好、繃緊。上海潔凈度無塵室檢測周期