5.3.9空氣潔凈度等級要求較高的潔凈室,其墻板和頂棚宜采用輕質壁板構造。輕質壁板連接構造的整體性和氣密性是很重要的,整體性除靠板與板之間的雌雄槽緊密組合外,還靠上下馬槽和板之間的嚴密結合,使潔凈室形成一個完整的匣體。板壁之間的接縫應以硅橡膠等密封材料嵌縫密封,它的作用是防止灰塵在停機時從此進人室內,同時使潔凈室在正常工作時易于保持正壓,減少能量的損耗。此外,潔凈室的關鍵密封部位是高效過濾器之間或高效過濾器與其安裝骨架之間的縫隙,一定要***密封。目前國內使用的密封方法很多,如液槽密封、機械壓墊密封等,但必須做到涂抹或填嵌方便,操作簡單,而且還要考慮更換高效過濾器時方便拆裝。總之,沒有經過高效過濾器過濾的空氣***不允許直接進入潔凈室內。潔凈室頂棚用輕質壁板應具有一定的承重能力,以便施工、運行時人員行走。非連續運行的潔凈室,可根據生產工藝要求設置值班送風。安徽照度潔凈室檢測分析
B.1自凈檢測是測定潔凈室設施***空氣懸浮粒子的能力。潔凈室污染潔凈度的恢復性能是設施**重要的能力之一。自凈檢測*對非單向流系統重要并推薦采用,因為自凈性能與受控區內循環空氣比例(換氣次數)、送風與出風的幾何位置、熱條件和空氣分布特性因素相關,而單向流系統中,污染被受控氣流置換,自凈時間只受位置和距離的影響。自凈檢測應在設施處于空態或靜態時進行。潔凈度ISO8級和ISO9級的潔凈室(區)不推薦自凈檢測。檢測若使用人工氣溶膠,應防止氣溶膠對設施的殘留污染。B.2自凈性能的評估方法有100:1自凈時間或潔凈度恢復率。100:1自凈時間的定義:粒子濃度降低到0.01倍初始濃度所需時間。100:1自凈時間檢測是優先方法。潔凈恢復率的定義:粒子濃度隨時間的變化速率。該方法可以使用粒子濃度衰減曲線進行描述(縱座標表示濃度,為對數刻度;橫座標表示濃度,為線性刻度)。北京潔凈傳遞窗潔凈室檢測評估無菌室,亦稱為凈化室或潔凈室,是一種專門設計用于控制環境污染的封閉空間。
5.1.1隨著科學技術的發展,電子產品的更新換代、產品生產技術的發展十分迅速,以集成電路為**的微電子產品尤為***,集成電路產品基本上是2~3年或更短的時間就會提升一代產品;以TFT-LCD為**的顯示器件正在取代彩色顯像管的顯示器件生產;微型計算機的迅速發展,使各種元器件生產發展十分迅速。因此,電子工業潔凈廠房的設計、建造必須適應這種快速發展的需要,從潔凈廠房的規劃開始,對于電子工廠、潔凈廠房的工藝設計、工藝布局應充分考慮電子產品發展的靈活性,以滿足電子產品生產工藝改造和擴大生產的需求。
D.3.2靜壓差測試,應符合下列規定:1靜壓差的測定應在所有的門關閉時進行。2儀器宜采用各種型式的微壓計,儀表靈敏度應小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個潔凈室(區)時,應從極里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始,并應按順序向外進行檢測。D.3.3已安裝的空氣過濾器泄漏測試,應符合下列規定:1儀器應使用采樣量大于11/mn的光學粒子計數器。2應在過濾器上風側引入大于等于0.1pm(0.5um)粒子,粒子濃度應大于3.5×10P/m3的大氣塵或其他氣溶膠;在過濾器下風側應用粒子計數器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20~30mm處,并應以5~20mm/s速度移動。應檢測包括過濾器的整個面和過濾器周邊、過濾器框架及其密封處的掃描。可燃氣體管道、氧氣管道的末端或極高點均應設置放散管。
6.1.5設有上技術夾層、下技術夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構造,應滿足產品生產工藝、自動化運輸和公用動力設施安裝和維修的要求。6.1.6設有技術夾層、技術夾道的潔凈廠房,技術夾層、技術夾道的建筑設計應滿足各種風管和各種動力管線安裝和維修的要求。穿越樓層的豎向管線需暗敷時,宜設置技術豎井。技術豎井的形式、尺寸和構造應滿足風管、管線的安裝、檢修和防火要求。6.1.7對兼有一般生產區和潔凈室(區)的綜合性廠房,廠房的平面布局和構造處理,宜避免人流、物流運輸及防火方面對潔凈生產環境帶來不利影響。潔凈室是指空氣潔凈度達到規定級別的可供人活動的空間。上海電子廠房環境潔凈室檢測服務
對較大型的潔凈廠房的凈化空調系統的新風宜集中進行空氣凈化處理。安徽照度潔凈室檢測分析
15.3.2有微振動控制要求的潔凈室(區),其建筑結構的微振動控制設計,應符合下列規定:1建筑物基礎宜置于動力性能良好的地基土上,且基礎應有足夠剛度;2應設置**的建筑結構微振動控制體系,并應與廠房主體結構分隔;3主體結構應根據微振動控制的要求,適當加大梁、柱、墻、基礎等截面尺寸。15.3.3有強烈振動的設備和管道,宜采取主動隔振措施,并應符合下列要求.1宜采用隔振臺(座);2應選用剛度適當的隔振器,3通往潔凈室(區)的管道,宜采取隔振支(吊)架、柔性連接等隔振措施。安徽照度潔凈室檢測分析