15.3.2有微振動控制要求的潔凈室（區)，其建筑結構的微振動控制設計，應符合下列規定：1建筑物基礎宜置于動力性能良好的地基土上，且基礎應有足夠剛度；2應設置**的建筑結構微振動控制體系，并應與廠房主體結構分隔；3主體結構應根據微振動控制的要求，適當加大梁、柱、墻、基礎等截面尺寸。15.3.3有強烈振動的設備和管道，宜采取主動隔振措施，并應符合下列要求.1宜采用隔振臺(座）；2應選用剛度適當的隔振器，3通往潔凈室(區)的管道，宜采取隔振支(吊)架、柔性連接等隔振措施。不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa。上海電子廠房環境潔凈室檢測報告

從收集的國內外潔凈室噪聲標準來看，有以下幾個特點：潔凈室的噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準。在潔凈室的環境下，噪聲條件主要在于保障正常操作運行，滿足必要的談話聯系，提供舒適的工作環境。絕大多數標準給出的允許值在65dB(A)~70dB(A)范圍，醫療行業則更低。現行的大多數標準均以A聲壓級作為評價指標，也有少數標準對各頻帶聲壓級提出了限制。少數標準按不同的空氣潔凈度等級分別給出了噪聲容許值，而大多數標準對不同的空氣潔凈度等級潔凈室提出了一個統一的容許值。上海國內潔凈室檢測服務至上無菌操作間應根據檢驗品種的需要，保持對鄰室的相對正壓或相對負壓，以防止外界污染空氣的流入。

8.2.1潔凈廠房內的給水系統應根據各種用途(包括工藝冷卻水)對水質、水溫、水壓、水量的要求確定，宜按生產、生活、消防分別設置的給水系統。8.2.2當設有危險化學品儲存和分配室時，應根據化學品的物理化學性能和人身安全的要求，設置緊急淋浴器和洗眼器，其給水管道應環形敷設布置。8.2.3給水管道的管材及附件的選擇，應符合下列要求：1給水系統的管材和附件的選用，應滿足生產工藝和系統工作參數的要求；2埋地管道應耐腐蝕，并應具有承受相應地面荷載的能力；3生產設備循環冷卻水給水和回水管道，應按生產工藝和水質要求，采用不銹鋼管、鋼塑管、塑料管等，不宜采用焊接鋼管；4閥門及附件應采用與管材相同的材質。

4.1.2潔凈廠房內當布置有精密設備和精密儀器儀表，若它們有防微振要求時，為解決防微振問題，在廠址選擇或已建工廠內的潔凈廠房場地選擇過程中，需要對周圍振源的振動影響作出評價，以確定該廠址或場地是否適宜建設。周圍振源對精密設備、精密儀器儀表的振動影響，是若干單個振源振動的疊加結果。這種疊加，目前還沒有系統的參考數據及實用的計算方法。因此，應立足于實測。過去有的工廠，由于建廠前沒有對周圍各類振源的振動影響進行實測，建成后發現對精密設備、精密儀器儀表影響很大，有的甚至難以工作，給生產、試驗帶來很大困難，這說明實測振源振動影響是非常必要的。在生產工藝平面區劃時盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起。

15.1.1潔凈廠房的微振控制設施的設計應分階段進行，應包括設計、施工和投產等各階段的微振動測試、廠房建筑結構微振控制設計、動力設備隔振設計和精密儀器設備隔振設計等。15.1.2設計有微振控制要求的潔凈廠房時，應符合下列規定：1總平面布置時，應核實相鄰廠房、建筑物或構筑物對精密設備、儀器的振動影響；2設有精密設備、儀器的潔凈廠房，其建筑基礎構造、結構選型、隔振縫的設置、潔凈室裝修等應按微振控制要求設計；3對設有精密設備、儀器的潔凈室（區）有振動影響的動力設備及其管道，應采取主動隔振措施；4潔凈室(區)內精密設備、儀器，經測試確認受到周圍振動影響時，應采取被動隔振措施。對潔凈室的送風必須是有很高潔凈度的空氣。安徽半導體凈化車間潔凈室檢測服務至上

一般情況下，凈化空調系統的能耗比一般空調系統的能耗大的多。上海電子廠房環境潔凈室檢測報告

C.3已裝過濾系統氣溶膠光度計掃描檢漏規程C.3.1進行已裝過濾系統掃描檢漏前，應已完成風速合格性檢測。C.3.2過濾器上風向氣溶膠適當粒徑范圍[質量中值粒徑（MMD）一般為0.5μm~0.7μm，幾何標準差可高達1.7]；濃度為10mg/m~100mg/m。濃度低于20mg/m時檢漏的靈敏度欠佳；高于80mg/m，長時間檢測會過度污染過濾器。注入氣溶膠與送風應均勻混合，上風向氣溶膠濃度隨時間的變化不應超過平均測量值的士15%。C.3.3按規定的掃描速度，移動采樣探頭往復掃描。采樣頭往復掃描速度為15/Wp，cm/s(Wp為垂直于掃描方向的采樣口寬度。掃描速度為5cm/s。注：當使用3cm×3cm正方形采樣頭掃描時，掃描的覆蓋面之間略有重疊。C.3.4采樣口的風速接近過濾器出風面的風速(接近“等動力采樣”)。采樣探頭距過濾器出風面和框架結構約3cm。C.3.5掃描應遍及過濾器的整個出風面、過濾器的周邊、過濾器邊框與安裝構架之間的密封處及安裝構架的結合點。C.3.6驗收限值：當讀數大于上風向氣溶膠濃度的0.01%時，就認為存在滲漏。供需雙方也可商定其他驗收限值。掃描時任何顯示大于或等于滲漏限值處，采樣頭應停留持續測量一段時間，光度計獲得比較大讀數時采樣頭的位置應判定為滲漏位置。上海電子廠房環境潔凈室檢測報告