6.3.1潔凈廠房的建筑圍護結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計防火規(guī)范》GB50222的有關(guān)規(guī)定。裝修材料的煙密度等級不應(yīng)大于50，材料的煙密度等級應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗方法》GB/T8627的有關(guān)規(guī)定。6.3.2潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)滿足使用功能的要求，且表面應(yīng)平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于清潔，并應(yīng)減少凹凸面，2當(dāng)采用踢腳時，踢腳不宜突出墻面。送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖。潔凈度潔凈室檢測范圍

1管道連接應(yīng)采用焊接，熱鍍鋅鋼管應(yīng)采用螺紋連接。2不銹鋼管應(yīng)采用氬弧焊，以對接焊或承接焊連接；高純氣體管道宜采用內(nèi)壁***痕的對接焊。8.3.2管道與設(shè)備的連接應(yīng)符合設(shè)備的連接要求。當(dāng)采用軟管連接時宜采用金屬軟管。8.3.3管道與管道、管道與閥門連接的密封材料應(yīng)符合下列規(guī)定：1螺紋或法蘭連接處的密封材料應(yīng)根據(jù)輸送物料性質(zhì)、設(shè)計工況選擇，宜采用聚四氟乙烯等。2高純氣體管道與閥門連接的密封材料應(yīng)按生產(chǎn)工藝和氣體特性的要求確定，宜采用金屬墊或雙卡套。8.3.4潔凈室(區(qū))內(nèi)的工業(yè)管道應(yīng)根據(jù)管子表面溫度和環(huán)境溫度、濕度確定保溫形式和構(gòu)造。冷管道保溫后的外表面溫度不應(yīng)低于環(huán)境的**溫度。保溫層外表面應(yīng)采用不產(chǎn)生塵粒、微生物的材料，并應(yīng)平整、光潔，宜采用金屬外殼保護。北京靜電潔凈室檢測誠信推薦潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。

5.2.2人員進出、材料出入、產(chǎn)品運送及設(shè)備、工具搬運的頻繁交錯，不但會彼此干擾、易發(fā)生混雜、降低生產(chǎn)效率，并可能會使?jié)崈羰?區(qū))的空氣潔凈度受到影響和氣流受到破壞。因此，在工藝布局時，應(yīng)充分考慮人員、物料設(shè)備，有各自的出入口。人員入口處的凈化設(shè)施包括單人吹淋室、多人吹淋室、通道式吹淋室、氣閘室等，具體選用何種形式，需根據(jù)潔凈室(區(qū)）的空氣潔凈度等級、人員數(shù)量、未來發(fā)展需求等確定。物料凈化設(shè)施包括貨物吹淋室、氣閘室、壓縮空氣吹掃頭等，一般可根據(jù)物料種類、包裝方式和潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度等級等確定。

15.1.1潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計應(yīng)分階段進行，應(yīng)包括設(shè)計、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動測試、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設(shè)計、動力設(shè)備隔振設(shè)計和精密儀器設(shè)備隔振設(shè)計等。15.1.2設(shè)計有微振控制要求的潔凈廠房時，應(yīng)符合下列規(guī)定：1總平面布置時，應(yīng)核實相鄰廠房、建筑物或構(gòu)筑物對精密設(shè)備、儀器的振動影響；2設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈廠房，其建筑基礎(chǔ)構(gòu)造、結(jié)構(gòu)選型、隔振縫的設(shè)置、潔凈室裝修等應(yīng)按微振控制要求設(shè)計；3對設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈室（區(qū)）有振動影響的動力設(shè)備及其管道，應(yīng)采取主動隔振措施；4潔凈室(區(qū))內(nèi)精密設(shè)備、儀器，經(jīng)測試確認(rèn)受到周圍振動影響時，應(yīng)采取被動隔振措施。負(fù)壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)與上述正壓潔凈室相反。

4.1.1潔凈廠房位置的選擇，應(yīng)根據(jù)下列要求經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定：1應(yīng)布置在大氣含塵和有害氣體或化學(xué)污染物濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域；2應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體或化學(xué)污染物的工廠、貯倉、堆場等有嚴(yán)重空氣污染、振動或噪聲干擾或強電磁場的區(qū)域。不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重空氣污染源時，則應(yīng)位于全年**小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè)；3在廠區(qū)內(nèi)應(yīng)布置在環(huán)境清潔、污染物少、人流和物流不穿越或少穿越的地段。..非連續(xù)運行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng)。北京半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測值得推薦

無菌操作間應(yīng)根據(jù)檢驗品種的需要，保持對鄰室的相對正壓或相對負(fù)壓，以防止外界污染空氣的流入。潔凈度潔凈室檢測范圍

1近年來，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設(shè)計中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風(fēng)靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng)，實際上，潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的；而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動地板等以下是作為回風(fēng)靜壓箱的下技術(shù)夾層，在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動力設(shè)備、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動力管線等，潔凈生產(chǎn)層的回風(fēng)通過活動地板、多孔板回至下技術(shù)夾層，實際上，下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的，所以可以認(rèn)為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術(shù)夾層，潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。潔凈度潔凈室檢測范圍