15.1.1潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計應(yīng)分階段進(jìn)行，應(yīng)包括設(shè)計、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動測試、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設(shè)計、動力設(shè)備隔振設(shè)計和精密儀器設(shè)備隔振設(shè)計等。15.1.2設(shè)計有微振控制要求的潔凈廠房時，應(yīng)符合下列規(guī)定：1總平面布置時，應(yīng)核實相鄰廠房、建筑物或構(gòu)筑物對精密設(shè)備、儀器的振動影響；2設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈廠房，其建筑基礎(chǔ)構(gòu)造、結(jié)構(gòu)選型、隔振縫的設(shè)置、潔凈室裝修等應(yīng)按微振控制要求設(shè)計；3對設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈室（區(qū)）有振動影響的動力設(shè)備及其管道，應(yīng)采取主動隔振措施；4潔凈室(區(qū))內(nèi)精密設(shè)備、儀器，經(jīng)測試確認(rèn)受到周圍振動影響時，應(yīng)采取被動隔振措施。根據(jù)潔凈室的等級，合理選擇潔凈室的氣流分布流型，在工作區(qū)應(yīng)避免渦流區(qū)。江蘇電子廠房環(huán)境潔凈室檢測值得推薦

6.3.4潔凈廠房技術(shù)夾層的墻壁和頂棚應(yīng)滿足使用功能要求，且表面應(yīng)平整、光滑。位于地下的技術(shù)層或技術(shù)夾層應(yīng)采取防水或防潮、防霉措施。6.3.5當(dāng)潔凈廠房設(shè)置外窗時，應(yīng)采用雙層固定窗，并應(yīng)有良好的氣密性，同時應(yīng)采取防結(jié)露措施。6.3.6潔凈室（區(qū)）門窗、墻壁、頂棚、地面、樓面的設(shè)計應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)滿足使用功能的要求，構(gòu)造和施工縫隙應(yīng)采取密閉措施；2頂棚以上的技術(shù)層或技術(shù)夾層宜設(shè)檢修通道，3潔凈室(區(qū))不宜設(shè)窗臺；4當(dāng)?shù)孛娌捎没顒拥匕鍟r，活動地板材質(zhì)和支撐方式應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇。6.3.7用于電子產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈室(區(qū)）的墻板和頂棚，宜采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造。江蘇電子廠房環(huán)境潔凈室檢測值得推薦負(fù)壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)與上述正壓潔凈室相反。

從收集的國內(nèi)外潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)來看，有以下幾個特點：潔凈室的噪聲標(biāo)準(zhǔn)一般均嚴(yán)于保護(hù)健康的標(biāo)準(zhǔn)。在潔凈室的環(huán)境下，噪聲條件主要在于保障正常操作運行，滿足必要的談話聯(lián)系，提供舒適的工作環(huán)境。絕大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)給出的允許值在65dB(A)~70dB(A)范圍，醫(yī)療行業(yè)則更低。現(xiàn)行的大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)均以A聲壓級作為評價指標(biāo)，也有少數(shù)標(biāo)準(zhǔn)對各頻帶聲壓級提出了限制。少數(shù)標(biāo)準(zhǔn)按不同的空氣潔凈度等級分別給出了噪聲容許值，而大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)對不同的空氣潔凈度等級潔凈室提出了一個統(tǒng)一的容許值。

C.3已裝過濾系統(tǒng)氣溶膠光度計掃描檢漏規(guī)程C.3.1進(jìn)行已裝過濾系統(tǒng)掃描檢漏前，應(yīng)已完成風(fēng)速合格性檢測。C.3.2過濾器上風(fēng)向氣溶膠適當(dāng)粒徑范圍[質(zhì)量中值粒徑（MMD）一般為0.5μm~0.7μm，幾何標(biāo)準(zhǔn)差可高達(dá)1.7]；濃度為10mg/m~100mg/m。濃度低于20mg/m時檢漏的靈敏度欠佳；高于80mg/m，長時間檢測會過度污染過濾器。注入氣溶膠與送風(fēng)應(yīng)均勻混合，上風(fēng)向氣溶膠濃度隨時間的變化不應(yīng)超過平均測量值的士15%。C.3.3按規(guī)定的掃描速度，移動采樣探頭往復(fù)掃描。采樣頭往復(fù)掃描速度為15/Wp，cm/s(Wp為垂直于掃描方向的采樣口寬度。掃描速度為5cm/s。注：當(dāng)使用3cm×3cm正方形采樣頭掃描時，掃描的覆蓋面之間略有重疊。C.3.4采樣口的風(fēng)速接近過濾器出風(fēng)面的風(fēng)速(接近“等動力采樣”)。采樣探頭距過濾器出風(fēng)面和框架結(jié)構(gòu)約3cm。C.3.5掃描應(yīng)遍及過濾器的整個出風(fēng)面、過濾器的周邊、過濾器邊框與安裝構(gòu)架之間的密封處及安裝構(gòu)架的結(jié)合點。C.3.6驗收限值：當(dāng)讀數(shù)大于上風(fēng)向氣溶膠濃度的0.01%時，就認(rèn)為存在滲漏。供需雙方也可商定其他驗收限值。掃描時任何顯示大于或等于滲漏限值處，采樣頭應(yīng)停留持續(xù)測量一段時間，光度計獲得比較大讀數(shù)時采樣頭的位置應(yīng)判定為滲漏位置。非單向流潔凈室中都有渦流存在，不適宜用于高潔凈度的潔凈室中，宜用于6~9級的潔凈室中。

C.1.3已裝過濾系統(tǒng)其過濾器檢漏C.1.3.1**的檢測項目，對安裝的過濾器進(jìn)行檢漏。C.1.3.2調(diào)試過程中承建商的檢測已獲得業(yè)主認(rèn)可，在緊接著的潔凈度項目檢測過程中，可進(jìn)行抽檢或免檢。C.1.3.3有條件時，宜將過濾系統(tǒng)安裝調(diào)試過程的檢漏與檢測項目中**的過濾系統(tǒng)檢漏合并；過濾系統(tǒng)檢漏費時、費人力，整個潔凈室建造過程中只給出一定的作業(yè)時間周期。C.1.4檢漏方法檢漏方法通常有“氣溶膠光度計法”和“離散粒子計數(shù)器（DPC)法”。氣溶膠光度計是測量空氣中懸浮粒子的質(zhì)量濃度，而離散粒子計數(shù)器是測量空氣中懸浮粒子的數(shù)量和粒徑，2種方法獲得的結(jié)果不能進(jìn)行直接比較。不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa。潔凈傳遞窗潔凈室檢測規(guī)范性強(qiáng)

正壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)先啟動送風(fēng)機(jī)，再啟動回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī)。江蘇電子廠房環(huán)境潔凈室檢測值得推薦

C.1.1檢測目的檢測的目的是確認(rèn)過濾系統(tǒng)安裝正確，使用過程中無滲漏發(fā)生，不要將已裝過濾器系統(tǒng)的檢漏與過濾器出廠時的效率檢測混為一談，過濾器出廠前應(yīng)經(jīng)過檢漏雨測試。此項檢測用于驗證過濾系統(tǒng)不存在影響設(shè)施潔凈狀況的滲漏；確認(rèn)過濾系統(tǒng)下風(fēng)向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設(shè)計潔凈度。C.1.2檢測過程檢測中，在過濾器的上風(fēng)向注入氣溶膠，在下風(fēng)向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描，或在風(fēng)管中的過濾器下風(fēng)向采樣。檢漏包括濾材、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內(nèi)的整個過濾系統(tǒng)。已裝過濾系統(tǒng)的檢漏只在“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進(jìn)行，且該項檢測是在新建潔凈室調(diào)試時，或現(xiàn)有設(shè)施需要再檢測時，或更換了末端過濾器之后進(jìn)行。江蘇電子廠房環(huán)境潔凈室檢測值得推薦