6.1.5設有上技術夾層、下技術夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構造，應滿足產品生產工藝、自動化運輸和公用動力設施安裝和維修的要求。6.1.6設有技術夾層、技術夾道的潔凈廠房，技術夾層、技術夾道的建筑設計應滿足各種風管和各種動力管線安裝和維修的要求。穿越樓層的豎向管線需暗敷時，宜設置技術豎井。技術豎井的形式、尺寸和構造應滿足風管、管線的安裝、檢修和防火要求。6.1.7對兼有一般生產區和潔凈室（區)的綜合性廠房，廠房的平面布局和構造處理，宜避免人流、物流運輸及防火方面對潔凈生產環境帶來不利影響。一般情況下，凈化空調系統的能耗比一般空調系統的能耗大的多。江蘇塵埃粒子潔凈室檢測第三方檢測機構

1)單層潔凈室，在單向流潔凈生產區的上部、下部設有上下技術夾層，上技術夾層內設置空氣過濾裝置、風管和公用動力管線；下技術夾層為回風道。這種形式適用于規模較小的潔凈室。2)多層潔凈室，在單向流潔凈生產區吊頂格柵以上設有送風靜壓箱或循環空氣處理設備或空氣過濾單元機組等的上技術層；在單向流潔凈生產區的活動地板以下設有回風靜壓箱或輔助生產設備或公用動力設備、管線等的下技術層。有的電子工業潔凈廠房的下技術層根據需要可為一層或二層。上海純化水檢測潔凈室檢測范圍凈化空調系統設計應合理利用回風。

1管道連接應采用焊接，熱鍍鋅鋼管應采用螺紋連接。2不銹鋼管應采用氬弧焊，以對接焊或承接焊連接；高純氣體管道宜采用內壁***痕的對接焊。8.3.2管道與設備的連接應符合設備的連接要求。當采用軟管連接時宜采用金屬軟管。8.3.3管道與管道、管道與閥門連接的密封材料應符合下列規定：1螺紋或法蘭連接處的密封材料應根據輸送物料性質、設計工況選擇，宜采用聚四氟乙烯等。2高純氣體管道與閥門連接的密封材料應按生產工藝和氣體特性的要求確定，宜采用金屬墊或雙卡套。8.3.4潔凈室(區)內的工業管道應根據管子表面溫度和環境溫度、濕度確定保溫形式和構造。冷管道保溫后的外表面溫度不應低于環境的**溫度。保溫層外表面應采用不產生塵粒、微生物的材料，并應平整、光潔，宜采用金屬外殼保護。

15.3.2有微振動控制要求的潔凈室（區)，其建筑結構的微振動控制設計，應符合下列規定：1建筑物基礎宜置于動力性能良好的地基土上，且基礎應有足夠剛度；2應設置**的建筑結構微振動控制體系，并應與廠房主體結構分隔；3主體結構應根據微振動控制的要求，適當加大梁、柱、墻、基礎等截面尺寸。15.3.3有強烈振動的設備和管道，宜采取主動隔振措施，并應符合下列要求.1宜采用隔振臺(座）；2應選用剛度適當的隔振器，3通往潔凈室(區)的管道，宜采取隔振支(吊)架、柔性連接等隔振措施。潔凈區與非潔凈區之間的壓差不應小于5Pa。

15.1.1潔凈廠房的微振控制設施的設計應分階段進行，應包括設計、施工和投產等各階段的微振動測試、廠房建筑結構微振控制設計、動力設備隔振設計和精密儀器設備隔振設計等。15.1.2設計有微振控制要求的潔凈廠房時，應符合下列規定：1總平面布置時，應核實相鄰廠房、建筑物或構筑物對精密設備、儀器的振動影響；2設有精密設備、儀器的潔凈廠房，其建筑基礎構造、結構選型、隔振縫的設置、潔凈室裝修等應按微振控制要求設計；3對設有精密設備、儀器的潔凈室（區）有振動影響的動力設備及其管道，應采取主動隔振措施；4潔凈室(區)內精密設備、儀器，經測試確認受到周圍振動影響時，應采取被動隔振措施。潔凈環境是為生產工藝服務的，潔凈室設計必須滿足生產工藝的環境要求，這是理所當然的。江蘇潔凈設備3Q驗證潔凈室檢測頻率

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5.1.3主體結構要具備同建筑處理及其室內裝備和裝修水平相適應的等級水平。若室內裝備與裝修水平高，而主體結構為臨時的，就會形成嚴重的浪費。本條規定著重于使潔凈廠房在耐久性、裝修與裝備水平、耐火能力等幾個方面相互協調，使投資長期發揮作用。此外，溫度或沉陷不但可能影響安全，而且還會破壞建筑裝修的完整性及圍護結構的氣密性，故須對主體結構采取相應措施。5.1.5對兼有一般生產和潔凈生產的綜合性廠房，在考慮其平面布局和構造處理時，應合理組織人流、物流運輸及消防疏散線路，避免一般生產對潔凈生產帶來不利的影響。當防火方面與潔凈生產要求有***時，應采取措施，在確保消防疏散的前提下，減少對潔凈生產的不利影響。江蘇塵埃粒子潔凈室檢測第三方檢測機構