16.4.22臭氧濃度的檢驗應符合下列規(guī)定：在風系統(tǒng)內或室內安有可產生臭氧的裝置時，除裝置本身產生的臭氧應符合現(xiàn)行的相關產品標準規(guī)定外，還應在系統(tǒng)和該裝置正常運轉條件下，檢測室內臭氧濃度。應按附錄E檢驗，結果應符合設計要求。當設計無明確要求時，應符合現(xiàn)行國家標準《室內空氣質量標準》GB/T18883不大于0.16mg/m3的規(guī)定。16.4.23二氧化碳濃度的檢測應符合下列規(guī)定：當對新風效果作細致確認時，可在風系統(tǒng)正常運行、室內處于動態(tài)條件下，于每一班次結束之前檢測室內二氧化碳濃度，按附錄E檢驗，結果應符合設計要求。當設計無明確要求時，應符合現(xiàn)行國家標準《空內空氣質量標準》GB/T18883不大于0.10％的規(guī)定。16.4.24當需要測定分子態(tài)污染物濃度時，可按附錄H的方法或按建設方與檢驗方商定的方法檢測，結果應符合設計要求或雙方商定的標準。空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。江蘇潔凈室無塵室檢測流程

E.1.1風量風速檢測必須首先進行，凈化空調各項效果必須是在設計的風量風速條件下獲得。E.1.2風量檢測前必須檢查風機運行是否正常，系統(tǒng)中各部件安裝是否正確，有無障礙，所有閥門應固定在一定的開啟位置上，且必須實際測量被測風口、風管尺寸。E.1.3測定室內微風速儀器的小刻度或讀數(shù)不應大于0.02m/s，一般可用熱球式風速儀，需要測出分速度時，應采用超聲波三維風速計。E.1.4對于單向流潔凈室，可采用室截面平均風速和截面積乘積的方法確定送風量，垂直單向流潔凈室的測定截面取距地面0.8m的無阻隔面(孔板、格柵除外)的水平截面，如有阻隔面，該測定截面應抬高至阻隔面之上0.25m;水平單向流潔凈室取距送風面0.5m的垂直于地面的截面，截面上測點間距不應大于1m，一般取0.3m。測點數(shù)應不少于20個，均勻布置。E.1.5對于非單向流潔凈室，內安裝過濾器的風口可采用套管法、風量罩法或風管法測定風量，為測定回風口或新風口風量，也可用風口法。安徽潔凈傳遞窗無塵室檢測服務至上塵室通常采用高效的HEPA（高效顆粒空氣）過濾器或ULPA（超高效顆粒空氣）過濾器，可有效過濾微小的灰塵。

5.2.1潔凈廠房的工藝布置應按產品生產工藝流程、潔凈室的氣流流型、工藝設備的安裝和維修、物料運輸?shù)纫蟠_定。在單向流潔凈室內進行生產工藝設備、操作程序、人員流動路線和物料傳輸布置時,應采取避免發(fā)生氣流干擾和交叉污染的措施。5.2.2工藝布局應避免人流和物流之間的混雜和交叉,宜分別設置人員人口、物料入口和設備出入口,并應在各自的人口處設置相應的凈化設施。5.2.3在滿足生產工藝和微振控制、噪聲控制等要求的前提下，空氣潔凈度嚴格的潔凈室(區(qū))宜靠近空調機房布置;空氣潔凈度等級相同的工序或工作室宜集中布置。

9.2.1純水系統(tǒng)的設備配置除應滿足所需水量和水質的要求外，還應滿足運行靈活、安全可靠、便于操作管理、運行費用低等要求。9.2.2純水的制備、儲存和輸送設備,應符合電子產品生產工藝的要求,并應符合下列規(guī)定:1純水的制備、終端處理設備的選型和制造材料的選擇,應滿足供水水質、終端水質的要求;2純水儲罐、輸送設備的選型和制造材料的選擇,應確保水質污染少、密封性好,不得有滲氣現(xiàn)象;3純水制備、儲存、輸送設備應有效地防止水質降低。室內空氣的流動形態(tài)和分布。

7.3.1潔凈廠房中的凈化空調系統(tǒng)可分為集中式凈化空調系統(tǒng)和分散式凈化空調系統(tǒng)。凈化空調系統(tǒng)的型式應根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級和產品生產工藝特點確定。潔凈室（區(qū))面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調系統(tǒng)。7.3.2潔凈廠房的潔凈室（區(qū))送風方式可分為集中送風、隧道送風、風機過濾器機組送風等。應根據(jù)潔凈室（區(qū)）使用功能和降低能量消耗的要求，經技術經濟比較，采用運行經濟、節(jié)約能源的送風方式。人員在進人潔凈室(區(qū))之前按一定程序進行凈化的房間。北京半導體凈化車間無塵室檢測公司

利用高速潔凈氣流吹落進入潔凈室人員或物料表面附著粒子的小室。江蘇潔凈室無塵室檢測流程

12.1.1潔凈廠房的用電負荷等級和供電要求，應根據(jù)電子產品生產工藝及設備要求和現(xiàn)行國家標準《供配電系統(tǒng)設計規(guī)范》GB50052的有關規(guī)定確定。12.1.2潔凈廠房低壓配電電壓等級應符合生產工藝設備用電要求。帶電導體系統(tǒng)的型式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統(tǒng)接地型式宜采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng)。12.1.3電子產品生產用主要工藝設備，應由變壓器或低壓饋電線路供電。對電源連續(xù)性有特殊要求的生產設備、動力設備，宜設置不間斷電源或備用發(fā)電裝置等。在潔凈室(區(qū))內宜設置的檢修電源。12.1.4潔凈廠房的凈化空調系統(tǒng)（含制冷機），應由變電所專線供電。江蘇潔凈室無塵室檢測流程