賽瑞達智能電子裝備（無錫）有限公司2025-04-19

在大規(guī)模集成電路制造中，臥式爐用于多晶硅薄膜的擴散工藝，通過精確控制雜質(zhì)擴散，制作出性能穩(wěn)定的晶體管，保障集成電路的正常運行。在功率半導(dǎo)體制造里，臥式爐的氧化工藝生成高質(zhì)量的二氧化硅絕緣層，提高功率半導(dǎo)體器件的絕緣性能和可靠性。在 MEMS（微機電系統(tǒng)）制造中，臥式爐用于對硅基微結(jié)構(gòu)進行退火處理，消除內(nèi)部應(yīng)力，確保微結(jié)構(gòu)尺寸穩(wěn)定，提升 MEMS 器件的性能和精度。

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