上海大載機(jī)電有限公司2025-05-10

潔凈室安裝規(guī)范： 1）進(jìn)場前處理： 閥體乙醇擦拭（無塵布） 真空包裝運(yùn)輸 2）安裝過程： 在潔凈工作臺操作 人員穿防塵服 3）密封要求： 接口用氟橡膠墊圈 電纜入口密封（IP6X） 4）檢測標(biāo)準(zhǔn)： 粒子計(jì)數(shù)（≥0.5μm＜100顆/m3） 表面殘留＜5μg/cm2

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