立式爐設(shè)備能否實(shí)現(xiàn)真空環(huán)境與氣氛環(huán)境的快速切換？

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廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-06-01

可選配真空模塊，通過蝶閥切換真空系統(tǒng)與氣體管路，從常壓到 10Pa 真空環(huán)境的切換時間≤8 分鐘。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的立式爐支持 “真空 - 氣氛” 復(fù)合工藝，如先抽真空排除揮發(fā)物再通入氮?dú)夤袒?

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簡介：廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司主營真空固晶回流焊、熱風(fēng)氮?dú)夂附釉O(shè)備及無氧銀漿烤箱等設(shè)備。

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