5.1.3主體結構要具備同建筑處理及其室內裝備和裝修水平相適應的等級水平。若室內裝備與裝修水平高,而主體結構為臨時的,就會形成嚴重的浪費。本條規定著重于使潔凈廠房在耐久性、裝修與裝備水平、耐火能力等幾...
6.3.1管道安裝前應進行以下準備工作:1配管下料時應采用“等離子切割”或**切割鋸、割管刀等工具,不應采用氧-乙炔焰切割,不得涂抹油脂或潤滑劑。2管道切口應與管軸線垂直,切口表面應平整、無裂紋,應去...
二無塵車間凈化工程用途無塵車間的潔凈度通常遭到氣流的影響,換言之,即人、機器隔間、建筑結構等所發作的塵土之移動、分散遭到氣流的分配。簡單些說,就是通過凈化體統將室外臟的空氣與室內干凈的空氣隔離開,從而...
5.2.2人員進出、材料出入、產品運送及設備、工具搬運的頻繁交錯,不但會彼此干擾、易發生混雜、降低生產效率,并可能會使潔凈室(區)的空氣潔凈度受到影響和氣流受到破壞。因此,在工藝布局時,應充分考慮人員...
D.3.10自凈時間檢測,應符合下列規定:1自凈時間的檢測,宜用于非單向流潔凈室。2自凈時間的檢測,宜采用大氣塵或煙霧發生器等人工塵源為基準,并宜以粒子計數器進行檢測,同時應符合下列要求.1)以大氣塵...
9.1.1電子產品生產用純水系統的選擇,應根據原水水質和產品生產工藝對水質的要求,并結合系統規模、材料及設備供應等情況,經技術經濟比較確定。9.1.2純水的輸送干管應敷設在技術夾層或技術夾道內;潔凈室...
12.4.2消防應急照明燈(以下簡稱照明燈)的安裝應符合下列規定:1當照明燈安裝在墻上時,照明燈光線不應正面迎向人員疏散方向。2照明燈不得安裝在地面上,或1m~2.2m之間的側面墻上。照明燈宜采用嵌入...
5.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局應具有適當的靈活性。主體結構宜采用大空間及大跨度柱網,不宜采用內墻承重體系。5.1.2潔凈廠房圍護結構的材料選型應符合保溫、隔熱、防火、防潮、少產塵等要求。5.1...
12.2.1排煙管道的安裝試驗應符合本規范第5章的有關規定。12.2.2排煙管道的隔熱層應采用厚度不小于40mm的不燃絕熱材料。12.2.3磚、混凝土風道的制作應保證管道的氣密性,灰縫應飽滿,內表面水...
1一級防靜電工作區的地面、墻面和柱面應采用導靜電型。導靜電型地面、墻面、柱面的表面電阻、對地電阻應為2.5X10?~1X10°2,摩擦起電電壓不應大于100V,靜電半衰期不應大于0.1s;2二級防靜電...
D.3.2靜壓差測試,應符合下列規定:1靜壓差的測定應在所有的門關閉時進行。2儀器宜采用各種型式的微壓計,儀表靈敏度應小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個潔凈室(區)時,應從極里面的房間與相鄰房間的壓差測...
抽樣高效過濾器本體在進入現場前,生產廠家應按規定進行性能試驗,并提供合格證。在單向流潔凈室對安裝的高效空氣過濾器應該逐臺進行檢漏,亂流潔凈室對于7級或更低級別的潔凈室,只要潔凈室達到了所要求的空氣潔凈...
12.4.1潔凈廠房的自動控制系統宜采用集散式網絡結構,并應具有穩定、可靠、節能、開放和可擴展性。12.4.2潔凈廠房應對凈化空調、供熱、供冷、純水和氣體供應等系統進行自動監控。12.4.3潔凈室(區...
7.4.2風機過濾器機組的設置應符合下列要求:1應根據空氣潔凈度等級和送風量選用;2應按潔凈室(區)內生產工藝對氣流流型的要求布置,3終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產工藝和本規范的規定;4送風量應能...
6.3.1潔凈廠房的建筑圍護結構和室內裝修,應選用氣密性良好,且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產品品質有影響物質的材料。裝修材料的燃燒性能應符合現行國家標...
5.5.6在回、排風口上安有高效過濾器的潔凈室及生物安全柜等裝備,在安裝前應用現場檢漏裝置對高效過濾器掃描檢漏,并應確認無漏后安裝。回、排風口安裝后,對非零泄漏邊框密封結構,應再對其邊框掃描檢漏,并應...
5.1.1隨著科學技術的發展,電子產品的更新換代、產品生產技術的發展十分迅速,以集成電路為**的微電子產品尤為***,集成電路產品基本上是2~3年或更短的時間就會提升一代產品;以TFT-LCD為**的...
空氣由空調箱經風管與超凈間內之空氣過濾器(HEPA)進入超凈間,并由超凈間兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于超凈間等級1,000-100,000級。優...
15.5.1施工材料在運輸、儲存和施工過程中,應采取包裹、覆蓋、密閉、圍擋等措施,防止污染環境。15.5.2施工過程中應做到當天施工當天清理現場,并有專人負責的制度。在完成了高效過濾器安裝、地面墻面的...
9.1.1電子產品生產用純水系統的選擇,應根據原水水質和產品生產工藝對水質的要求,并結合系統規模、材料及設備供應等情況,經技術經濟比較確定。9.1.2純水的輸送干管應敷設在技術夾層或技術夾道內;潔凈室...
無塵車間工程是指按照客戶的要求,提供對微粒、有害空氣、細菌等污染物的有效控制,溫度、濕度、噪聲、照度、潔凈度、室內壓差、氣流速度與氣流分布、振動、靜電等各項指標均滿足安全生產需求的潔凈受控空間。無塵車...
9.2.1純水系統的設備配置除應滿足所需水量和水質的要求外,還應滿足運行靈活、安全可靠、便于操作管理、運行費用低等要求。9.2.2純水的制備、儲存和輸送設備,應符合電子產品生產工藝的要求,并應符合下列...
4.3.3潔凈室(區)內應少分隔,但下列情況應予分隔:1按火災危險性分類,甲、乙類的房間與相鄰的生產區段或房間之間,或有防火分隔要求時,應設隔墻;2在電子產品生產過程中,經常不同時使用的兩個生產區段或...
11.4.1生物安全柜內如有氣管和水管,應同時安裝完畢。11.4.2當多臺生物安全柜的排風支管與豎井內封閉的排風立管相連接時,支管應采用防回流裝置,并應從立管入口后向上伸人**少0.6m。11.4.3...
12.3.1防火卷簾安裝應符合下列規定:1防火卷簾洞口上端至頂棚之間應采用防火墻、不燃或難燃材料封堵。當采用不燃或難燃材料封堵時,其耐火極限應不低于防火卷簾的耐火極限。如防火卷簾采用水幕保護,其封堵材...
10.1.1潔凈廠房內應根據生產的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣,其氣體品質應滿足生產工藝要求。10.1.2常用氣體的供氣方式和供氣系統,應根據氣體用量、氣體品質和當地的供氣狀...
3.1.1電子工業潔凈廠房生產環境的設計應根據生產工藝的要求控制微粒和對產品質量有害的雜質,同時還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數要求。3.1.2生產環境設計應根據產品品種及生...
9.2.1純水系統的設備配置除應滿足所需水量和水質的要求外,還應滿足運行靈活、安全可靠、便于操作管理、運行費用低等要求。9.2.2純水的制備、儲存和輸送設備,應符合電子產品生產工藝的要求,并應符合下列...
B.3.3.3.2離散粒子計數器(DPC)測量使用離散粒子計數器測量大粒子的方法與B.1中的空氣懸浮粒子計數方法基本相同,不同點只有一處,由于只需要大粒子的計數數據,因此對1μm以下粒子的儀器靈敏度無...
7.2.1潔凈廠房內的生產工藝一般為超精細加工或要求無菌無塵,對給水系統要求較為嚴格,如大規模集成電路的超純水、醫藥工業的無菌水等。而且有的水系統的造價高、管理要求嚴格,因此應根據不同的要求設置系統(...