10.1.1潔凈廠房內(nèi)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣,其氣體品質(zhì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求。10.1.2常用氣體的供氣方式和供氣系統(tǒng),應(yīng)根據(jù)氣體用量、氣體品質(zhì)和當?shù)氐墓鉅?..
4.1.1潔凈廠房位置的選擇,應(yīng)根據(jù)下列要求的經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定:1應(yīng)布置在大氣含塵和有害氣體或化學污染物濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域;2應(yīng)遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體...
每臺風機出風面至少1點平均風速范圍:m/s±20%額定風量測定用風量罩測試送風量風量罩的上開口應(yīng)完全罩住過濾器或散流器C.產(chǎn)生氣溶膠位置:回風口,風機進風口或發(fā)煙孔氣溶膠發(fā)生器與高效過濾器之間沒有濾器...
B.2.1.2計數(shù)效率測量U描述符所用體系的計數(shù)效率應(yīng)落在圖B.1的陰影之內(nèi)[1]。該陰影區(qū)為性能達標區(qū),其中心對應(yīng)的選定粒徑超微粒子的計數(shù)效率為50%,粒徑示為U。超微粒徑U的允差為土10%,見圖B...
潔凈廠房中生產(chǎn)區(qū)、輔助區(qū)和各類生產(chǎn)設(shè)備的布置與潔凈室(區(qū))內(nèi)的氣流流型、空氣潔凈度等級的保持密切相關(guān),所以本規(guī)范規(guī)定:在潔凈室(區(qū))內(nèi)要求空氣潔凈度嚴格的工序(設(shè)備)應(yīng)遠離出人口和可能干擾氣流的場所設(shè)...
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與超凈間內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進入超凈間,并由超凈間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于超凈間等級1,000-100,000級。優(yōu)...
6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局,應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng),不應(yīng)采用內(nèi)墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面...
風量或風速、室內(nèi)靜壓差、空氣潔凈度等級、換氣次數(shù)、室內(nèi)浮游菌和沉降菌、溫度和相對濕度、平均速度、速度不均勻度、噪聲、氣流流型、自凈時間、污染泄露、照度(照明)、甲醛、細菌濃度。1、醫(yī)院潔凈手術(shù)部:風速...
1一級防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面應(yīng)采用導靜電型。導靜電型地面、墻面、柱面的表面電阻、對地電阻應(yīng)為2.5X10?~1X10°2,摩擦起電電壓不應(yīng)大于100V,靜電半衰期不應(yīng)大于0.1s;2二級防靜電...
對單向流如5級凈化房間內(nèi)及層流工作臺測試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運行不少于10分鐘后開始;對非單向流如7級、8級以上的凈化房間測試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運行不少于30分鐘開始。a.采樣方法:將已制備好的培養(yǎng)...
凈化工程行業(yè)是服務(wù)于高科技、國計民生的常青產(chǎn)業(yè),頂端科技的發(fā)展與居民日常生活質(zhì)量的提升無不有賴于凈化技術(shù)發(fā)展作為其幕后的支持。近年來,隨著人們生活水平的逐步提高,無塵車間相關(guān)技術(shù)也從服務(wù)技術(shù)與產(chǎn)業(yè)**...
5.5.2當設(shè)備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))時,宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室(區(qū))內(nèi)的設(shè)備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當所選設(shè)備超過潔凈室噪聲容許值時,應(yīng)采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區(qū)...
B.1自凈檢測是測定潔凈室設(shè)施***空氣懸浮粒子的能力。潔凈室污染潔凈度的恢復性能是設(shè)施**重要的能力之一。自凈檢測*對非單向流系統(tǒng)重要并推薦采用,因為自凈性能與受控區(qū)內(nèi)循環(huán)空氣比例(換氣次數(shù))、送風...
B.4.2.2送風風速風速測點距過濾器出風面約150mm~300mm。測點數(shù)量應(yīng)足以測定潔凈室和潔凈區(qū)的送風量,測點數(shù)量取測量面積(以平方米計)10倍的平方根,且不少于4個測點。每只過濾器或每臺風機-...
7.1.1潔凈廠房內(nèi)各潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級,應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點和潔凈室型式確定。7.1.2氣流流型應(yīng)根據(jù)各潔凈室(區(qū))空氣潔凈度等級和電子產(chǎn)品工藝特點的不同要求選用。7.1.3有下列情...
潔凈廠房中生產(chǎn)區(qū)、輔助區(qū)和各類生產(chǎn)設(shè)備的布置與潔凈室(區(qū))內(nèi)的氣流流型、空氣潔凈度等級的保持密切相關(guān),所以本規(guī)范規(guī)定:在潔凈室(區(qū))內(nèi)要求空氣潔凈度嚴格的工序(設(shè)備)應(yīng)遠離出人口和可能干擾氣流的場所設(shè)...
1凈鞋的目的在于保護人員凈化用室入口處不致受到嚴重污染。國內(nèi)多數(shù)潔凈廠房人員入口處設(shè)有擦鞋、水洗凈鞋、粘鞋墊、換鞋、套鞋等凈鞋措施。為了保護人員凈化用室的清潔,**徹底的辦法是在更衣前將外出鞋脫去,換...
1近年來,在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序)用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設(shè)計中,基本上采用多層的布置方式,在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風靜壓箱,潔凈空氣通過FFU向潔...
B.1.2.2空氣懸浮粒子計數(shù)規(guī)程將離散粒子計數(shù)器的采樣探頭放在預定位置,設(shè)定計數(shù)器的流量,選擇符合GB/T25915.1-2010規(guī)定的粒徑閾值。在單向流區(qū)域,所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動力采樣[1]...
1凈鞋的目的在于保護人員凈化用室入口處不致受到嚴重污染。國內(nèi)多數(shù)潔凈廠房人員入口處設(shè)有擦鞋、水洗凈鞋、粘鞋墊、換鞋、套鞋等凈鞋措施。為了保護人員凈化用室的清潔,**徹底的辦法是在更衣前將外出鞋脫去,換...
7.4.2風機過濾器機組的設(shè)置應(yīng)符合下列要求:1應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級和送風量選用;2應(yīng)按潔凈室(區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對氣流流型的要求布置,3終阻力時的疊加噪聲及振動應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定;4送風量應(yīng)能...
E.1.1風量風速檢測必須首先進行,凈化空調(diào)各項效果必須是在設(shè)計的風量風速條件下獲得。E.1.2風量檢測前必須檢查風機運行是否正常,系統(tǒng)中各部件安裝是否正確,有無障礙,所有閥門應(yīng)固定在一定的開啟位置上...
C.3已裝過濾系統(tǒng)氣溶膠光度計掃描檢漏規(guī)程C.3.1進行已裝過濾系統(tǒng)掃描檢漏前,應(yīng)已完成風速合格性檢測。C.3.2過濾器上風向氣溶膠適當粒徑范圍[質(zhì)量中值粒徑(MMD)一般為0.5μm~0.7μm,幾...
15.1.1承擔潔凈室施工的單位應(yīng)按本規(guī)范的相關(guān)規(guī)定,建立質(zhì)量管理體系。15.1.2潔凈室的各級施工人員應(yīng)有必要的潔凈室施工經(jīng)歷,明確的分工和職責。15.1.3特殊工種作業(yè)人員應(yīng)持證上崗。15.1.4...
4.1.1潔凈廠房位置選擇應(yīng)符合下列規(guī)定,并經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟方案比較后確定:1應(yīng)在大氣含塵和有害氣體濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域。2應(yīng)遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉、...
5.1.3主體結(jié)構(gòu)要具備同建筑處理及其室內(nèi)裝備和裝修水平相適應(yīng)的等級水平。若室內(nèi)裝備與裝修水平高,而主體結(jié)構(gòu)為臨時的,就會形成嚴重的浪費。本條規(guī)定著重于使?jié)崈魪S房在耐久性、裝修與裝備水平、耐火能力等幾...
6.1.5設(shè)有上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構(gòu)造,應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、自動化運輸和公用動力設(shè)施安裝和維修的要求。6.1.6設(shè)有技術(shù)夾層、技術(shù)夾道的潔凈廠房,技術(shù)夾層、技術(shù)夾道的...
D.3.10自凈時間檢測,應(yīng)符合下列規(guī)定:1自凈時間的檢測,宜用于非單向流潔凈室。2自凈時間的檢測,宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準,并宜以粒子計數(shù)器進行檢測,同時應(yīng)符合下列要求.1)以大氣塵...
6.3.1管道安裝前應(yīng)進行以下準備工作:1配管下料時應(yīng)采用“等離子切割”或**切割鋸、割管刀等工具,不應(yīng)采用氧-乙炔焰切割,不得涂抹油脂或潤滑劑。2管道切口應(yīng)與管軸線垂直,切口表面應(yīng)平整、無裂紋,應(yīng)去...
8.2.1潔凈廠房內(nèi)的給水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各種用途(包括工藝冷卻水)對水質(zhì)、水溫、水壓、水量的要求確定,宜按生產(chǎn)、生活、消防分別設(shè)置的給水系統(tǒng)。8.2.2當設(shè)有危險化學品儲存和分配室時,應(yīng)根據(jù)化學品的物理化...