14.2.1潔凈廠房的平面、空間布置時,應(yīng)根據(jù)噪聲控制要求布置,宜集的的中布置發(fā)聲設(shè)備。14.2.2潔凈室(區(qū))內(nèi)的各種設(shè)備均應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對于輻射噪聲值超過規(guī)定的設(shè)備,應(yīng)根據(jù)設(shè)備的特性、外形尺寸...
潔凈室是空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等要求進(jìn)行控制。潔凈區(qū)是空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘...
5.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局應(yīng)具有適當(dāng)?shù)撵`活性。主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng),不宜采用內(nèi)墻承重體系。5.1.2潔凈廠房圍護(hù)結(jié)構(gòu)的材料選型應(yīng)符合保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵等要求。5.1...
潔凈室的檢測狀態(tài)可分為三類(1)空態(tài)設(shè)施齊全的潔凈室所有管線接通并運(yùn)行但無生產(chǎn)設(shè)備、材料及生產(chǎn)人員。(2)靜態(tài)已全部建成的設(shè)施齊備的潔凈室中安裝完生產(chǎn)設(shè)備并按業(yè)主供應(yīng)商商定的方式試遠(yuǎn)轉(zhuǎn),但場內(nèi)無生產(chǎn)人...
4、懸浮粒子-微粒計數(shù)農(nóng)度A、室內(nèi)測試人員必須穿潔凈服,不得超過2人,應(yīng)位于測試點下風(fēng)側(cè)并遠(yuǎn)離測試點,并應(yīng)保持靜止。進(jìn)行換點操作時動作要輕,應(yīng)減少人員對室內(nèi)潔凈度的干擾。B、設(shè)備要在校準(zhǔn)期內(nèi)使用。C、...
人們認(rèn)為這種單向、平行的氣流應(yīng)該充滿整個潔凈室,但這在技術(shù)和經(jīng)濟(jì)上都是不利的。隨著知識的發(fā)展,人們指出這種單向流動只是“意味著所有的空氣在有限的區(qū)域內(nèi)沿著平行的流線勻速流動”,相信渦流的發(fā)生可以被盡可...
6.2.1潔凈室(區(qū))與周圍的空間必須維持一定的壓差,并應(yīng)按工藝要求決定維持正壓差或負(fù)壓差。6.2.2不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa,潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa,潔凈區(qū)與室外的...
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)...
2、溫濕度潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測定,通常分為兩個檔次:一般測試和綜合測試。***個檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗收測試,第二個檔次適用于靜態(tài)或動態(tài)的綜合性能測試。這類測試適用于對溫度、濕度性能要求比較...
D.3.2靜壓差測試,應(yīng)符合下列規(guī)定:1靜壓差的測定應(yīng)在所有的門關(guān)閉時進(jìn)行。2儀器宜采用各種型式的微壓計,儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個潔凈室(區(qū))時,應(yīng)從**里面的房間與相鄰房間的壓差...
在單向流潔凈室內(nèi),干凈氣流不是一股或幾股,而是充滿全室斷面,所以這種潔凈室不是靠潔凈氣流對室內(nèi)臟空氣的摻混稀釋作用,而是靠潔凈氣流推出作用將室內(nèi)臟空氣沿整個斷面排至室外,達(dá)到凈化室內(nèi)空氣的目的。所以,...
B.4.3.2送風(fēng)口處測量的送風(fēng)量為了排除送風(fēng)口局部氣流的擾動和氣流噴射的影響,建議采用風(fēng)罩測量末端過濾器或送風(fēng)散流器的總送風(fēng)量。可使用配有流量計的風(fēng)量罩直接測量,也可用風(fēng)罩出風(fēng)的風(fēng)速乘以有效面積求出...