14.2.1潔凈廠房的平面、空間布置時,應根據噪聲控制要求布置,宜集的的中布置發聲設備。14.2.2潔凈室(區)內的各種設備均應選用低噪聲產品。對于輻射噪聲值超過規定的設備,應根據設備的特性、外形尺寸等因素,采取降低聲源噪聲的隔聲設施。潔凈室的圍護結構應具有良好的隔聲性能。14.2.3凈化空調系統、公用動力設備和輸送管道等潔凈廠房的主要噪聲源,應采取隔聲、消聲、隔振等噪聲控制措施。空調機房、動力站房宜采取下列措施。對于不安裝過濾器的風口可按綜合效能普通通風空調風口風量測試的方法進行。北京消毒液凈化車間環境檢測方便客戶
B.1.2.2空氣懸浮粒子計數規程將離散粒子計數器的采樣探頭放在預定位置,設定計數器的流量,選擇符合GB/T25915.1-2010規定的粒徑閾值。在單向流區域,所選擇的采樣探頭應接近等動力采樣[1],進入采樣探頭的風速與被采空氣的風速偏差不應超過20%。若無法做到這一點,將采樣口正對氣流的主方向。在風速不受控或不可預測(例如非單向流)的采樣點,采樣口應豎直向上。采樣口至粒子計數器傳感器的連接管應盡量短。采樣粒子大于或等于1μm時,連接管的長度和直徑不應超過制造商的建議值。采樣過程中,因擴散造成的小粒子損失、因沉降與撞擊造成的大粒子損失所產生的采樣誤差不應大于5%。遼寧實驗室檢測方便客戶壓差檢測有助于確認潔凈室與非潔凈區之間的隔離效果。
6.2.1潔凈室(區)與周圍的空間必須維持一定的壓差,并應按工藝要求決定維持正壓差或負壓差。6.2.2不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa,潔凈區與非潔凈區之間的壓差不應小于5Pa,潔凈區與室外的壓差不應小于10Pa。6.2.3潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風量,根據潔凈室特點,宜采用縫隙法或換氣次數法確定。6.2.4送風、回風和排風系統的啟閉宜聯鎖。正壓潔凈室聯鎖程序應先啟動送風機,再啟動回風機和排風機;關閉時聯鎖程序應相反。負壓潔凈室聯鎖程序應與上述正壓潔凈室相反。6.2.5非連續運行的潔凈室,可根據生產工藝要求設置值班送風,并應進行凈化空調處理。
潔凈室的主要作用是控制產品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產品能夠在良好的環境空間中生產制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數量來規定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點灰塵,而是控制在極少量的單位。當然,這個標準中符合粉塵標準的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學結構來說,哪怕是一點點的粉塵也會產生非常大的負面影響。合格的第三方潔凈室檢測機構普遍要求要有具體的潔凈相關檢測。
在單向流潔凈室內,干凈氣流不是一股或幾股,而是充滿全室斷面,所以這種潔凈室不是靠潔凈氣流對室內臟空氣的摻混稀釋作用,而是靠潔凈氣流推出作用將室內臟空氣沿整個斷面排至室外,達到凈化室內空氣的目的。所以,前聯邦德國有人稱單向流潔凈室的氣流為“活塞流”、“平推流”前蘇聯稱之為“被擠壓的弱空氣射流”。干凈空氣就好比一個空氣活塞,沿著房間這個“氣缸”,向前(下)推進,而使塵粒只能前(下)進,沒有返回,把原有的含塵濃度高的空氣擠壓出房間。使用激光塵埃粒子計數器可以精確測量空氣中的微粒濃度。北京排風柜檢測值得推薦
潔凈室的發展與現代工業、現代技術密切聯系在一起。北京消毒液凈化車間環境檢測方便客戶
(1)凈化處理原則:能用局部凈化的場合,就盡可能不用凈化;或低級別的凈化高級別的局部凈化相結合。避免把需要凈化的環境分割成較小的空間,這樣做雖然有利于控制污染,但這也造成平面復雜化、增加造價、作業程序不易改變、人員流動不方便,以及小房間造成人們心理上的不快。(2)由于氣流分布的不均勻和塵粒分布等不均勻性,潔凈室的微粒實際上是不均勻分布的,較為典型的三區不均勻分布模型,即分為主流區、渦流區和回風口區。主流區含區含塵濃度可比室平均濃度低30%到一半。建議把工藝布置在主流區內。(3)主要工藝可盡量布置于送風管上風段,上風段相對來說,潔凈程度比下風段要好表2為某10萬級潔凈車間內沿一條送風管走向設置的六個測點檢測結果(空態下),測點l~6由上風段依次向下,可以看出,各點塵粒數有較大區別當然,其中也有送風管上各送風口風量沒有較好調節的原因,但這種較大區別的可能還是不可忽視。北京消毒液凈化車間環境檢測方便客戶