光刻膠的去除在IC制造工藝流程中占非常重要的地位，其成本約占IC制造工藝的20-30%，光刻膠去膠效果太弱影響生產效率，去膠效果太強容易造成基底損傷，影響整個產品的成品率。傳統主流去膠方法采用濕法去膠，成本低效率高，但隨著技術不斷選代更新，越來越多IC制造商開始采用干法式去膠，干法式去膠工藝不同于傳統的濕法式去膠工藝，它不需要浸泡化學溶劑，也不用烘干，去膠過程更容易控制，避免過多算上基底，提高產品成品率。干法式去膠又被稱為等離子去膠，其原理同等離子清洗類似，主要通過氧原子核和光刻膠在等離子體環境中發生反應來去除光刻膠，由于光刻膠的基本成分是碳氫有機物，在射頻或微波作用下，氧氣電離成氧原子并與光刻膠發生化學反應，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，再通過泵被真空抽走，完成光刻膠的去除。等離子物理去膠過程:主要是物理作用對清洗物件進行轟擊達到去膠的目的，主要的氣體為氧氣、氬氣等，通過射頻產生氧離子，轟擊清洗物件，以獲得表面光滑的較大化，并且結果是親水性增大。常溫等離子表面處理機能夠用于材料的表面清洗、活化、改性等工藝中，處理金屬、陶瓷、塑料等類型的材料。浙江大氣等離子清洗機產品介紹

等離子清洗機利用高能粒子與有機材料表層產生的物理學或化學變化，以解決活性、蝕刻工藝、除污等原材料表層問題。當待清洗的物體放置在等離子體發生器的工作區域內時，這些高能粒子和自由基等活性物質會與物體表面的污垢發生反應。這些反應可能包括電離、激發、解離等，從而產生大量的化學物質。這些化學物質可能包括氧化性物質如O2、O3、NOx等，還原性物質如H2、NH3等，以及其他活性物質如CO、CO2等。這些活性物質與物體表面的污垢發生反應，將其分解成較小的分子或原子，并將其從物體表面解離。同時，等離子體的高速氣流也有助于將污染物從表面沖刷掉，實現徹底清洗的目的。浙江晶圓等離子清洗機有哪些在操作等離子體清洗機時，要注意安全，遵守操作規程，防止氣體泄漏和電擊等危險。

汽車外飾件由各種材料組成:從定制的金屬坯件到SMC復合材料和玻璃纖維增強塑料(GFRP)再到復合塑料。這些原材料具有極為不同的表面性質。利用等離子體預處理可以取得穩定的材料結合和具有牢固粘接力的高質量面層。具體應用如下：在對由 PP/EPDM 復合物制成的保險杠進行噴漆之前的表面活化；對由 SMC 制成的翼子板進行等離子表面處理；嵌裝玻璃之前對陶瓷涂層進行等離子體超精細清洗；對鋁制框架進行等離子體超精細清洗以便對玻璃天窗進行防水粘接。

在材料科學領域，聚丙烯（PP）是一種普遍使用的工程塑料，提升其性能一直是研究的重點。由于PP具有優異的物理和機械特性以及良好的加工性能，因此在包裝、汽車、家電等多個行業得到了廣泛應用。然而，PP的表面能較低，使其在粘附、潤濕和涂覆性能方面表現不佳，限制了其應用領域。為了解決這一問題研究人員采用了等離子清洗機明顯提升了PP材料的活性。等離子清洗機增強PP材料聚丙烯材料的活性特性主要通過以下幾個關鍵途徑：改變表面結構：等離子體中的高能粒子轟擊PP材料表面，使其表面微觀結構發生變化，增加表面粗糙度和比表面積，有利于后續的加工處理中與其他物質更好地結合，例如在粘接工藝中，粗糙表面能提供更多的機械嵌合位點，增強粘接強度。例如，表面粗糙度可能從原來的微觀平滑狀態提升數倍甚至更高，具體數值因處理條件而異。等離子體表面處理機也叫等離子清洗機、等離子表面處理機、plasma清洗機。

等離子清洗機，作為現面處理技術中的佼佼者，其基本原理基于等離子體物理學。等離子體，作為物質的第四態，由高度電離的氣體組成，其中包含了大量的電子、離子、自由基及中性粒子等活性成分。在等離子清洗機中，通過特定的放電方式（如射頻放電、微波放電或直流放電等），將工作氣體（如氬氣、氧氣、氮氣或混合氣體）激發成等離子體狀態。這些高能活性粒子在電場作用下，加速撞擊待處理物體的表面，與表面污染物發生物理化學反應，如剝離、氧化、還原、刻蝕等，從而實現表面清潔與改性的目的。等離子清洗機因其非接觸式、無化學殘留、環境友好、清洗效果明顯且可處理復雜形狀工件等優點，被廣泛應用于半導體制造、精密機械、航空航天、生物醫藥等多個領域，成為現代工業中不可或缺的表面處理設備。等離子體處理可以解決TPE噴漆附著困難的問題。江蘇在線式等離子清洗機廠商

等離子清洗是一種環保工藝，由于采用電能催化反應，同時利用低溫等離子體的特性。浙江大氣等離子清洗機產品介紹

等離子清洗機在IC封裝中的應用：塑封固化前:IC封裝的注環氧樹脂過程中，污染物的存在還會導致氣泡的形成，氣泡會使芯片容易在溫度變化中損壞，降低芯片的使用壽命。所以，避免塑封過程中形成氣泡同樣是需解決的問題。芯片與基板在等離子清洗后會更加緊密地和膠體相結合，氣泡的形成將減少，同時也可以顯著提高元件的特性，引線鍵合前:芯片在引線框架基板上粘貼后，要經過高溫固化，如果這時上面存在污染物，這些氧化物會使引線與芯片及基板之間焊接效果不完全或黏附性差，影響鍵合強度。等離子清洗運用在引線鍵合前，會顯著提高其表面活性，從而提高鍵合強度及鍵合引線的拉力均勻性。在IC封裝工藝過程中，芯片表面的氧化物及顆粒污染物會降低產品質量，如果在封裝工藝過程中的裝片前引線鍵合前及塑封固化前進行等離子清洗，則可有效去除這些污染物。浙江大氣等離子清洗機產品介紹