（1）亂流潔凈室a.對于不安裝過濾器的風口可按綜合效能普通通風空調風口風量測試的方法進行。b.對于安有過濾器的風口，根據風口形式可選用輔助風管，即用硬質板材做成與風口內截面相同、長度等于2倍風口邊長的直管段連接于過濾器風口外部在輔助風管出口平面上，按**少測點數不少于6點均勻布置測點，用熱球風速儀測定各點風速，以風口截面平均風速乘以風口凈截面積確定風量。c.對于安有同類擴散板的風口，可以根據擴散板的風量阻力曲線和實測擴散板阻力，查出風量測定時用微壓計和畢托管或用細橡管代替畢托管，但都必須使測孔平面與氣流方向垂直使測值正確反映靜壓值。蔚亞科技第三方檢測專業可行，性價比佳。山東電子廠房環境檢測服務至上

潔凈室、潔凈區的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣，以排替、稀釋室內產生的顆粒污染物來實現的。為此，測定潔凈室或潔凈設施的送風量、平均風速、送風均勻性、氣流流向及流型等項目十分必要。單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內、區內的污染空氣以維持室內、區內的潔凈度。因此，其送風斷面風速及均勻性是影響潔凈度的重要參數。較高的、較均勻的斷面風速能更快、更有效地排除室內工藝過程產生的污染物，因此它們是主要關注的檢測項目。非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內、區內的污染物以維持其潔凈度。因此，換氣次數越大，氣流流型合理，稀釋效果越***，潔凈度也相應提高。所以非單相流潔凈室、潔凈區的送風量及相應的換氣次數，是主要關注的氣流測試項目。為了獲得可重復的讀數，記錄各測點風速的時間平均值。換氣次數：根據潔凈室總風量除以法凈室的容積求得排風柜檢測服務至上凡有試運轉要求的設備單機試運轉應符合設備技術文件的有關規定。

對于風口上風側有較長的支管段，且已經或可以打孔時，可以用風管法確定風量，測定斷面距局部阻力部件距離在局部阻力部件后不少于5倍管徑或5倍大邊長度。對于矩形風管，將測定截面分成若干個相等的小截面，每個小截面盡可能接近正方形邊長，比較好不大于200mm測點，設于小截面中心，但整個截面上的測點數不宜少于3個。對于圓形風管，應該按等面積圓環法劃分測定截面和確定測點數。具體可按綜合效能普通通風空調風管法測量風量的方法進行。

（二）潔凈室制造竣工驗收的調試工作1、凡有試運轉要求的設備單機試運轉應符合設備技術文件的有關規定。屬于機械設備的共性要求還應符合國家相關規定和機械設備施工安裝方面的有關行業標準。通常潔凈室需進行單機試運轉的設備有空調機組、送風增壓風機箱、排風設備、凈化工作臺、靜電自凈器、潔凈干燥箱、潔凈儲物柜等局部凈化設備以及空氣吹淋室、余壓閥、真空吸塵清掃設備等。2、在單機試運轉合格后需對送風系統、回風系統、排風系統的風量、風壓調節裝置進行設定與調整使各系統的風量分配達到設計要求。這個階段檢測的目的主要是服務于空調凈化系統的調節與平衡往往需要反復進行多次。此項檢測主要由承包商負責建設方的維護管理人員宜于跟進以便熟悉系統。在此基礎上再進行包括冷、熱源在內的系統聯合試運轉時間一般不少于8h。要求系統中各項設備部件包括凈化空調系統、自動調節裝置等的聯動運轉與協調過程中應動作正確無異?，F象。使用激光塵埃粒子計數器可以精確測量空氣中的微粒濃度。

潔凈室的主要作用是控制產品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產品能夠在良好的環境空間中生產制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化等級主要是根據空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數量來規定的。也就是說，所謂的無塵，并不是100%沒有一點灰塵，而是控制在極少量的單位。當然，這個標準中符合粉塵標準的顆粒物，相對于我們常見的粉塵來說是非常小的，但是對于光學結構來說，哪怕是一點點的粉塵也會產生非常大的負面影響潔凈室檢測中發現的改進機會應納入持續改進計劃中。山東口罩生產車間環境檢測服務至上

潔凈室檢測不僅是當前生產的需要，也是對未來產品質量的投資。山東電子廠房環境檢測服務至上

    1.適用范圍此程序適用于高效過濾器完整性測試(俗稱高效過濾器檢漏)。2.高效過濾器檢漏原理通過氣溶膠光度計測定上下游粒子的濃度，得出泄漏率的大小。3.儀器設備氣溶膠發生器氣溶膠光度計供氣軟管耗材:PAO(EMERY3004)高效過濾器檢漏價格?高效過濾器檢漏按照高效過濾器數量進行收費，過濾器分為液槽式過濾器和隔板式過濾器，一般檢測時采用冷發收費較貴而采用熱發收費較為優惠，具體報價請聯系旦霆科技銷售顧問。高效過濾器檢漏周期?高效過濾器檢漏周期一般按照GB規定每1年進行高效過濾器檢漏一次4.高效過濾器完整性測試方法/高效過濾器檢漏方法/高效過濾器DOP檢漏方法操作步驟預檢查①對于非層流區域-關閉HVAC的風機。-拆除中效過濾器。-將氣溶膠發生器放置于機組的負壓段。②對于層流單元-發煙位置靠近回風口，風機進風口或專門的氣溶膠發煙口。-找到高效過濾器前的測試軟管或測試孔，如果沒有測試孔，可在空調機組的壓力表處測試上游濃度。-將光度計內部參數調節至100。高效過濾器完整性測試(高效檢漏)-掃描HEPA的表面及其邊框。-對球型結構，直接將高效過濾器的軟管或洞與光度計下游通道相連。高效過濾器完整性測試(高效檢漏)測試程序-接通電源，溫度升至400??C。山東電子廠房環境檢測服務至上