溫濕度計測量溫濕度：電子溫濕度計因其方便、可靠、便于距離測量，在潔凈室檢測、監(jiān)測中使用。常見的有電容式和電阻式傳感器，輔以相應電學儀器，即可測定空氣的相對濕度。電阻式濕度傳感器常見的有氧化鎳金屬氧化物燒結(jié)而成的多孔狀陶瓷體，或高氯酸鋰—聚氯乙烯等高分子材料制成。它們都是利用了在不同濕空氣中，由于吸濕量變化而引起的電阻值變化原理制成的濕度傳感器。氧化鎳陶瓷濕度傳感器因其使用壽命長，工作穩(wěn)定性好，使用較普遍。電容式傳感器：電容式濕度傳感器基本上是一個電容器，在高分子薄膜上的電極是很薄的金屬微孔蒸發(fā)膜，水分子可以通過兩端的電極被高分子薄膜吸附或釋放，隨著水分子的吸附與釋放，高分子薄膜的介電系數(shù)將發(fā)生相應變化。因為介電系數(shù)隨空氣中的相對濕度變化而變化，因此，只要測定其電容值即可得到被測空氣的相對濕度。其面積、層高，溫度、濕度，潔凈度等應該該高則高，該低則低，并非越高越好。河北潔凈工作臺檢測認真負責

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說，所謂的無塵，并不是100%沒有一點灰塵，而是控制在極少量的單位。當然，這個標準中符合粉塵標準的顆粒物，相對于我們常見的粉塵來說是非常小的，但是對于光學結(jié)構(gòu)來說，哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負面影響遼寧潔凈工作臺檢測高效過濾器（HEPA）的完整性測試對于保證空氣過濾效果至關(guān)重要。

    每臺風機出風面至少1點平均風速范圍：m/s±20%額定風量測定用風量罩測試送風量風量罩的上開口應完全罩住過濾器或散流器C.產(chǎn)生氣溶膠位置：回風口，風機進風口或發(fā)煙孔氣溶膠發(fā)生器與高效過濾器之間沒有濾器或已拆除D.產(chǎn)生氣溶膠設置溫度、供氣壓力及氣溶膠數(shù)量E.光度計設置氣溶膠濃度調(diào)節(jié)F.檢漏掃描整個過濾器和安裝所有邊框和接點。采樣頭掃描速率≤5cm/s（3cm*3cm）。采樣頭掃描速率≤3cm/s（5cm*1cm）。采樣頭距離濾器表面距離≤3cm.檢漏掃描所有結(jié)構(gòu)部件：a)支架和建筑物之間b)支架和濾器邊框之間c)整個濾器d)密封條、框架及支架之間e)采樣頭掃描速率≤5cm/s（3cm*3cm）f)采樣頭掃描速率≤3cm/s（5cm*1cm）g)采樣頭距離濾器表面距離≤3cmG.高效過濾器檢漏標準泄露率≤6.高效過濾器完整性檢測標準(高效過濾器檢漏標準)ISO14644-3。

    -連接氮氣，檢查氮氣供氣壓力為50psig()。，等幾分鐘后，氣溶膠到達終端過濾器。?將掃描探頭與上游濃度測試孔相連接。?按?或?鍵，使光標停留在“上游80%濃度檢測”，按“確認”;觀察上游濃度數(shù)值，調(diào)節(jié)讀數(shù)在20-80之間，讀數(shù)穩(wěn)定后記錄下讀數(shù)。?將掃描探頭與下游濃度測試孔相連接。?調(diào)整光標至“使用內(nèi)部參考值”?按“確認”鍵，調(diào)節(jié)參數(shù)值至測定的上游濃度值。?掃描過濾器表面及邊框，距濾器表面距離約3cm。?采樣頭的往復掃描速度Sr約為15/Wp，使用3cm*3cm正方形采樣頭時，Sr=5cm/s;采用5cm*1cm的長方形采樣頭，Sr=3cm/s。(Sr為掃描速度，Wp為垂直于掃描方向的采樣頭寬度)。?將上游濃度測試管與上游濃度測試孔相連接。?按?或?鍵，使光標停留在“上游80%濃度檢測”，按“確認”;觀察上游濃度數(shù)值。上游濃度隨時間變化不應超過平均測量值的±15%。?關(guān)閉氣溶膠按鈕。?氮氣繼續(xù)通過氣溶膠發(fā)生器約30秒。?關(guān)閉N2。?關(guān)閉電源。表1高效過濾器完整性測試操作步驟局部層流/房間百級（高效檢漏）非層流潔凈室（高效檢漏）A.拆除層流罩B.額定風速確定測量點距過濾器出風面約150-300mm測試點數(shù)取測試面積10倍的平方根，且不少點。潔凈室系指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數(shù)根據(jù)需要都進行的密閉性較好的空間。

人們認為這種單向、平行的氣流應該充滿整個潔凈室，但這在技術(shù)和經(jīng)濟上都是不利的。隨著知識的發(fā)展，人們指出這種單向流動只是“意味著所有的空氣在有限的區(qū)域內(nèi)沿著平行的流線勻速流動”，相信渦流的發(fā)生可以被盡可能的抑制。盡可能。以通過整個空間的潔凈空氣的單向流動特性為主的房間也稱為單向流動潔凈室。也就是說，不需要在整個房間內(nèi)有單向平行流線、勻速、無渦流，而只需要單向平行流特性來支配房間，例如 整個工作區(qū)水平空間保證單向流動，本房間為單向流動潔凈室。前面介紹的國內(nèi)外相關(guān)標準和措施中單向流潔凈室所達到的高潔凈度是指工作區(qū)域所達到的潔凈度。因此，密集布置的流線型擴壓器頂部進料和全孔板頂部進料也被用作實現(xiàn)垂直單向流動的手段。在生產(chǎn)工藝平面區(qū)劃時盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起，把潔凈度要求高的工序設置在上風側(cè)。江西實驗室檢測技術(shù)好

潔凈室檢測中發(fā)現(xiàn)的改進機會應納入持續(xù)改進計劃中。河北潔凈工作臺檢測認真負責

潔凈室或潔凈設施溫、濕度測定，通常分為兩個檔次：一般測試和綜合測試。***個檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗收測試，第二個檔次適用于靜態(tài)或動態(tài)的綜合性能測試。這類測試適用于對溫度、濕度性能要求比較嚴格的場合。本檢測在氣流均勻性檢測之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進行。進行這項檢測時，空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運轉(zhuǎn)，各項狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個濕度控制區(qū)至少設置一個濕度傳感器，并且給傳感器充分的穩(wěn)定時間。所做測量應適合實際使用的目的，待傳感器穩(wěn)定之后才開始測量，測量時間不少于5分鐘。河北潔凈工作臺檢測認真負責