（一）潔凈室竣工驗收的外觀檢查應符合以下要求1、各種管道、自動滅火裝置及凈化空調設備空調器、風機、凈化空調機組、高效空氣過濾器和空氣吹淋室等的安裝應正確、牢固、嚴密其偏差應符合有關規定。2、高、中效空氣過濾器與支撐框架的連接及風管與設備的連接處應有可靠密封。3、各類調節裝置應嚴密、調節靈活、操作方便。4、凈化空調箱、靜壓箱、風管系統及送、回風口無灰塵。5、潔凈室的內墻面、頂棚表面和地面應光滑、平整、色澤均勻不起灰塵地板無靜電現象。6、送、回風口及各類末端裝置、各類管道、照明和動力線配管以及工藝設備等穿越潔凈室時穿越處的密封處理應嚴密可靠。7、潔凈室內各類配電盤、柜和進入潔凈室的電氣管線、管口應密封可靠。8各種刷涂、保溫工作應符合有關規定。潔凈室檢測數據應與其他質量控制數據相結合，綜合分析。浙江潔凈工作臺檢測方便客戶

（1）檢測前，被測潔凈室的運行狀態必須在正常狀態，其溫度、濕度、風量、風壓及風速必須在控制的規定值內；被測試的潔凈室（區）應已進行過消毒；同時，潔凈室的測試狀態必須符合生產工藝的要求，并在測試報告中注明其測試狀態（空態、靜態、動態）。（2）測試人員必須穿戴潔凈服，而且一般不得超過兩個人。（3）凈化空調系統正常運轉時間對單向流如5級（100級）潔凈室或層流工作臺不得少于10min；對非單向流如7級（10000級）、8級（100000級）的潔凈室不得少于30min。遼寧潔凈工作臺檢測技術好潔凈室(區)溫度應為18~26℃，相對濕度應為45%~65%。

空氣潔凈度：這是潔凈車間環境檢測的**指標，通常通過檢測空氣中的塵埃粒子數來評估。不同潔凈等級的車間對塵埃粒子的限制不同，如潔凈度等級為100級的車間對大于等于5μm的塵粒有嚴格的計數要求。微生物指標：包括浮游菌、沉降菌等微生物的數量。這些微生物可能對產品質量和工作人員健康造成影響，因此需要進行嚴格的控制和監測。溫度與濕度：潔凈車間需要保持穩定的溫度和濕度環境，以確保生產過程的順利進行和產品質量的穩定。通常，生產工藝對溫度和濕度無特殊要求時，潔凈室溫度應為18~26℃，相對濕度應為45~65%。

（1）將所有的門關閉，將測定用膠管口徑比較好在5mm以下從墻壁上的孔洞伸入室內在離壁面不遠處，垂直于氣流方向設置周圍無阻擋氣流擾動**小。（2）靜壓差的測定應從平面上**里面的房間，通常也就是潔凈度級別比較高的房間，與其緊鄰的房間之間的壓差測起依次向外測定，直至測得**靠外的潔凈室與周圍附屬環境之間、與室外環境之間的壓差。（3）對于潔凈度高于5級的單向流層流潔凈室，還應測定在門開啟狀態下離門口0.6m處的室內側工作面高度的粒子數。溫濕度控制是維持潔凈室環境穩定的重要因素之一。

潔凈室的主要作用是控制產品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產品能夠在良好的環境空間中生產制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化等級主要是根據空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數量來規定的。也就是說，所謂的無塵，并不是100%沒有一點灰塵，而是控制在極少量的單位。當然，這個標準中符合粉塵標準的顆粒物，相對于我們常見的粉塵來說是非常小的，但是對于光學結構來說，哪怕是一點點的粉塵也會產生非常大的負面影響。潔凈室檢測結果的準確性直接影響到產品質量的穩定性。江蘇實驗室檢測價格

塵埃粒子的粒徑分布分析有助于評估潔凈室的過濾效率。浙江潔凈工作臺檢測方便客戶

（三）空氣過濾器的泄露1、儀器設備及環境測量儀器塵埃粒子計數器、氣溶膠發生器。環境溫度常溫或設計溫度下。2、抽樣高效過濾器本體在進入現場前，生產廠家應按規定進行性能試驗，并提供合格證。在單向流潔凈室對安裝的高效空氣過濾器應該逐臺進行檢漏，亂流潔凈室對于7級或更低級別的潔凈室，只要潔凈室達到了所要求的空氣潔凈度級別，就可以不進行檢漏。3、技術要求檢漏的結果要符合條件：由受檢過濾器下風側測到的漏泄濃度換算成透過率，對于高效過濾器應不大于過濾器出廠合格率的2倍，對于超高效過濾器應不大于出廠合格透過率的3倍。5、操作過程及判定過濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過濾器的檢漏適用于空態或靜態的潔凈室。對于安裝于送、排風末端的高效過濾器，應用掃描法進行過濾安裝邊框和全斷面檢漏，掃描法有檢漏儀法光度計法和采樣量**小為1L/min的粒子計數器法兩種。浙江潔凈工作臺檢測方便客戶