（三）空氣過濾器的泄露1、儀器設(shè)備及環(huán)境測量儀器塵埃粒子計數(shù)器、氣溶膠發(fā)生器。環(huán)境溫度常溫或設(shè)計溫度下。2、抽樣高效過濾器本體在進入現(xiàn)場前，生產(chǎn)廠家應(yīng)按規(guī)定進行性能試驗，并提供合格證。在單向流潔凈室對安裝的高效空氣過濾器應(yīng)該逐臺進行檢漏，亂流潔凈室對于7級或更低級別的潔凈室，只要潔凈室達到了所要求的空氣潔凈度級別，就可以不進行檢漏。3、技術(shù)要求檢漏的結(jié)果要符合條件：由受檢過濾器下風側(cè)測到的漏泄?jié)舛葥Q算成透過率，對于高效過濾器應(yīng)不大于過濾器出廠合格率的2倍，對于超高效過濾器應(yīng)不大于出廠合格透過率的3倍。5、操作過程及判定過濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過濾器的檢漏適用于空態(tài)或靜態(tài)的潔凈室。對于安裝于送、排風末端的高效過濾器，應(yīng)用掃描法進行過濾安裝邊框和全斷面檢漏，掃描法有檢漏儀法光度計法和采樣量**小為1L/min的粒子計數(shù)器法兩種。潔凈室系指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數(shù)根據(jù)需要都進行的密閉性較好的空間。河北實驗室環(huán)境檢測誠信推薦

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說，所謂的無塵，并不是100%沒有一點灰塵，而是控制在極少量的單位。當然，這個標準中符合粉塵標準的顆粒物，相對于我們常見的粉塵來說是非常小的，但是對于光學結(jié)構(gòu)來說，哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負面影響。北京排風柜檢測誠信推薦潔凈室檢測不僅是當前生產(chǎn)的需要，也是對未來產(chǎn)品質(zhì)量的投資。

-連接氮氣，檢查氮氣供氣壓力為50psig()。，等幾分鐘后，氣溶膠到達終端過濾器。?將掃描探頭與上游濃度測試孔相連接。?按?或?鍵，使光標停留在“上游80%濃度檢測”，按“確認”;觀察上游濃度數(shù)值，調(diào)節(jié)讀數(shù)在20-80之間，讀數(shù)穩(wěn)定后記錄下讀數(shù)。?將掃描探頭與下游濃度測試孔相連接。?調(diào)整光標至“使用內(nèi)部參考值”?按“確認”鍵，調(diào)節(jié)參數(shù)值至測定的上游濃度值。?掃描過濾器表面及邊框，距濾器表面距離約3cm。?采樣頭的往復(fù)掃描速度Sr約為15/Wp，使用3cm*3cm正方形采樣頭時，Sr=5cm/s;采用5cm*1cm的長方形采樣頭，Sr=3cm/s。(Sr為掃描速度，Wp為垂直于掃描方向的采樣頭寬度)。?將上游濃度測試管與上游濃度測試孔相連接。?按?或?鍵，使光標停留在“上游80%濃度檢測”，按“確認”;觀察上游濃度數(shù)值。上游濃度隨時間變化不應(yīng)超過平均測量值的±15%。?關(guān)閉氣溶膠按鈕。?氮氣繼續(xù)通過氣溶膠發(fā)生器約30秒。?關(guān)閉N2。?關(guān)閉電源。表1高效過濾器完整性測試操作步驟局部層流/房間百級（高效檢漏）非層流潔凈室（高效檢漏）A.拆除層流罩B.額定風速確定測量點距過濾器出風面約150-300mm測試點數(shù)取測試面積10倍的平方根，且不少點。

5、浮游菌采樣點數(shù)目對應(yīng)懸浮粒子采樣點數(shù)，工作區(qū)測點位置離地0.8-1.2m左右，送風口測點位置離開送風面30cm左右，關(guān)鍵設(shè)備或關(guān)鍵工作活動范圍處可增加測點，每個采樣點一般采樣一次。全部采樣結(jié)束后，將培養(yǎng)皿放于恒溫培養(yǎng)箱中培養(yǎng)，時間不少于48小時，每批培養(yǎng)基應(yīng)該有對照實驗，檢驗培養(yǎng)基是否污染。6、沉降菌工作區(qū)測點位置離地0.8-1.2m左右，將已制備好的培養(yǎng)皿置于采樣點，打開培養(yǎng)皿蓋，使其暴露規(guī)定的時間，再將培養(yǎng)皿蓋上，將培養(yǎng)皿放于恒溫培養(yǎng)箱中培養(yǎng)，時間不少于48小時，每批培養(yǎng)基應(yīng)該有對照實驗，檢驗培養(yǎng)基是否污染。7、噪聲測量高度距離地面約1.2米，潔凈室面積在15平方以下者，可只測室中心1點;面積在15平方米以上，還應(yīng)再測對角4點，距側(cè)墻各1米，測點朝向各角。8、照度測點平面離地面0.8米左右，按2米間距布點，30平方米以內(nèi)的房間測點距邊墻0.5米，超過30平方米的房間測點距離墻面1米。潔凈室檢測結(jié)果的準確性直接影響到產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性。

潔凈室竣工驗收的外觀檢查應(yīng)符合以下要求1、各種管道、自動滅火裝置及凈化空調(diào)設(shè)備空調(diào)器、風機、凈化空調(diào)機組、高效空氣過濾器和空氣吹淋室等的安裝應(yīng)正確、牢固、嚴密其偏差應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定。2、高、中效空氣過濾器與支撐框架的連接及風管與設(shè)備的連接處應(yīng)有可靠密封。3、各類調(diào)節(jié)裝置應(yīng)嚴密、調(diào)節(jié)靈活、操作方便。4、凈化空調(diào)箱、靜壓箱、風管系統(tǒng)及送、回風口無灰塵。5、潔凈室的內(nèi)墻面、頂棚表面和地面應(yīng)光滑、平整、色澤均勻不起灰塵地板無靜電現(xiàn)象。6、送回風口及各類末端裝置、各類管道、照明和動力線配管以及工藝設(shè)備等穿越潔凈室時穿越處的密封處理應(yīng)嚴密可靠。7、潔凈室內(nèi)各類配電盤、柜和進入潔凈室的電氣管線、管口應(yīng)密封可靠。8各種刷涂、保溫工作應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定。檢測過程中，應(yīng)確保所有設(shè)備處于正常工作狀態(tài)。河北潔凈室檢測方便客戶

潔凈室檢測中發(fā)現(xiàn)的任何問題都應(yīng)立即記錄并跟蹤處理。河北實驗室環(huán)境檢測誠信推薦

溫濕度計測量溫濕度：電子溫濕度計因其方便、可靠、便于距離測量，在潔凈室檢測、監(jiān)測中使用。常見的有電容式和電阻式傳感器，輔以相應(yīng)電學儀器，即可測定空氣的相對濕度。電阻式濕度傳感器常見的有氧化鎳金屬氧化物燒結(jié)而成的多孔狀陶瓷體，或高氯酸鋰—聚氯乙烯等高分子材料制成。它們都是利用了在不同濕空氣中，由于吸濕量變化而引起的電阻值變化原理制成的濕度傳感器。氧化鎳陶瓷濕度傳感器因其使用壽命長，工作穩(wěn)定性好，使用較普遍。電容式傳感器：電容式濕度傳感器基本上是一個電容器，在高分子薄膜上的電極是很薄的金屬微孔蒸發(fā)膜，水分子可以通過兩端的電極被高分子薄膜吸附或釋放，隨著水分子的吸附與釋放，高分子薄膜的介電系數(shù)將發(fā)生相應(yīng)變化。因為介電系數(shù)隨空氣中的相對濕度變化而變化，因此，只要測定其電容值即可得到被測空氣的相對濕度。河北實驗室環(huán)境檢測誠信推薦