潔凈室是空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等要求進(jìn)行控制。潔凈區(qū)是空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。空間內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等要求進(jìn)行控制。潔凈區(qū)可以是開(kāi)放式或封閉式??諝鉂崈舳仁侵笣崈舡h(huán)境中空氣含塵微粒量多少的程度含塵濃度高則潔凈度低含塵濃度低則潔凈度高。空氣潔凈度的具體高低則是用空氣潔凈度級(jí)別來(lái)區(qū)分的,而這種級(jí)別又是用操作時(shí)間內(nèi)空氣的計(jì)數(shù)含塵濃度來(lái)表示,也就是把從某一個(gè)低的含塵濃度起到不超過(guò)另一個(gè)高的含塵濃度止這一個(gè)含塵濃度范圍為某一個(gè)空氣潔凈度級(jí)別。懸浮粒子是指用于空氣潔凈度分級(jí)的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.15μm的固體和液體粒子。潔凈室檢測(cè)中發(fā)現(xiàn)的任何問(wèn)題都應(yīng)立即記錄并跟蹤處理。上海潔凈室環(huán)境檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)
2、溫濕度潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測(cè)定,通常分為兩個(gè)檔次:一般測(cè)試和綜合測(cè)試。***個(gè)檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗(yàn)收測(cè)試,第二個(gè)檔次適用于靜態(tài)或動(dòng)態(tài)的綜合性能測(cè)試。這類(lèi)測(cè)試適用于對(duì)溫度、濕度性能要求比較嚴(yán)格的場(chǎng)合。本檢測(cè)在氣流均勻性檢測(cè)之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進(jìn)行。進(jìn)行這項(xiàng)檢測(cè)時(shí),空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運(yùn)轉(zhuǎn),各項(xiàng)狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個(gè)濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個(gè)濕度傳感器,并且給傳感器充分的穩(wěn)定時(shí)間。所做測(cè)量應(yīng)適合實(shí)際使用的目的,待傳感器穩(wěn)定之后才開(kāi)始測(cè)量,測(cè)量時(shí)間不少于5分鐘。3、壓差這項(xiàng)檢測(cè)的目的是驗(yàn)證完工設(shè)施與周?chē)h(huán)境之間、設(shè)施內(nèi)各空間之間保持規(guī)定壓差的能力。這項(xiàng)檢測(cè)適用于所有3種占用狀態(tài)。需要定期進(jìn)行這項(xiàng)檢測(cè)。壓差的測(cè)試應(yīng)在所有的門(mén)都關(guān)閉的條件下,由高壓向低壓、由平面布置上與外界**遠(yuǎn)的里間房間開(kāi)始,依次向外測(cè)試;有孔洞相通的不同等級(jí)相鄰的潔凈室(區(qū)),其洞口處宜有合理的氣流流向等等。廣東消毒液凈化車(chē)間環(huán)境檢測(cè)CMA資質(zhì)方面:認(rèn)可第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu),CMA計(jì)量認(rèn)證資質(zhì)。
(三)空氣過(guò)濾器的泄露1、儀器設(shè)備及環(huán)境測(cè)量?jī)x器塵埃粒子計(jì)數(shù)器、氣溶膠發(fā)生器。環(huán)境溫度常溫或設(shè)計(jì)溫度下。2、抽樣高效過(guò)濾器本體在進(jìn)入現(xiàn)場(chǎng)前,生產(chǎn)廠家應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行性能試驗(yàn),并提供合格證。在單向流潔凈室對(duì)安裝的高效空氣過(guò)濾器應(yīng)該逐臺(tái)進(jìn)行檢漏,亂流潔凈室對(duì)于7級(jí)或更低級(jí)別的潔凈室,只要潔凈室達(dá)到了所要求的空氣潔凈度級(jí)別,就可以不進(jìn)行檢漏。3、技術(shù)要求檢漏的結(jié)果要符合條件:由受檢過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)測(cè)到的漏泄?jié)舛葥Q算成透過(guò)率,對(duì)于高效過(guò)濾器應(yīng)不大于過(guò)濾器出廠合格率的2倍,對(duì)于超高效過(guò)濾器應(yīng)不大于出廠合格透過(guò)率的3倍。5、操作過(guò)程及判定過(guò)濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過(guò)濾器的檢漏適用于空態(tài)或靜態(tài)的潔凈室。對(duì)于安裝于送、排風(fēng)末端的高效過(guò)濾器,應(yīng)用掃描法進(jìn)行過(guò)濾安裝邊框和全斷面檢漏,掃描法有檢漏儀法光度計(jì)法和采樣量**小為1L/min的粒子計(jì)數(shù)器法兩種。
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱(chēng)之為潔凈室。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來(lái)規(guī)定的。也就是說(shuō),所謂的無(wú)塵,并不是100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對(duì)于我們常見(jiàn)的粉塵來(lái)說(shuō)是非常小的,但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō),哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響。潔凈氣流應(yīng)盡可能把工作部位圍罩起來(lái),使污染物在擴(kuò)散之前便流向回風(fēng)口。
(1)在靜態(tài)條件下潔凈室(區(qū))監(jiān)測(cè)的懸浮粒子數(shù)、浮游菌數(shù)或沉降菌數(shù)必須符合規(guī)定。測(cè)試方法應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《醫(yī)藥工業(yè)潔凈室(區(qū))懸浮粒子的測(cè)試方法》GB/T16292、《醫(yī)藥工業(yè)潔凈室(區(qū))浮游菌的測(cè)試方法》GB/T16293和《醫(yī)藥工業(yè)潔凈室(區(qū))沉降菌的測(cè)試方法》GB/T16294的有關(guān)規(guī)定;(2)空氣潔凈度100級(jí)的潔凈室(區(qū))應(yīng)對(duì)大于等于5μm塵粒的計(jì)數(shù)多次采樣,當(dāng)大于等于5μm塵粒多次出現(xiàn)時(shí),可認(rèn)為該測(cè)試數(shù)值是可靠的。(3)潔凈室(區(qū))的溫度和濕度,應(yīng)符合規(guī)定:生產(chǎn)工藝對(duì)溫度和濕度無(wú)特殊要求時(shí),潔凈室(區(qū))溫度應(yīng)為18~26℃,相對(duì)濕度應(yīng)為45%~65%(4)不同空氣潔凈度等級(jí)的潔凈室(區(qū))之間以及潔凈室(區(qū))與非潔凈室(區(qū))之間的空氣靜壓差不應(yīng)小于5Pa,潔凈室(區(qū))與室外大氣的靜壓差不應(yīng)小于10Pa。(5)潔凈室(區(qū))應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)要求提供照度,并應(yīng)符合下列規(guī)定:1)主要工作室一般照明的照度值宜為300lx。2)輔助工作室、走廊、氣閘室、人員凈化和物料凈化用室的照度值不宜低于150lx。3)對(duì)照度有特殊要求的生產(chǎn)部位可設(shè)置局部照明。層流罩一種可提供局部高清潔環(huán)境的空氣凈化設(shè)備。它主要有箱體,風(fēng)機(jī),初效空氣過(guò)濾器,高效空氣過(guò)濾器。山東實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測(cè)價(jià)格
單向流氣流的凈化原理是活塞和擠壓原理,把塵埃粒子從一端向另一端擠壓出去,用潔凈氣流置換污染氣流。上海潔凈室環(huán)境檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)
五、潔凈室檢測(cè)的應(yīng)用1.醫(yī)藥行業(yè):醫(yī)藥制造需要在無(wú)菌環(huán)境下完成,因此需要設(shè)立無(wú)菌車(chē)間(即“百級(jí)”車(chē)間)。該車(chē)間內(nèi)所有通風(fēng)系統(tǒng)均需符合GMP規(guī)范,并經(jīng)常性地受到監(jiān)管機(jī)構(gòu)審核。2.電子行業(yè):由于微型芯片制造需要極為干燥無(wú)塵且高溫高壓條件下完成,在微電子制造廠中必須建立超純水站(UPW)以及超純氮?dú)庹荆∟G)等設(shè)施來(lái)滿足生產(chǎn)需要。3.航天航空行業(yè):航天器發(fā)射前需要進(jìn)入“百萬(wàn)級(jí)”或“十萬(wàn)級(jí)”無(wú)菌車(chē)間進(jìn)行組裝與測(cè)試。這些車(chē)間具有完成**終裝配所需條件(如真空環(huán)境),并能夠有效防止外界雜質(zhì)進(jìn)入艙體內(nèi)部。上海潔凈室環(huán)境檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)
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