潔凈室竣工驗(yàn)收的外觀檢查應(yīng)符合以下要求1、各種管道、自動(dòng)滅火裝置及凈化空調(diào)設(shè)備空調(diào)器、風(fēng)機(jī)、凈化空調(diào)機(jī)組、高效空氣過濾器和空氣吹淋室等的安裝應(yīng)正確、牢固、嚴(yán)密其偏差應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定。2、高、中效空氣過濾器與支撐框架的連接及風(fēng)管與設(shè)備的連接處應(yīng)有可靠密封。3、各類調(diào)節(jié)裝置應(yīng)嚴(yán)密、調(diào)節(jié)靈活、操作方便。4、凈化空調(diào)箱、靜壓箱、風(fēng)管系統(tǒng)及送、回風(fēng)口無灰塵。5、潔凈室的內(nèi)墻面、頂棚表面和地面應(yīng)光滑、平整、色澤均勻不起灰塵地板無靜電現(xiàn)象。6、送回風(fēng)口及各類末端裝置、各類管道、照明和動(dòng)力線配管以及工藝設(shè)備等穿越潔凈室時(shí)穿越處的密封處理應(yīng)嚴(yán)密可靠。7、潔凈室內(nèi)各類配電盤、柜和進(jìn)入潔凈室的電氣管線、管口應(yīng)密封可靠。8各種刷涂、保溫工作應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定。潔凈室檢測(cè)通常包括空氣潔凈度、溫濕度、壓差等多個(gè)參數(shù)。上海排風(fēng)柜檢測(cè)價(jià)格

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例，無塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說，所謂的無塵，并不是100%沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在極少量的單位。當(dāng)然，這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物，相對(duì)于我們常見的粉塵來說是非常小的，但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響。山東排風(fēng)柜檢測(cè)驗(yàn)證生物潔凈室的步驟主要分為三個(gè)部分：1、驗(yàn)證安裝；2、驗(yàn)證操作；3、驗(yàn)證性能。

6.2.1潔凈室（區(qū))與周圍的空間必須維持一定的壓差，并應(yīng)按工藝要求決定維持正壓差或負(fù)壓差。6.2.2不同等級(jí)的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa，潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa，潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。6.2.3潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風(fēng)量，根據(jù)潔凈室特點(diǎn)，宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定。6.2.4送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖。正壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)先啟動(dòng)送風(fēng)機(jī)，再啟動(dòng)回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī)；關(guān)閉時(shí)聯(lián)鎖程序應(yīng)相反。負(fù)壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)與上述正壓潔凈室相反。6.2.5非連續(xù)運(yùn)行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng)，并應(yīng)進(jìn)行凈化空調(diào)處理。

（七）室內(nèi)噪聲1、儀器設(shè)備和環(huán)境儀器，設(shè)備測(cè)噪聲儀器為帶信頻程分析儀的聲級(jí)計(jì)。環(huán)境溫度常溫或設(shè)計(jì)溫度下。2、抽樣對(duì)有噪聲設(shè)計(jì)要求的各個(gè)場(chǎng)所分別測(cè)定。3、技術(shù)要求室內(nèi)噪聲級(jí)應(yīng)符合《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2001的規(guī)定。在空態(tài)情況下，非單相流潔凈室不應(yīng)大于60dBA；單向流、混合流潔凈室不應(yīng)大于65dBA；潔凈室的噪聲頻譜限制各頻帶的聲壓級(jí)值不應(yīng)大于《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2001表4.4.2的規(guī)定。4、操作過程及判定（1）測(cè)噪聲儀器為帶信頻程分析儀的聲級(jí)計(jì)一般只測(cè)A聲級(jí)的數(shù)值。必要時(shí)測(cè)倍頻程聲壓級(jí)。（2）潔凈室面積在15m點(diǎn)采樣，除房間兩對(duì)角線相交的室中心位置外，另在房間四角對(duì)角線上對(duì)稱的選取4點(diǎn)。（3）執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)的編號(hào)及標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施日期。（4）被測(cè)試的潔凈室或潔凈區(qū)的地址、采樣點(diǎn)的特定編號(hào)及坐標(biāo)圖。（5）被測(cè)潔凈室或潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級(jí)、被測(cè)粒徑或沉降菌、浮游菌、被測(cè)潔凈室所處的狀態(tài)、氣流流型和靜壓差、被測(cè)潔凈室的溫濕度、噪聲。（6）測(cè)試用的儀器的編號(hào)和標(biāo)定征書測(cè)試方法細(xì)則及測(cè)試中的特殊情況.（7）測(cè)試結(jié)果包括在采樣點(diǎn)坐標(biāo)圖上注明所測(cè)的粒子濃度或沉降菌、浮游菌的菌落數(shù)。（8）對(duì)異常測(cè)試值進(jìn)行說明及數(shù)據(jù)處理。潔凈室檢測(cè)時(shí)需特別注意對(duì)生物安全柜等特殊設(shè)備的檢測(cè)。

B.4.3.2送風(fēng)口處測(cè)量的送風(fēng)量為了排除送風(fēng)口局部氣流的擾動(dòng)和氣流噴射的影響，建議采用風(fēng)罩測(cè)量末端過濾器或送風(fēng)散流器的總送風(fēng)量。可使用配有流量計(jì)的風(fēng)量罩直接測(cè)量，也可用風(fēng)罩出風(fēng)的風(fēng)速乘以有效面積求出送風(fēng)量。風(fēng)罩的上開口應(yīng)完全罩住過濾器或散流器；為了避免旁通漏風(fēng)造成的讀數(shù)不準(zhǔn)，風(fēng)罩的上沿應(yīng)密封靠緊平坦的表面。若采用帶流量計(jì)的風(fēng)量罩，則可在風(fēng)罩的出風(fēng)端口直接測(cè)量各個(gè)末端過濾器或送風(fēng)散流器的風(fēng)量。。。。。。。潔凈室的氣密性檢測(cè)有助于減少外界污染物的滲入。浙江檢測(cè)服務(wù)至上

各類調(diào)節(jié)裝置應(yīng)嚴(yán)密、調(diào)節(jié)靈活、操作方便。上海排風(fēng)柜檢測(cè)價(jià)格

3.壓差檢測(cè)：潔凈室與外界環(huán)境的壓差是保持潔凈室內(nèi)潔凈度的重要因素。壓差檢測(cè)通過對(duì)潔凈室各區(qū)域的壓差進(jìn)行測(cè)量，確保潔凈室內(nèi)部與外部環(huán)境的壓差符合規(guī)定要求，從而防止外部污染物進(jìn)入潔凈室。4.氣流速度檢測(cè)：潔凈室內(nèi)的氣流速度對(duì)于維持潔凈度至關(guān)重要。氣流速度過快可能導(dǎo)致塵埃粒子飛揚(yáng)，而氣流速度過慢則可能導(dǎo)致塵埃粒子沉積。因此，氣流速度檢測(cè)是評(píng)估潔凈室氣流組織情況的重要手段。5.表面潔凈度檢測(cè)：潔凈室內(nèi)的各種表面，如墻壁、地面、設(shè)備外殼等，也是塵埃粒子容易沉積的地方。表面潔凈度檢測(cè)通過對(duì)這些表面的塵埃粒子數(shù)量進(jìn)行檢測(cè)，評(píng)估潔凈室內(nèi)部表面的潔凈情況。上海排風(fēng)柜檢測(cè)價(jià)格