潔凈室的主要作用是控制產品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產品能夠在良好的環境空間中生產制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化等級主要是根據空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數量來規定的。也就是說，所謂的無塵，并不是100%沒有一點灰塵，而是控制在極少量的單位。當然，這個標準中符合粉塵標準的顆粒物，相對于我們常見的粉塵來說是非常小的，但是對于光學結構來說，哪怕是一點點的粉塵也會產生非常大的負面影響。風機過濾單元（FFU）是一種空氣自凈裝置，可室內吊頂安裝或放置在支架上，使局部級別達到百級。浙江生物安全柜檢測技術好

單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內、區內的污染空氣以維持室內、區內的潔凈度。因此，其送風斷面風速及均勻性是影響潔凈度的重要參數。較高的、較均勻的斷面風速能更快、更有效地排除室內工藝過程產生的污染物，因此它們是主要關注的檢測項目。非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內、區內的污染物以維持其潔凈度。因此，換氣次數越大，氣流流型合理，稀釋效果越***，潔凈度也相應提高。所以非單相流潔凈室、潔凈區的送風量及相應的換氣次數，是主要關注的氣流測試項目。為了獲得可重復的讀數，記錄各測點風速的時間平均值。換氣次數：根據潔凈室總風量除以法凈室的容積求得廣東口罩生產車間環境檢測服務至上潔凈室地面、墻面及天花板的清潔度也是檢測內容之一。

14.2.1潔凈廠房的平面、空間布置時，應根據噪聲控制要求布置，宜集的的中布置發聲設備。14.2.2潔凈室（區）內的各種設備均應選用低噪聲產品。對于輻射噪聲值超過規定的設備，應根據設備的特性、外形尺寸等因素，采取降低聲源噪聲的隔聲設施。潔凈室的圍護結構應具有良好的隔聲性能。14.2.3凈化空調系統、公用動力設備和輸送管道等潔凈廠房的主要噪聲源，應采取隔聲、消聲、隔振等噪聲控制措施。空調機房、動力站房宜采取下列措施。

(1)凈化處理原則：能用局部凈化的場合，就盡可能不用凈化；或低級別的凈化高級別的局部凈化相結合。避免把需要凈化的環境分割成較小的空間，這樣做雖然有利于控制污染，但這也造成平面復雜化、增加造價、作業程序不易改變、人員流動不方便，以及小房間造成人們心理上的不快。(2)由于氣流分布的不均勻和塵粒分布等不均勻性，潔凈室的微粒實際上是不均勻分布的，較為典型的三區不均勻分布模型，即分為主流區、渦流區和回風口區。主流區含區含塵濃度可比室平均濃度低30%到一半。建議把工藝布置在主流區內。(3)主要工藝可盡量布置于送風管上風段，上風段相對來說，潔凈程度比下風段要好表2為某10萬級潔凈車間內沿一條送風管走向設置的六個測點檢測結果(空態下)，測點l~6由上風段依次向下，可以看出，各點塵粒數有較大區別當然，其中也有送風管上各送風口風量沒有較好調節的原因，但這種較大區別的可能還是不可忽視。工作設備布置時要留有一定的間隔，為送、回風口的布置和氣流的通暢創造條件。

B.4.2.2送風風速風速測點距過濾器出風面約150mm~300mm。測點數量應足以測定潔凈室和潔凈區的送風量，測點數量取測量面積(以平方米計)10倍的平方根,且不少于4個測點。每只過濾器或每臺風機-過濾單元(FFU)的出風面上至少要有一個測點。可使用軟簾阻擋對單向流的干擾。為了獲得可重復的讀數,每點的測量時間應足夠長。對多個測點而言,應記錄風速測量平均時間。B.4.2.2送風風速風速測點距過濾器出風面約150mm~300mm。測點數量應足以測定潔凈室和潔凈區的送風量，測點數量取測量面積(以平方米計)10倍的平方根,且不少于4個測點。每只過濾器或每臺風機-過濾單元(FFU)的出風面上至少要有一個測點。可使用軟簾阻擋對單向流的干擾。為了獲得可重復的讀數,每點的測量時間應足夠長。對多個測點而言,應記錄風速測量平均時間。溫濕度波動范圍的控制對于某些敏感產品的生產至關重要。山東實驗室檢測規范性強

當產品要求潔凈度為100級時，選用層流流型；當產品要求潔凈度為1000~100000級時，選用亂流流型。浙江生物安全柜檢測技術好

抽樣高效過濾器本體在進入現場前，生產廠家應按規定進行性能試驗，并提供合格證。在單向流潔凈室對安裝的高效空氣過濾器應該逐臺進行檢漏，亂流潔凈室對于7級或更低級別的潔凈室，只要潔凈室達到了所要求的空氣潔凈度級別，就可以不進行檢漏。技術要求檢漏的結果要符合條件：由受檢過濾器下風側測到的漏泄濃度換算成透過率，對于高效過濾器應不大于過濾器出廠合格率的2倍，對于超高效過濾器應不大于出廠合格透過率的3倍。操作過程及判定過濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過濾器的檢漏適用于空態或靜態的潔凈室。對于安裝于送、排風末端的高效過濾器，應用掃描法進行過濾安裝邊框和全斷面檢漏，掃描法有檢漏儀法光度計法和采樣量為1L/min的粒子計數器法兩種。浙江生物安全柜檢測技術好