無塵車間工程是指按照客戶的要求，提供對微粒、有害空氣、細菌等污染物的有效控制，溫度、濕度、噪聲、照度、潔凈度、室內壓差、氣流速度與氣流分布、振動、靜電等各項指標均滿足安全生產需求的潔凈受控空間。無塵車間的主要作用在于為產品生產(如硅芯片等)和服務提供所需環境的潔凈程度，以及溫濕度、微震動、噪聲、照度等各項指標，使相關產品和服務能夠在一個滿足要求的、受控的、良好的環境空間中進行生產和操作，從而達到提高產品生產的良品率，改善和提升相關服務質量的目標。一般正壓無塵室比較常見，就是讓室內的空氣壓力大于室外的壓力。浙江生物安全柜無塵室檢測頻率

16.4.22臭氧濃度的檢驗應符合下列規定：在風系統內或室內安有可產生臭氧的裝置時，除裝置本身產生的臭氧應符合現行的相關產品標準規定外，還應在系統和該裝置正常運轉條件下，檢測室內臭氧濃度。應按附錄E檢驗，結果應符合設計要求。當設計無明確要求時，應符合現行國家標準《室內空氣質量標準》GB/T18883不大于0.16mg/m3的規定。16.4.23二氧化碳濃度的檢測應符合下列規定：當對新風效果作細致確認時，可在風系統正常運行、室內處于動態條件下，于每一班次結束之前檢測室內二氧化碳濃度，按附錄E檢驗，結果應符合設計要求。當設計無明確要求時，應符合現行國家標準《空內空氣質量標準》GB/T18883不大于0.10％的規定。16.4.24當需要測定分子態污染物濃度時，可按附錄H的方法或按建設方與檢驗方商定的方法檢測，結果應符合設計要求或雙方商定的標準。北京氣流無塵室檢測流程利用高速潔凈氣流吹落進入潔凈室人員或物料表面附著粒子的小室。

E.1.1風量風速檢測必須首先進行，凈化空調各項效果必須是在設計的風量風速條件下獲得。E.1.2風量檢測前必須檢查風機運行是否正常，系統中各部件安裝是否正確，有無障礙，所有閥門應固定在一定的開啟位置上，且必須實際測量被測風口、風管尺寸。E.1.3測定室內微風速儀器的小刻度或讀數不應大于0.02m/s，一般可用熱球式風速儀，需要測出分速度時，應采用超聲波三維風速計。E.1.4對于單向流潔凈室，可采用室截面平均風速和截面積乘積的方法確定送風量，垂直單向流潔凈室的測定截面取距地面0.8m的無阻隔面(孔板、格柵除外)的水平截面，如有阻隔面，該測定截面應抬高至阻隔面之上0.25m;水平單向流潔凈室取距送風面0.5m的垂直于地面的截面，截面上測點間距不應大于1m，一般取0.3m。測點數應不少于20個，均勻布置。E.1.5對于非單向流潔凈室，內安裝過濾器的風口可采用套管法、風量罩法或風管法測定風量，為測定回風口或新風口風量，也可用風口法。

3.2.1裝配式混凝土結構的潔凈室，應在預制構件上按設計圖紙預留孔、洞。3.2.2有耐壓、防滲漏要求潔凈室的混凝土施工應按設計要求采用抗滲混凝土，并應制定配合比操作程序，按相關要求先做試塊的抗滲試驗，澆筑后應分層搗實，加強養護管理。3.2.3潔凈區內的現澆混凝土剪力墻模板不宜采用拼縫較多的組合鋼模板，宜采用大尺寸硬木面層厚型膠合板。3.2.4對大面積潔凈空間采用的結構模板，應分區設控制點，多級復核。應防止建筑模板受潮起拱。宜采用清水混凝土精細施工，應隨搗隨抹光，一次性達到建筑設計標高。模板的密封膠填縫與固定應同時進行，不得遺漏。3.2.5砌體施工質量控制等級應滿足現行國家標準《砌體工程施工質量驗收規范》GB50203第3.0.10條的A級要求。3.2.6對分割潔凈室相關受控環境的空間成為各自**密封體到頂的填充墻，墻體(板）與梁、板底的縫隙應填充密實，并應作密封處理。沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風速一致的氣流。包括垂直單向流和水平單向流。

應檢查產品合格證、出廠檢驗報告，其中應有效率、阻力和掃描檢漏的實測數據，不得以過濾器所屬類別定義數據代替。2應進行外觀檢查，內容應包括有無損壞;各種尺寸是否符合設計要求;框架有無毛刺和銹斑(金屬框);帶風機的風機安裝是否可靠，轉動是否正常;帶裝飾網或阻漏層的，裝飾網或阻漏層是否完好、繃緊。應檢查產品合格證、出廠檢驗報告，其中應有效率、阻力和掃描檢漏的實測數據，不得以過濾器所屬類別定義數據代替。2應進行外觀檢查，內容應包括有無損壞;各種尺寸是否符合設計要求;框架有無毛刺和銹斑(金屬框);帶風機的風機安裝是否可靠，轉動是否正常;帶裝飾網或阻漏層的，裝飾網或阻漏層是否完好、繃緊。因此無塵室的潔凈度要求尤為嚴格。北京口罩生產車間環境無塵室檢測頻率

潔凈廠房中以垂直構件分隔構成的廊道,用于安裝輔助設備和公用動力設施以及管線等。浙江生物安全柜無塵室檢測頻率

1一級防靜電工作區的地面、墻面和柱面應采用導靜電型。導靜電型地面、墻面、柱面的表面電阻、對地電阻應為2.5X10?~1X10°2,摩擦起電電壓不應大于100V,靜電半衰期不應大于0.1s;2二級防靜電工作區的地面、墻面、柱面、頂棚、門和軟簾應采用靜電耗散型。靜電耗散型地面、墻面、柱面和頂棚、門的表面電阻、對地電阻應為1X10°~1X109Ω,摩擦起電電壓不應大于200V,靜電半衰期不應大于1s,但軟簾的摩擦起電電壓不應大于300V;3三級防靜電工作區的地面、墻面和柱面宜根據生產工藝要求采用靜電耗散型材料或低起電材料,頂棚、門等宜采用低起電材料。選用靜電耗散型材料的地面、墻面和柱面,應符合本條第2款的要求;選用低起電材料的地面、墻面、柱面、頂棚、門等的摩擦起電電壓不應大于1000V。浙江生物安全柜無塵室檢測頻率