5.1.1隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代、產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展十分迅速，以集成電路為**的微電子產(chǎn)品尤為***，集成電路產(chǎn)品基本上是2~3年或更短的時間就會提升一代產(chǎn)品；以TFT-LCD為**的顯示器件正在取代彩色顯像管的顯示器件生產(chǎn)；微型計算機(jī)的迅速發(fā)展，使各種元器件生產(chǎn)發(fā)展十分迅速。因此，電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計、建造必須適應(yīng)這種快速發(fā)展的需要，從潔凈廠房的規(guī)劃開始，對于電子工廠、潔凈廠房的工藝設(shè)計、工藝布局應(yīng)充分考慮電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性，以滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)的需求。可燃?xì)怏w管道、氧氣管道的末端或極高點(diǎn)均應(yīng)設(shè)置放散管。安徽半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測方法

8.2.1潔凈廠房內(nèi)的給水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各種用途(包括工藝?yán)鋮s水)對水質(zhì)、水溫、水壓、水量的要求確定，宜按生產(chǎn)、生活、消防分別設(shè)置的給水系統(tǒng)。8.2.2當(dāng)設(shè)有危險化學(xué)品儲存和分配室時，應(yīng)根據(jù)化學(xué)品的物理化學(xué)性能和人身安全的要求，設(shè)置緊急淋浴器和洗眼器，其給水管道應(yīng)環(huán)形敷設(shè)布置。8.2.3給水管道的管材及附件的選擇，應(yīng)符合下列要求：1給水系統(tǒng)的管材和附件的選用，應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和系統(tǒng)工作參數(shù)的要求；2埋地管道應(yīng)耐腐蝕，并應(yīng)具有承受相應(yīng)地面荷載的能力；3生產(chǎn)設(shè)備循環(huán)冷卻水給水和回水管道，應(yīng)按生產(chǎn)工藝和水質(zhì)要求，采用不銹鋼管、鋼塑管、塑料管等，不宜采用焊接鋼管；4閥門及附件應(yīng)采用與管材相同的材質(zhì)。浙江無塵室3Q驗(yàn)證潔凈室檢測對較大型的潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)宜集中進(jìn)行空氣凈化處理。

15.1.1潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計應(yīng)分階段進(jìn)行，應(yīng)包括設(shè)計、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動測試、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設(shè)計、動力設(shè)備隔振設(shè)計和精密儀器設(shè)備隔振設(shè)計等。15.1.2設(shè)計有微振控制要求的潔凈廠房時，應(yīng)符合下列規(guī)定：1總平面布置時，應(yīng)核實(shí)相鄰廠房、建筑物或構(gòu)筑物對精密設(shè)備、儀器的振動影響；2設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈廠房，其建筑基礎(chǔ)構(gòu)造、結(jié)構(gòu)選型、隔振縫的設(shè)置、潔凈室裝修等應(yīng)按微振控制要求設(shè)計；3對設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈室（區(qū)）有振動影響的動力設(shè)備及其管道，應(yīng)采取主動隔振措施；4潔凈室(區(qū))內(nèi)精密設(shè)備、儀器，經(jīng)測試確認(rèn)受到周圍振動影響時，應(yīng)采取被動隔振措施。

近年來，國內(nèi)設(shè)計、建造的潔凈廠房，一般是根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求或潔凈廠房的布局情況按相鄰潔凈室（區(qū)）的潔凈度等級確定潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級，還有一些潔凈廠房雖然沒有對潔凈工作服更衣室、潔凈工作服洗滌室提出空氣潔凈度等級要求，但室內(nèi)采用高效空氣過濾送風(fēng)系統(tǒng)，或?qū)崈羰覂?nèi)的凈化空氣部分地引人更衣室、潔凈工作服洗滌室。為此，本次修訂時對潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜低于相鄰潔凈區(qū)1級~2級和“潔凈服洗滌室的空氣潔凈度等級不宜低于8級”的規(guī)定取消，修改為將更衣室與潔凈工作服洗滌室對空氣凈化要求的相關(guān)內(nèi)容的規(guī)定合并在一條內(nèi)：“宜根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和相鄰潔凈室（區(qū))的空氣潔凈度等級確定”。不再規(guī)定具體的“等級”或“等級范圍”。凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)機(jī)宜采取變頻措施。

D.3.10自凈時間檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：1自凈時間的檢測，宜用于非單向流潔凈室。2自凈時間的檢測，宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準(zhǔn)，并宜以粒子計數(shù)器進(jìn)行檢測，同時應(yīng)符合下列要求.1）以大氣塵為基準(zhǔn)時，則必須將潔凈室停止運(yùn)行相當(dāng)時間，在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時，測出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N。)。然后開機(jī)，定時讀數(shù)(一般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次)，直到回風(fēng)口處的含塵濃度回復(fù)到原來的穩(wěn)定狀態(tài)，記錄下所需的時間（t）。2)以人工塵源為基準(zhǔn)時，應(yīng)將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心，發(fā)煙1～2min后停止，等待1min，測出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度（N。）。然后開機(jī)，方法同上。3由初始濃度(No)、室內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的濃度（N）、實(shí)際換氣次數(shù)(n)，可得到計算自凈時間(to），與實(shí)測自凈時間(t)進(jìn)行對比，如果t≤12to,為合格。4自凈時間檢測方法除上述方法外，還有微粒濃度變化率評估法等。自凈時間檢測方法應(yīng)洽商確定。管道與墻壁或樓板之間應(yīng)采取可靠的密封措施。上海口罩生產(chǎn)車間環(huán)境潔凈室檢測標(biāo)準(zhǔn)

潔凈室（區(qū))與周圍的空間必須維持一定的壓差，并應(yīng)按工藝要求決定維持正壓差或負(fù)壓差。安徽半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測方法

C.1.1檢測目的檢測的目的是確認(rèn)過濾系統(tǒng)安裝正確，使用過程中無滲漏發(fā)生，不要將已裝過濾器系統(tǒng)的檢漏與過濾器出廠時的效率檢測混為一談，過濾器出廠前應(yīng)經(jīng)過檢漏雨測試。此項檢測用于驗(yàn)證過濾系統(tǒng)不存在影響設(shè)施潔凈狀況的滲漏；確認(rèn)過濾系統(tǒng)下風(fēng)向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設(shè)計潔凈度。C.1.2檢測過程檢測中，在過濾器的上風(fēng)向注入氣溶膠，在下風(fēng)向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描，或在風(fēng)管中的過濾器下風(fēng)向采樣。檢漏包括濾材、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內(nèi)的整個過濾系統(tǒng)。已裝過濾系統(tǒng)的檢漏只在“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進(jìn)行，且該項檢測是在新建潔凈室調(diào)試時，或現(xiàn)有設(shè)施需要再檢測時，或更換了末端過濾器之后進(jìn)行。安徽半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測方法