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來源: 發(fā)布時間:2025年04月01日

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負面影響有足夠的風(fēng)量,既為了稀釋空氣的含塵濃度,又保證有穩(wěn)定的氣流流型。上海潔凈工作臺檢測值得推薦

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潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測定,通常分為兩個檔次:一般測試和綜合測試。檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗收測試,第二個檔次適用于靜態(tài)或動態(tài)的綜合性能測試。這類測試適用于對溫度、濕度性能要求比較嚴格的場合。本檢測在氣流均勻性檢測之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進行。進行這項檢測時,空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運轉(zhuǎn),各項狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個濕度傳感器,并且給傳感器充分的穩(wěn)定時間。所做測量應(yīng)適合實際使用的目的,待傳感器穩(wěn)定之后才開始測量,測量時間不少于5分鐘。上海潔凈工作臺檢測值得推薦潔凈室檢測過程中,應(yīng)注重節(jié)能降耗,實現(xiàn)綠色生產(chǎn)。

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B.4.2.2送風(fēng)風(fēng)速風(fēng)速測點距過濾器出風(fēng)面約150mm~300mm。測點數(shù)量應(yīng)足以測定潔凈室和潔凈區(qū)的送風(fēng)量,測點數(shù)量取測量面積(以平方米計)10倍的平方根,且不少于4個測點。每只過濾器或每臺風(fēng)機-過濾單元(FFU)的出風(fēng)面上至少要有一個測點。可使用軟簾阻擋對單向流的干擾。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),每點的測量時間應(yīng)足夠長。對多個測點而言,應(yīng)記錄風(fēng)速測量平均時間。B.4.2.2送風(fēng)風(fēng)速風(fēng)速測點距過濾器出風(fēng)面約150mm~300mm。測點數(shù)量應(yīng)足以測定潔凈室和潔凈區(qū)的送風(fēng)量,測點數(shù)量取測量面積(以平方米計)10倍的平方根,且不少于4個測點。每只過濾器或每臺風(fēng)機-過濾單元(FFU)的出風(fēng)面上至少要有一個測點。可使用軟簾阻擋對單向流的干擾。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),每點的測量時間應(yīng)足夠長。對多個測點而言,應(yīng)記錄風(fēng)速測量平均時間。

5.3.1潔凈廠房的建筑圍護結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修,應(yīng)選用氣密性良好,且在溫度和濕度變化時變形小、污染物濃度符合現(xiàn)行國家有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定限值的材料。潔凈室裝飾材料及密封材料不得采用釋放對室內(nèi)各種產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。5.3.2潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列規(guī)定:1潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的表面應(yīng)平整、光滑、不起塵、避免眩光,便于除塵,并應(yīng)減少凹凸面。2踢腳不應(yīng)突出墻面。3潔凈室不宜采用砌筑墻抹灰墻面,當(dāng)必須采用時宜采用干燥作業(yè),抹灰應(yīng)采用符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑裝飾裝修工程質(zhì)量驗收規(guī)范》GB50210中高級抹灰的要求。墻面抹灰后應(yīng)刷涂料面層,并應(yīng)選用難燃、不開裂、耐腐蝕、耐清洗,表面光滑、不易吸水變質(zhì)發(fā)霉的涂料。潔凈室(區(qū))的日常運行和維護管理是保障其受控狀態(tài)持續(xù)的重要條件。

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潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣,以排替、稀釋室內(nèi)產(chǎn)生的顆粒污染物來實現(xiàn)的。為此,測定潔凈室或潔凈設(shè)施的送風(fēng)量、平均風(fēng)速、送風(fēng)均勻性、氣流流向及流型等項目十分必要。單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此,其送風(fēng)斷面風(fēng)速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風(fēng)速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過程產(chǎn)生的污染物,因此它們是主要關(guān)注的檢測項目。潔凈室檢測通常包括空氣潔凈度、溫濕度、壓差等多個參數(shù)。實驗室檢測哪家好

驗證生物潔凈室的步驟主要分為三個部分:1、驗證安裝;2、驗證操作;3、驗證性能。上海潔凈工作臺檢測值得推薦

4、懸浮粒子-微粒計數(shù)農(nóng)度A、室內(nèi)測試人員必須穿潔凈服,不得超過2人,應(yīng)位于測試點下風(fēng)側(cè)并遠離測試點,并應(yīng)保持靜止。進行換點操作時動作要輕,應(yīng)減少人員對室內(nèi)潔凈度的干擾。B、設(shè)備要在校準(zhǔn)期內(nèi)使用。C、檢測前和檢測后設(shè)備“清零”D、在單向流區(qū)域,所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動力采樣,進入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過20%。若無法做到這一點,將采樣口正對氣流的主方向。非單向流的采樣點,采樣口應(yīng)豎直向上。E、采樣口至粒子計數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。采樣點一般離地面0.8-1.2m左右,要均勻科學(xué)布點,而且要避開回風(fēng)口。對任何小潔凈室或局部空氣凈化區(qū)域,采樣點的數(shù)目都不得少于2個,總采樣數(shù)可根據(jù)面積開2次根求得。上海潔凈工作臺檢測值得推薦

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