15.1.1潔凈廠房的微振控制設施的設計應分階段進行,應包括設計、施工和投產等各階段的微振動測試、廠房建筑結構微振控制設計、動力設備隔振設計和精密儀器設備隔振設計等。15.1.2設計有微振控制要求的潔凈廠房時,應符合下列規(guī)定:1總平面布置時,應核實相鄰廠房、建筑物或構筑物對精密設備、儀器的振動影響;2設有精密設備、儀器的潔凈廠房,其建筑基礎構造、結構選型、隔振縫的設置、潔凈室裝修等應按微振控制要求設計;3對設有精密設備、儀器的潔凈室(區(qū))有振動影響的動力設備及其管道,應采取主動隔振措施;4潔凈室(區(qū))內精密設備、儀器,經測試確認受到周圍振動影響時,應采取被動隔振措施。各類調節(jié)裝置應嚴密、調節(jié)靈活、操作方便。湖北生物安全柜檢測
(七)室內噪聲1、儀器設備和環(huán)境儀器,設備測噪聲儀器為帶信頻程分析儀的聲級計。環(huán)境溫度常溫或設計溫度下。2、抽樣對有噪聲設計要求的各個場所分別測定。3、技術要求室內噪聲級應符合《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50073-2001的規(guī)定。在空態(tài)情況下,非單相流潔凈室不應大于60dBA;單向流、混合流潔凈室不應大于65dBA;潔凈室的噪聲頻譜限制各頻帶的聲壓級值不應大于《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50073-2001表4.4.2的規(guī)定。4、操作過程及判定(1)測噪聲儀器為帶信頻程分析儀的聲級計一般只測A聲級的數(shù)值。必要時測倍頻程聲壓級。(2)潔凈室面積在15m點采樣,除房間兩對角線相交的室中心位置外,另在房間四角對角線上對稱的選取4點。(3)執(zhí)行標準的編號及標準實施日期。(4)被測試的潔凈室或潔凈區(qū)的地址、采樣點的特定編號及坐標圖。(5)被測潔凈室或潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級、被測粒徑或沉降菌、浮游菌、被測潔凈室所處的狀態(tài)、氣流流型和靜壓差、被測潔凈室的溫濕度、噪聲。(6)測試用的儀器的編號和標定征書測試方法細則及測試中的特殊情況.(7)測試結果包括在采樣點坐標圖上注明所測的粒子濃度或沉降菌、浮游菌的菌落數(shù)。(8)對異常測試值進行說明及數(shù)據(jù)處理。遼寧電子廠房環(huán)境檢測優(yōu)化價格潔凈室檢測過程中,應注重節(jié)能降耗,實現(xiàn)綠色生產。
A、室內測試人員必須穿潔凈服,不得超過2人,應位于測試點下風側并遠離測試點,并應保持靜止。進行換點操作時動作要輕,應減少人員對室內潔凈度的干擾。B、設備要在校準期內使用。C、檢測前和檢測后設備“清零”D、在單向流區(qū)域,所選擇的采樣探頭應接近等動力采樣,進入采樣探頭的風速與被采空氣的風速偏差不應超過20%。若無法做到這一點,將采樣口正對氣流的主方向。非單向流的采樣點,采樣口應豎直向上。E、采樣口至粒子計數(shù)器傳感器的連接管應盡量短。
相對濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。濕度過高會使人覺得氣悶,而濕度低于30%則會讓人感覺干燥,皮膚皸裂,呼吸道不適以及情感上的不快。高濕度實際上減小了潔凈室表面的靜電荷積累──這是人們希望的結果。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當相對濕度超過50%時,靜電荷開始迅速消散,但是當相對濕度小于30%時,它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長一段時間。相對濕度在35%到40%之間可以作為一個令人滿意的折中,半導體潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。通過定期檢測,可以及時發(fā)現(xiàn)并解決潔凈室中的污染問題。
潔凈室的主要作用是控制產品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產品能夠在良好的環(huán)境空間中生產制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點灰塵,而是控制在極少量的單位。當然,這個標準中符合粉塵標準的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學結構來說,哪怕是一點點的粉塵也會產生非常大的負面影響潔凈室檢測需考慮季節(jié)性變化對環(huán)境參數(shù)的影響。湖南口罩生產車間環(huán)境檢測服務至上
根據(jù)潔凈室的等級,合理選擇潔凈室的氣流分布流型。湖北生物安全柜檢測
潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣,以排替、稀釋室內產生的顆粒污染物來實現(xiàn)的。為此,測定潔凈室或潔凈設施的送風量、平均風速、送風均勻性、氣流流向及流型等項目十分必要。單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內、區(qū)內的污染空氣以維持室內、區(qū)內的潔凈度。因此,其送風斷面風速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風速能更快、更有效地排除室內工藝過程產生的污染物,因此它們是主要關注的檢測項目。非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內、區(qū)內的污染物以維持其潔凈度。因此,換氣次數(shù)越大,氣流流型合理,稀釋效果越***,潔凈度也相應提高。所以非單相流潔凈室、潔凈區(qū)的送風量及相應的換氣次數(shù),是主要關注的氣流測試項目。為了獲得可重復的讀數(shù),記錄各測點風速的時間平均值。換氣次數(shù):根據(jù)潔凈室總風量除以法凈室的容積求得湖北生物安全柜檢測